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마이크로 렌즈 어레이 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019023868
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법이 개시된다.이 방법에서는, 먼저, 기판 상에 포토레지스트를 도포하여 포토레지스트층을 형성한다. 그 후, 마스크를 사용하여 상기 포토레지스트층의 일부를 노광하고, 상기 포토레지스트층의 상부에 박막을 형성한다. 계속해서, 상기 박막이 형성된 포토레지스트층을 현상하는 동시에 초음파 진동을 가하여 상기 박막이 융기하도록 한 후, 융기한 상기 박막에 전면 노광을 수행하여 마이크로 렌즈 어레이를 형성한다.
Int. CL G02B 3/00 (2006.01.01) B29D 11/00 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC G02B 3/0012(2013.01) G02B 3/0012(2013.01) G02B 3/0012(2013.01) G02B 3/0012(2013.01)
출원번호/일자 1020150158816 (2015.11.12)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1839461-0000 (2018.03.12)
공개번호/일자 10-2016-0063242 (2016.06.03) 문서열기
공고번호/일자 (20180316) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020140166780   |   2014.11.26
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.11.12)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 원용협 대한민국 대전광역시 유성구
2 김준오 대한민국 경기도 수원시 권선구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.11.12 수리 (Accepted) 1-1-2015-1102681-76
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0603853-87
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.10.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1037202-96
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-1037201-40
5 등록결정서
Decision to grant		 2018.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0136675-69
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1
기판 상에 포토레지스트를 도포하여 포토레지스트층을 형성하는 단계;마스크를 사용하여 상기 포토레지스트층의 일부를 노광하는 단계;상기 포토레지스트층의 상부에 박막을 형성하는 단계; 상기 박막이 형성된 포토레지스트층을 현상하는 동시에 초음파 진동을 가하여 상기 박막이 융기하도록 하는 단계; 및융기한 상기 박막에 전면 노광을 수행하는 단계를 포함하고,상기 박막이 융기하도록 하는 단계에서, 상기 박막이 형성된 포토레지스트층이 형성된 기판이 현상액에 담궈져서 상기 초음파 진동에 의해 상기 포토레지스트와 상기 현상액의 혼합물이 상기 박막 내에서 합쳐져서 상기 박막이 융기하도록 하는,마이크로 렌즈 어레이 제조 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 포토레지스트층을 형성하는 단계에서,스핀코팅에 의해 상기 포토레지스트층의 두께 조절이 수행되고,상기 스핀코팅 후에 소프트 소성이 추가로 수행되는것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 박막은 상기 포토레지스트층의 상부에 대한 전체 노광에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법
4 4
제1항에 있어서, 마이크로 렌즈의 초점거리에 따라 상기 박막의 두께가 조절되는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 박막을 형성하는 단계에서, 상기 박막에 대한 노광 후 소성이 추가로 수행될 수 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 전면 노광을 수행하는 단계 후에,니켈 전기도금 또는 PDMS(Polydimethylsiloxane)로 상기 전면 노광이 수행된 후의 상기 박막의 형틀을 떠서 마이크로 렌즈 어레이를 형성하는것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법
7 7
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 포토레지스트는 자외선 감광제 폴리머 또는 SU-8인 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법
8 8
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 포토레지스트층의 두께는 200 내지 300um이고,상기 박막의 두께는 25 내지 40um인 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법
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1 WO2017082467 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 WO2017082467 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국과학기술원 산업융합기술IT융합 안구 적응형 3D 영상구현을 위한 마이크로 액체렌즈어레이 패널 개발