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N개(N은 자연수)의 제1 전극을 포함하는 제1 기판;상기 제1 전극과 마주하는 N개의 제2 전극을 포함하는 제2 기판; 및상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 위치하는 유전체;를 포함하여 이루어지고,서로 마주하는 제1 전극과 제2 전극, 및 서로 마주하는 제1 전극과 제2 전극 사이에 위치하는 유전체가 N개의 센서셀을 이루며, 상기 센서셀은 제1 전극과 제2 전극이 수평 방향에 있어서 서로 전극 편차를 두고 형성되고 측정된 커패시턴스에 의해 수평 방향 힘을 측정하는 전단력 센서셀을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 평판형 힘/토크 센서
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제1항에 있어서,상기 센서셀은 측정된 커패시턴스에 의해 센서에 가해지는 수직 방향 힘을 측정하는 수직항력 센서셀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판형 힘/토크 센서
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제2항에 있어서,상기 N개의 센서셀 중 1/2은 상기 수직항력 센서셀이고, 나머지 1/2은 상기 전단력 센서셀인 것을 특징으로 하는 평판형 힘/토크 센서
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제3항에 있어서,상기 센서는 원형판 형태이며, 상기 센서의 외주면에 상기 수직항력 센서셀과 상기 전단력 센서셀이 교번하여 위치하는 것을 특징으로 하는 평판형 힘/토크 센서
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제4항에 있어서,상기 N개의 센서셀은 3개의 수직항력 센서셀과 3개의 전단력 센서셀로 구성되고 상기 센서의 중심을 기준으로 60°간격으로 배치된 것을 특징으로 하는 평판형 힘/토크 센서
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제1항에 있어서,상기 제1 기판 및 제2 기판은 PCB기판이며, 상기 제1 전극 및 제2 전극은 PCB 기판에 직접 형성된 전극 패턴인 것을 특징으로 하는 평판형 힘/토크 센서
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제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 수직항력 센서셀은 상기 수직항력 센서셀을 이루는 제1 전극이 제2 전극 보다 작은 것을 특징으로 하는 평판형 힘/토크 센서
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제7항에 있어서,상기 수직항력 센서셀은 상기 센서에 전단력이 가해지더라도 상기 수직항력 센서셀을 이루는 제1 전극이 제2 전극의 범위를 벗어나지 않는 것을 특징으로 하는 평판형 힘/토크 센서
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제8항에 있어서,상기 수직항력 센서셀을 이루는 제1 전극과 제2 전극의 너비 1 : 2인 것을 특징으로 하는 평판형 힘/토크 센서
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제7항에 있어서,상기 유전체의 두께와 상기 수직항력 센서셀을 이루는 제1 전극의 너비의 비는 1 : 8인 것을 특징으로 하는 평판형 힘/토크 센서
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삭제
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제1항에 있어서,상기 전단력 센서셀을 이루는 제1 전극과 제2 전극은 일정한 간격을 두고 배치된 두 개 이상의 바(bar) 형태로 형성되며, 상기 간격은 상기 바의 너비보다 큰 것을 특징으로 하는 평판형 힘/토크 센서
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제12항에 있어서,상기 전극 편차와 상기 바의 비는 9 : 10인 것을 특징으로 하는 평판형 힘/토크 센서
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제12항에 있어서,상기 유전체의 두께와 상기 바의 너비의 비는 1 : 3인 것을 특징으로 하는 평판형 힘/토크 센서
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제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 수직항력 센서셀 및 전단력 센서셀에 의해 측정된 커패시턴스를 이용하여 센서에 가해진 수직항력 및 전단력을 구하는 계산부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판형 힘/토크 센서
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