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음각 방식의 패턴 제조 방법 및 그 제조 방법으로 제조된 금속 나노 코팅층

  • 기술번호 : KST2020008808
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 금속 나노 입자를 포함하는 잉크를 준비하는 단계, 기판 상에 상기 잉크를 제공하여, 액상의 예비 코팅층을 형성하는 단계, 액상의 상기 예비 코팅층에 대하여, 미리 정해진 경로로 레이저 스캔을 수행하여, 상기 미리 정해진 경로 상의 상기 예비 코팅층을 열 모세관 현상에 따라 밖으로 밀어냄으로써, 상기 예비 코팅층에 소정의 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 소정의 패턴으로 형성된 상기 예비 코팅층을 소결하여 소결된 코팅층을 형성하는 단계를 포함하는 음각 방식의 패턴 제조 방법이 제공된다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01) G03F 7/16 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01) H01L 29/06 (2006.01.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020180154902 (2018.12.05)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자 10-2125148-0000 (2020.06.15)
공개번호/일자 10-2020-0068209 (2020.06.15) 문서열기
공고번호/일자 (20200619) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.12.05)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍석준 경기도 안산시 상록구
2 박세웅 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)
2 최내윤 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 ** *동 ***호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.12.05 수리 (Accepted) 1-1-2018-1216486-78
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.06.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.08.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0004789-85
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.01.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0056080-18
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.03.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0301785-11
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.03.23 수리 (Accepted) 1-1-2020-0301789-04
7 등록결정서
Decision to grant
2020.05.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0312712-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
금속 나노 입자를 포함하는 잉크를 준비하는 단계;기판 상에 상기 잉크를 제공하여, 액상의 예비 코팅층을 형성하는 단계;액상의 상기 예비 코팅층에 대하여, 미리 정해진 경로로 레이저 스캔을 수행하여, 상기 미리 정해진 경로 상의 상기 예비 코팅층을 열 모세관 현상에 따라 밖으로 밀어냄으로써 상기 미리 정해진 경로 양 측벽에 댐(dam)을 형성하되, 상기 미리 정해진 경로 이외의 예비 코팅층은 상기 액상 상태로 유지하면서, 상기 예비 코팅층에 소정의 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 소정의 패턴이 형성된 액상의 상기 예비 코팅층을 소결하여 소결된 코팅층을 형성하는 단계를 포함하되,상기 댐의 유동성은, 상기 댐 외의 액상의 상기 예비 코팅층의 유동성보다 낮고,상기 예비 코팅층에 상기 소정의 패턴을 형성하는 단계에 있어서, 상기 레이저 스캔은, 0
2 2
제1 항에 있어서,액상의 상기 예비 코팅층을 형성하는 단계는, 60 초 초과 및 1800 초 미만의 시간으로 수행되는 것을 포함하는 음각 방식의 패턴 제조 방법
3 3
제1 항에 있어서, 상기 예비 코팅층에 상기 소정의 패턴을 형성하는 단계에 있어서,상기 레이저 스캔은 0
4 4
제1 항에 있어서, 상기 예비 코팅층에 상기 소정의 패턴을 형성하는 단계에 있어서,상기 레이저 스캔은 0
5 5
제1 항에 있어서, 상기 예비 코팅층에 상기 소정의 패턴을 형성하는 단계는,상기 레이저 스캔에 의하여 온도가 상승함에 따라, 상기 미리 정해진 경로의 예비 코팅층의 표면 장력이 감소하는 것을 포함하는 음각 방식의 패턴 제조 방법
6 6
제5 항에 있어서, 상기 예비 코팅층의 상기 표면 장력이 감소하는 것에 따라, 상기 열 모세관 현상이 발생하는 것을 포함하는 음각 방식의 패턴 제조 방법
7 7
제1 항에 있어서, 상기 예비 코팅층에 상기 소정의 패턴을 형성하는 단계는, 상기 레이저 스캔에 의하여, 상기 미리 정해진 경로 상의 예비 코팅층을 제거하는 것을 포함하는 음각 방식의 패턴 제조 방법
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
제1 항에 있어서, 상기 댐의 높이는, 상기 코팅층의 높이보다 높게 형성되는 것을 포함하는 음각 방식의 패턴 제조 방법
11 11
제1 항에 있어서, 상기 소결된 코팅층을 형성하는 단계는, 상기 레이저 스캔에 의해 상기 미리 정해진 경로 외의 예비 코팅층을 소결함으로써, 음각 방식으로 상기 소정의 패턴을 제조하는 것을 포함하는 음각 방식의 패턴 제조 방법
12 12
삭제
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1 산업통상자원부 한양대학교 에리카 산학협력단 Human Resources Program in Energy Technology 고효율 수송기기 에너지 저감기술 고급트랙