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전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015008460
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판과 상기 기판 상에 구비되는 에미터를 포함하는 전계방출소자에 있어서, 상기 기판 하부에 열합착된 금속성의 1차 캐리어판을 포함하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL H01J 1/304 (2006.01.01) H01J 9/02 (2006.01.01)
CPC H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01)
출원번호/일자 1020130017930 (2013.02.20)
출원인 경희대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1401572-0000 (2014.05.23)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140603) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.02.20)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경희대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 기흥구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박규창 대한민국 서울 광진구
2 강정수 대한민국 서울 광진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오세중 대한민국 서울시 강남구 테헤란로 ***, **** (역삼동. 성지하이츠 Ⅱ)(해오름국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 월드빔솔루션 서울특별시 동대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2013-0151696-95
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.11.20 수리 (Accepted) 9-1-2013-0098182-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.01.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0006267-35
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-0209787-79
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.03.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0209790-17
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2014.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0209578-80
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0404460-29
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2014.04.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0404461-75
10 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2014.05.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0351416-45
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.09 수리 (Accepted) 4-1-2015-5029677-09
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164254-26
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판과 상기 기판 상에 구비되는 에미터를 포함하는 전계방출소자로서,상기 기판 하부에 배치된 금속성의 1차 캐리어판;상기 1차 캐리어판 하부에 배치된 캐소드; 및요철이 형성된 제1 요철면을 하부에 구비하고, 상기 1차 캐리어판과 캐소드 사이에 배치된 금속성의 2차 캐리어판을 포함하되,상기 캐소드는,상기 2차 캐리어판의 제1 요철면에 대응하는 반대 요철이 형성된 제2 요철면을 구비하고, 상기 제2 요철면이 상기 2차 캐리어판의 제1 요철면에 요철 결합되는 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 1차 캐리어판과 2차 캐리어판 사이에 전도성 접착 중간재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자
4 4
기판과 상기 기판 상에 구비되는 에미터를 포함하는 전계방출소자로서,요철이 형성된 제1 요철면을 하부에 구비하고, 상기 기판의 하부에 배치된 금속성의 2차 캐리어판;상기 2차 캐리어판의 제1 요철면에 대응하는 반대 요철이 형성된 제2 요철면을 구비하고, 상기 제2 요철면이 상기 2차 캐리어판의 제1 요철면에 요철 결합되는 캐소드를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자
5 5
제1항, 제3항 및 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 캐소드는 상기 제2 요철면의 배면 또는 측면에 전극을 구비한 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자
6 6
제1항, 제3항 및 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 2차 캐리어판과 캐소드 간의 요철 결합은 분리 및 재결합이 가능한 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자
7 7
제1항, 제3항 및 제4항에 중 어느 한 항에 있어서,상기 2차 캐리어판의 요철은 나사산 또는 핀형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자
8 8
삭제
9 9
기판과 상기 기판 상에 구비되는 에미터를 포함하는 전계방출소자로서,상기 기판 하부에 금속성의 1차 캐리어판을 열합착시키는 제1단계;일면에 요철이 형성된 제1 요철면을 구비한 금속성의 2차 캐리어판을 형성하고, 상기 1차 캐리어판 상에 상기 제1 요철면의 배면을 접착하는 제2단계;상기 2차 캐리어판의 제1 요철면과 대응하는 반대 요철이 형성된 제2 요철면을 구비한 캐소드를 형성하는 제3단계;상기 2차 캐리어판의 제1 요철면과 상기 캐소드의 제2 요철면을 요철 결합하는 제4단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자의 제조방법
10 10
제9항에 있어서,상기 제2단계에서,전도성 접착 중간재를 이용하여 상기 1차 캐리어판과 상기 2차 캐리어판을 접착하는 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자의 제조방법
11 11
제9항 또는 제10항에 있어서,상기 제3단계는,상기 제2 요철면의 배면 또는 측면에 전극을 구비하도록 상기 캐소드를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자의 제조방법
12 12
제9항 또는 제10항에 있어서,상기 제1단계는,상기 기판에 상기 1차 캐리어판 방향으로 압력을 가하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자의 제조방법
13 13
기판과 상기 기판 상에 구비되는 에미터를 포함하는 전계방출소자에 있어서,일면에 요철이 형성된 제1 요철면을 구비한 금속성의 2차 캐리어판을 형성하고, 상기 제1 요철면의 배면을 상기 기판 하부에 열합착시키는 제1단계;상기 2차 캐리어판의 제1 요철면과 대응하는 반대 요철이 형성된 제2 요철면을 구비한 캐소드를 형성하는 제2단계;상기 2차 캐리어판의 제1 요철면과 상기 캐소드의 제2 요철면을 요철 결합하는 제3단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자의 제조방법
14 14
제13항에 있어서,상기 제1단계는,상기 기판을 불산용액에 함침시킨 후 건조시키는 단계와 2차 캐리어판을 아세톤과 IPA로 세척하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자의 제조방법
15 15
제14항에 있어서,상기 기판을 불산용액에 함침시키는 시간은 10 내지 60초인 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자의 제조방법
16 16
제13항에 있어서,상기 제1단계는,상기 기판에 상기 2차 캐리어판 방향으로 압력을 가하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자의 제조방법
17 17
제9항, 제10항 및 제13항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1단계는,복사열을 이용하여 열합착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자의 제조방법
18 18
제17항에 있어서,상기 열합착 단계는 진공 챔버 속에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자의 제조방법
19 19
제18항에 있어서,상기 열합착 단계는,챔버 속 온도를 증가시키고, 상기 증가되는 온도가 열합착 온도에 도달하면 온도 상승을 중지하고 원하는 시간만큼 유지하여 열합착시키는 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자의 제조방법
20 20
제19항에 있어서,상기 열합착 온도는 560℃ 내지 580℃로 15분간 유지되는 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자의 제조방법
21 21
제18항에 있어서,상기 챔버 내 압력은 10-3 내지 10-8Torr로 유지되는 것을 특징으로 하는 전자방출의 특성이 향상된 전계방출소자의 제조방법
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1 지식경제부 (주)효성 산업융합기술산업원천기술개발사업 고휘도 장수명 전계방출 나노소재 개발