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낮은 영률을 가지는 신축성층 위 단단한 아일랜드 패턴의 제작 방법 및 이를 이용한 신축성 전자소자 플랫폼

  • 기술번호 : KST2019019563
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 낮은 영률을 가지는 신축성층 위 단단한 아일랜드 패턴의 제작 방법 및 이를 이용한 신축성 전자소자 플랫폼이 제시된다. 본 발명에서 제안하는 낮은 영률을 가지는 신축성층 위 단단한 아일랜드 패턴을 갖는 신축성 전자소자 플랫폼은 제1 영률을 갖는 신축 기판, 상기 신축 기판 상에 상기 제1 영률보다 낮은 영률을 갖는 신축성층이 코팅되는 실비온(silbione?) 층 및 상기 신축성층 상에 상기 제1 영률보다 높은 영률을 가지며, 포토리소 방법을 통해 단단한 아일랜드 및 구불구불한 신축성 인터커넥터 패턴으로 형성된, SU-8과 같은 포토레지스트나 UV경화성 수지로 이루어진 고정층을 포함한다.
Int. CL H01L 51/00 (2006.01.01) H05K 1/02 (2006.01.01) H01L 51/56 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01) G03F 7/16 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01)
CPC H01L 51/0018(2013.01) H01L 51/0018(2013.01) H01L 51/0018(2013.01) H01L 51/0018(2013.01) H01L 51/0018(2013.01) H01L 51/0018(2013.01)
출원번호/일자 1020180038508 (2018.04.03)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0115609 (2019.10.14) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.04.03)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유승협 대전광역시 유성구
2 김태현 대전광역시 유성구
3 문한얼 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 아이피에스 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **, *층 (서초동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2018-0329636-13
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2018.10.11 수리 (Accepted) 1-1-2018-1000924-10
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.01.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.03.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0102260-08
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0693448-11
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.11.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1210851-35
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2019-1210850-90
9 등록결정서
Decision to grant
2020.03.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0223986-20
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
2020.05.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-5013197-91
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 영률을 갖는 신축 기판; 상기 신축 기판 상에 상기 제1 영률보다 낮은 제2 영률을 갖는 신축성 물질이 코팅되는 신축성층; 및 상기 신축성층 상에 포토레지스트 혹은 UV경화성 수지의 코팅과, UV-경화를 통해 패터닝한 단단한 아일랜드 및 신축성 인터커넥터를 포함하는, 상기 제1 영률보다 높은 영률을 갖는 단단한 고정층; 을 포함하고,상기 신축성 인터커넥터는 상기 신축성층 상에 코팅되어 상기 신축성 인터커넥터의 일면이 상기 신축성층과 접촉하는 신축성 전자소자 플랫폼
2 2
제1항에 있어서,상기 고정층 중 단단한 아일랜드 패턴에는 변형이 발생하지 않고, 상기 신축 기판 및 상기 신축성층에 변형이 집중되는 신축성 전자소자 플랫폼
3 3
제2항에 있어서,전체 시스템에 인장이 가해질 때, 상기 신축성층의 영률이 작을수록, 단단한 아일랜드와 인터커넥터의 변형률 및 응력 분포가 줄어드는 신축성 전자소자 플랫폼
4 4
제1항에 있어서, 상기 고정층을 형성한 후, 금속 및 유기 반도체를 증착하여 신축성 유기 광전 및 전자소자를 제작하는 신축성 전자소자 플랫폼
5 5
제4항에 있어서, 유기 광전 및 전자 소자는 신축성 기판, 신축성층, 고정층이 견딜 수 있는 온도 범위내에서 증착이 가능한 도체 및 반도체, 부도체 등의 층으로 구성되는 다양한 전자 및 광전소자가 고정층의 단단한 아일랜드 상에 구성되는신축성 전자소자 플랫폼
6 6
제1 영률을 갖는 신축 기판을 형성하는 단계; 상기 신축 기판 상에 상기 제1 영률보다 낮은 제2 영률을 갖는 신축성 물질을 코팅하여 신축성층을 형성하는 단계; 및 상기 신축성층 상에 포토레지스트 혹은 UV경화성 수지의 코팅과, UV-경화를 통해 패터닝한 단단한 아일랜드 및 신축성 인터커넥터를 포함하는, 상기 제1 영률보다 높은 영률을 갖는 단단한 고정층을 상기 신축성 인터커넥터가 상기 신축성층 상에 코팅되어 상기 신축성 인터커넥터의 일면이 상기 신축성층과 접촉하도록 형성하는 단계;를 포함하는 신축성 전자소자 플랫폼 제작 방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 고정층 중 단단한 아일랜드 패턴에는 변형이 발생하지 않고, 상기 신축 기판 및 상기 신축성층에 변형이 집중되는신축성 전자소자 플랫폼 제작 방법
8 8
제7항에 있어서, 전체 시스템에 인장이 가해질 때, 상기 신축성층의 영률이 작을수록, 단단한 아일랜드와 인터커넥터의 변형률 및 응력 분포가 줄어드는 신축성 전자소자 플랫폼 제작 방법
9 9
제6항에 있어서, 상기 고정층을 형성한 후, 금속 및 유기 반도체를 증착하여 신축성 유기 광전 및 전자소자를 제작하는 단계를 더 포함하는 신축성 전자소자 플랫폼 제작 방법
10 10
제9항에 있어서, 유기 광전 및 전자 소자는 신축성 기판, 신축성층, 고정층이 견딜 수 있는 온도 범위내에서 증착이 가능한 도체 및 반도체, 부도체 등의 층으로 구성되는 다양한 전자 및 광전소자가 고정층의 단단한 아일랜드 상에 구성되는신축성 전자소자 플랫폼 제작 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US20190305233 US 미국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2019305233 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국과학기술원 집단연구지원 인체부착형 빛 치료 헬스케어 공학 센터
2 과학기술정보통신부 한국과학기술원 나노·소재기술개발 인체부착형 수면무호흡증 모니터링 패치 구현을 위한 저전력 생체신호 센서 및 통신 회로 시스템 개발