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절연특성을 갖는 램프 기판과; 상기 램프 기판의 상부 일측에 에미터가 눕혀지도록 설치되는 필드 에미터와; 상기 램프 기판의 상부 타측에 경사진 면이 필드 에미터와 마주보도록 형성되는 삼각 가로기둥 형태의 애노드 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 평면형 엑스레이 램프
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제 1 항에 있어서, 상기 램프 기판은 석영, 유리 또는 테프론으로 형성된 것을 특징으로 하는 평면형 엑스레이 램프
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제 1 항에 있어서, 상기 필드 에미터는 탄소나노튜브 에미터를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면형 엑스레이 램프
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제 1 항에 있어서, 상기 애노드 전극은 텅스텐, 구리 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 평면형 평면형 엑스레이 램프
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제 1 항에 있어서, 상기 엑스레이 램프는,상기 필드 에미터에서 방출된 전자를 가속시키는 게이트 전극을 필드 에미터와 애노드 전극 사이에 더 설치한 것을 특징으로 하는 평면형 엑스레이 램프
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제 1 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 게이트 전극은,상기 필드 에미터의 에미터 상부에 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 평면형 엑스레이 램프
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7
제 1 항의 엑스레이 램프 두 개를 일렬 배열하여 합착한 것을 특징으로 하는 평면형 엑스레이 램프
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8
제 1 항의 엑스레이 램프 다수개를 일렬로 배열하여 합착한 것을 특징으로 하는 평면형 엑스레이 램프
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9
제 1 항의 엑스레이 램프 다수개를 2차원적으로 평면 배열하여 합착한 것을 특징으로 하는 평면형 엑스레이 램프
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10
램프 기판 상부 일측에 필드 에미터를 형성하는 단계와;상기 램프 기판 상부의 타측에 상기 필드 에미터의 에미터와 경사진 부분이 마주보도록 삼각 가로기둥 형상의 애노드 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면형 엑스레이 램프의 제조방법
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제 9 항에 있어서, 상기 램프기판 상부에 애노드 전극을 형성하는 방법은,텅스텐, 구리 중 어느 하나를 이용하여 스퍼터링, 증착법, 또는 전자빔 증착법을 이용하여 삼각 가로기둥 형상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 평면형 엑스레이 램프 제조방법
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제 9 항에 있어서,상기 필드 에미터와 애노드 전극 사이에 게이트 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면형 엑스레이 램프 제조방법
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13
제 10 항에 있어서,상기 필드 에미터는,기판 상부에 촉매 금속층을 형성하는 단계와;상기 촉매 금속층 상부에 레지스트 패턴을 형성하는 단계와;상기 레지스트 패턴 상부에 에미터를 성장시키는 단계로 제조되는 것을 특징으로 하는 평면형 엑스레이 램프 제조방법
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제 13 항에 있어서,상기 에미터 상부에 게이트 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면형 엑스레이 램프 제조방법
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제 13 항에 있어서,상기 에미터를 성장시키는 단계는,플라즈마 화학기상증착법을 이용하여 탄소나노튜브를 성장시키는 것을 특징으로 하는 평면형 엑스레이 램프 제조방법
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제 10 항에 의해 제조된 엑스레이 램프 다수개를 선형적으로 배열 합착하는 것을 특징으로 하는 평면형 엑스레이 램프 제조방법
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제 10 항에 의해 제조된 엑스레이 램프 다수개를 2차원적 평면으로 배열 합착하는 특징으로 하는 평면형 엑스레이 램프 제조방법
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