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원형 PCB 기판;상기 원형 PCB 기판 상부에 형성되는 전극; 및상기 원형 PCB 기판의 크기에 대응하며 상기 원형 PCB 기판 상부에 배치되는 원형 전극 상판;을 포함하고,상기 전극은 상기 원형 PCB 기판의 중심으로부터 소정 거리만큼 떨어진 지점에서부터 상기 원형 PCB 기판의 반지름 방향을 따라 형성되는 복수 쌍의 선형 전극이며, 상기 원형 PCB 기판의 원주 방향을 따라 일정 각도 간격으로 등분되도록 각각 이격되어 형성되며,상기 원형 PCB 기판과 상기 원형 전극 상판은 소정 간격 이격되어 에어 갭(Air Gap)을 형성하며,상기 전극과 상기 원형 전극 상판 사이의 정전용량의 변화를 측정하여 외부에서 가해지는 힘 또는 토크의 크기를 측정하는 정전용량형 6축 힘 센서
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제1항에 있어서,상기 전극은 120도 간격으로 등분되는 3쌍의 전극으로 이루어지는 정전용량형 6축 힘 센서
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제1항에 있어서,상기 전극은 90도 간격으로 등분되는 4쌍의 전극 또는 60도 간격으로 등분되는 6쌍의 전극으로 이루어지는 정전용량형 6축 힘 센서
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제1항에 있어서,상기 원형 전극 상판은 금속으로 이루어지고, 외부와 접지되어 있는 정전용량형 6축 힘 센서
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제1항에 있어서,상기 원형 전극 상판이 상기 원형 PCB 기판과 마주보는 면에는, 상기 전극이 형성되는 위치에 대응하는 영역에 홈이 형성되어 있는 정전용량형 6축 힘 센서
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제1항에 있어서,상기 원형 전극 상판이 상기 원형 PCB 기판과 소정 간격 이격되도록 상기 원형 전극 상판을 고정하는 탄성구조물을 더 포함하는 정전용량형 6축 힘 센서
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제1항에 있어서,상기 전극이 형성된 상기 원형 PCB 기판 표면에 도포되는 유전체를 더 포함하는 정전용량형 6축 힘 센서
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