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박막을 이용한 나노 패터닝용 파운틴 펜 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015143492
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막을 이용한 나노 파운틴 펜 및 그 제조방법에 관한 것으로서,유체를 저장하는 메인 챔버와 상기 메인 챔버와 유로를 통해 연결된 보조 챔버와, 상기 보조 챔버의 상단에 설치되어 유체를 분출시키는 박막과, 상기 박막을 구동하는 팁으로 구성되고, 상기 팁의 상단은 상기 박막과 연결되고, 상기 팁의 하단은 상기 보조 챔버의 바닥에 형성된 배출구를 통과하도록 하기 때문에, 별도의 액츄에이션을 위한 장치 없이 기계적 운동을 통한 박막의 변형을 통해 잉크 분출이 가능하고 그 크기 또한 나노 단위로 우수하다는 장점이 있다.
Int. CL G01B 21/30 (2011.01) B82Y 40/00 (2011.01) G01N 37/00 (2011.01) H01J 37/28 (2011.01)
CPC B01L 3/0268(2013.01) B01L 3/0268(2013.01) B01L 3/0268(2013.01) B01L 3/0268(2013.01) B01L 3/0268(2013.01)
출원번호/일자 1020050029091 (2005.04.07)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0675602-0000 (2007.01.23)
공개번호/일자 10-2006-0107090 (2006.10.13) 문서열기
공고번호/일자 (20070130) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.04.07)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이석한 미국 경기 수원시 장안구
2 김훈모 대한민국 경기 수원시 장안구
3 이영관 대한민국 경기 수원시 장안구
4 이성근 대한민국 경기 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인정직과특허 대한민국 서울 강남구 선릉로 ***(논현동, 썬라이더빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2005-0183141-96
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.05.20 수리 (Accepted) 4-1-2005-5050683-10
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.05.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.06.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0041206-67
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0469670-37
6 의견서
Written Opinion		 2006.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2006-0739115-84
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.10.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0739116-29
8 등록결정서
Decision to grant		 2007.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0024777-99
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.08.10 수리 (Accepted) 4-1-2007-0015278-18
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
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번호 청구항
1 1
나노 패터닝용 파운틴 펜에 있어서,잉크 및 매개 물질을 저장하는 챔버와;상기 챔버 내의 압력 변화를 일으키는 박막(110)과;상기 박막(110)에 연결되어 있고, 상기 챔버에 형성된 배출구(118)와 간격을 두고 배치되는 팁(116)과;를 포함하여 구성되어 있어,상기 팁(116)의 이동에 의해 박막(110)이 변형함에 따라 챔버 내부의 압력이 변화되어 잉크 및 매개물질이 팁(116)으로 유동하는 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 파운틴 펜
2 2
제1항에 있어서,상기 챔버는 메인 챔버(112)와 보조 챔버(115)로 구성되어 있고,상기 메인 챔버(112)와 보조 챔버(115) 사이에는 유로(111)가 형성되어 있고,상기 보조 챔버(115)의 상단에는 박막(110)이 형성되어 있고,상기 보조 챔버(115)의 내부에는 팁(116)이 박막(110)에 연결되어 아래쪽으로 연장되어 있고,상기 팁(116)은 상기 보조 챔버(115)의 바닥에 형성된 배출구(118)와 간격을 두고 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 파운틴 펜
3 3
제2항에 있어서,상기 팁(116)은 상기 배출구(118)로부터 아래쪽으로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 파운틴 펜
4 4
나노 패터닝용 파운틴 펜의 제조방법에 있어서,(1) 실리콘 웨이퍼의 바닥면에 보조 챔버에 대한 패턴을 형성하고, 그 패턴을 따라 실리콘 웨이퍼를 에칭하여 표면에 역피라미드형 홈을 형성하는 단계 (2) 역피라미드형 홈이 형성된 실리콘 웨이퍼의 표면에 SiN을 증착하는 단계(3) SiN이 증착된 역 피라미드형 바닥면에 배출구에 대한 패턴을 형성하고, 그 패턴을 따라 역피라미드형 바닥면의 배출구 부분의 SiN을 에칭하는 단계(4) 표면에 희생층을 증착한 후, 보조 챔버과 유로 부분에 대한 패턴을 형성하고, 상기 패턴에 따라 희생층을 제외한 나머지 부분을 에칭하는 단계 (5) 상기 희생층이 형성된 웨이퍼 위에 박막 SiN을 증착한 후, 제작할 나노 파운틴 펜의 클램프와 메인 챔버의 바닥자리에 대한 패턴을 형성한 후, 상기 패턴에 따라 SiN을 에칭하는 단계(6) 클램프와 메인 챔버의 제작단계 (7) 상기 (5)에서 제작된 실리콘 웨이퍼와 상기 (6)에서 제작된 메인 챔버를 본딩하는 단계(8) 상기 (7)에서 만들어진 조립물에서 상기 (4)에서 제작된 희생층을 에칭함으로써 보조 챔버와 유로를 형성하는 단계(9) 상기 (8)에서 제작된 실리콘 웨이퍼의 바닥면을 에칭하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 파운틴 펜의 제조방법
5 5
제4항에 있어서,상기 (6)단계는,파이랙스 글라스(Pyrex Glass)의 한 면에 금(Au) 및 크롬(Cr)을 증착하는 단계와;표면에 포토 레지스터를 적용하고 메인 챔버 바닥 부분의 패턴을 형성하는 단계와;메인 챔버 바닥 부분을 제외한 표면에 니켈(Ni)을 증착하는 단계와;니켈 증착된 부분 이외의 부분을 에칭하여 상하 관통하는 단계와;증착된 니켈(715) 및, 금(712) 및 크롬(713)을 제거하는 단계와;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 파운틴 펜의 제조방법
6 6
제4항 또는 제5항에 있어서,상기 희생층은 SiO2로 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 파운틴 펜의 제조방법
7 7
제6항에 있어서,상기 (1)단계에서 실리콘 웨이퍼의 에칭액은 TMAH인 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 파운틴 펜의 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.