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나노 플라즈모닉 집적 회로 모듈에 있어서,
광 도파로로부터 입력받은 광 신호를 집속하고, 이를 표면 플라즈모닉 폴라리톤 신호로 변환하고 이를 수에서 수십 마이크론 또는 나노 크기로 집속하는 입력 이중금속테이퍼(Taper);
상기 집속된 표면 플라즈몬 플라리톤 신호를 전송하기 위한 표면 플라즈모닉 폴라리톤 도파로;
상기 표면 플라즈모닉 폴라리톤 도파로를 통하여 전송되는 표면 플라즈몬 플라리톤 신호를 감지하고 처리하는 신호 감지 및 처리부; 및
상기 표면 플라즈모닉 폴라리톤 신호로 탈집속하고 이를 광 신호로 변환하여 출력하는 출력 이중금속테이퍼를 포함하되,
상기 입력 이중금속테이퍼 또는 상기 출력 이중금속테이퍼는,
제1 금속층;
상기 제1 금속층 상에 형성된 유전체층; 및
상기 유전체층 상에 형성되는 한편, 일단 및 타단을 포함하고, 상기 일단에서 상기 타단으로 갈수록 그 폭이 좁아지는 형태의 제2 금속층을 포함하되,
상기 제2 금속층의 일단에서는 광 신호와 SPP 광 신호 간 모드 변환이 이루어지며, 수 내지 서브 마이크론 크기의 SPP 광 신호가 상기 일단에서 타단으로 진행하면서 수에서 수십 마이크론 또는 나노 크기의 SPP 광 신호로 포커싱되는 것을 특징으로 하는 나노 플라즈모닉 집적 회로 모듈
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제1항에 있어서,
상기 제1 금속층 또는 제2 금속층은 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al) 또는 구리(Cu) 중 어느 하나의 금속으로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노 플라즈모닉 집적 회로 모듈
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제1항에 있어서,
상기 유전체층은 실리콘(Si), 석영(SiO2) 또는 폴리머(Polymer) 중 어느 하나의 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노 플라즈모닉 집적 회로 모듈
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제1항에 있어서,
상기 제1 금속층과 유전체층은 일단 및 타단을 포함하고, 상기 일단에서 상기 타단으로 갈수록 그 폭이 좁아지는 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 나노 플라즈모닉 집적 회로 모듈
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제1항에 있어서,
상기 제1 금속층과 유전체층은 스트립(Strip) 형태의 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 나노 플라즈모닉 집적 회로 모듈
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제1항에 있어서,
상기 표면 플라즈모닉 폴라리톤 도파로는,
제1 금속층;
상기 제1 금속층 상에 형성된 유전체층; 및
상기 유전체층 상에 형성되는 제2 금속층으로 구성되는 이중 금속 도파로인 것을 특징으로 하는 나노 플라즈모닉 집적 회로 모듈
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제1 금속층;
상기 제1 금속층 상에 형성된 유전체층; 및
상기 유전체층 상에 형성되는 한편, 일단 및 타단을 포함하고, 상기 일단에서 상기 타단으로 갈수록 그 폭이 좁아지는 형태의 제2 금속층을 포함하되,
상기 제2 금속층의 일단에서는 광 신호와 SPP 광 신호 간 모드 변환이 이루어지며, 수 내지 서브 마이크론 크기의 SPP 광 신호가 상기 일단에서 타단으로 진행하면서 수에서 수십 마이크론 또는 나노 크기의 SPP 광 신호로 포커싱되는 것을 특징으로 하는 이중 금속 도파로 소자
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제8항에 있어서,
상기 제1 금속층 또는 제2 금속층은 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al) 또는 구리(Cu) 중 어느 하나의 금속으로 이루어진 것을 특징으로 하는 이중 금속 도파로 소자
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10
제8항에 있어서,
상기 유전체층은 실리콘(Si), 석영(SiO2) 또는 폴리머(Polymer) 중 어느 하나의 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 이중 금속 도파로 소자
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제8항에 있어서,
상기 제1 금속층과 유전체층은 스트립(Strip) 형태의 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 이중 금속 도파로 소자
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