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박막 게터, 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019001884
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 박막 게터가 제공된다. 기판, 및 상기 기판 상의 흡수층을 포함하되, 상기 흡수층은, 타겟 가스를 흡수하는 게터재, 및 상기 타겟 가스의 이동 경로를 제공하는 보조재를 포함하되, 상기 게터재는, 상기 보조재에 의해 복수의 게터 영역으로 구분될 수 있다.
Int. CL H01L 21/322 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01)
CPC H01L 21/3225(2013.01) H01L 21/3225(2013.01) H01L 21/3225(2013.01) H01L 21/3225(2013.01)
출원번호/일자 1020170108951 (2017.08.28)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0023357 (2019.03.08) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.08.28)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 좌용호 대한민국 경기도 안산시 상록구
2 임효령 대한민국 강원도 춘천시 후석로*
3 엄누시아 대한민국 경기도 평택시 팽성

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)
2 최내윤 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 ** *동 ***호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-0833254-85
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.09.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.11.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0006271-70
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.01.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0043298-35
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2019-0276165-23
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.04.17 수리 (Accepted) 1-1-2019-0392138-99
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.05.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0494558-10
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2019-0494557-75
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.09.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0662086-60
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2019-1054230-87
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2019.10.16 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-1054231-22
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2019.10.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0774773-67
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번호 청구항
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타겟 가스를 흡수하는 게터재, 및 상기 타겟 가스의 이동 경로를 제공하는보조재를 준비하는 단계; 상기 게터재 및 상기 보조재를 기판 상에 동시에 제공하여, 상기 게터재 및상기 보조재를 포함하는 예비 흡수층을 상기 기판 상에 형성하는 단계;상기 예비 흡수층 상에 제1 금속을 포함하는 제1 보호층, 및 상기 제1 금속보다 낮은 융점을 갖는 제2 금속을 포함하는 제2 보호층을 순차적으로 형성하는 단계; 및 상기 예비 흡수층, 상기 제1 보호층, 및 상기 제2 보호층을 함께 열처리하는 한번의(one step) 활성화 공정을 수행하여, 상기 게터재 및 상기 보조재를 포함하는 흡수층, 및 상기 흡수층 상에 배치되고 상기 흡수층의 적어도 일 영역을 노출시키는 복수의 개구부를 포함하며 상기 제1 및 제2 금속을 포함하는 합금층을 함께 형성하는 단계를 포함하되, 상기 열처리 온도는 상기 제1 금속의 융점 보다 낮고,상기 흡수층을 형성하는 단계는,상기 예비 흡수층이 열처리되어, 상기 보조재는 상기 게터재 내에서 연장하는 복수의 브랜치(branch)를 갖고, 상기 복수의 브랜치에 의해 상기 게터재가 복수의 게터 영역으로 구분되며,상기 흡수층 내에서 상기 게터재의 함유량은 상기 보조재의 함유량 보다 높고,상기 흡수층 내에서 상기 게터 영역의 폭은 상기 브랜치의 폭보다 넓은 것을 포함하는 박막 게터의 제조 방법
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제8 항에 있어서, 상기 게터재 및 상기 보조재는 가열된 상기 기판 상에 동시에 제공되어, 상기 보조재는 상기 게터재 내에서 연장하는 복수의 브랜치(branch)를 갖고, 상기 복수의 브랜치에 의해 상기 게터재가 복수의 게터 영역으로 구분되는 것을 포함하는 박막 게터의 제조 방법
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제8 항에 있어서, 상기 게터재 및 상기 보조재는, 스퍼터링, 또는 기상 증착법으로 상기 기판 상에 동시에 제공되는 것을 포함하는 박막 게터의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국산업기술평가관리원 산업기술혁신사업 / 산업핵심기술개발사업 / 산업소재핵심기술개발사업(RCMS) 액상공정을 이용한 열변화형 세라믹 박막 및 저온 진공 박막 게터 기술 개발