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베이스와 상기 베이스로부터 외측으로 돌출되는 돌출부로 구성되는 결합부;제1면으로부터 내부로 함몰되는 수용부가 형성되고, 상기 수용부의 내벽면인 제2면과 상기 돌출부의 측면이 대향되도록 상기 수용부가 상기 돌출부를 수용하고, 상기 제1면과 상기 베이스가 대향되도록 상기 결합부와 결합되는 하우징;상기 결합부 상에 배치되는 제1전극, 상기 하우징의 상기 제1전극과 대향되는 위치에 배치되는 제2전극, 상기 제1전극과 상기 제2전극의 사이에 배치되는 탄성유전체로 구성되는 용량변화부;를 포함하되,상기 결합부와 상기 하우징의 위치이동에 따라서 상기 용량변화부의 캐패시턴스(capacitance) 값이 변화하며,상기 제1전극은 복수개가 상기 돌출부의 측면에 방사형으로 마련되는 동시에 상기 베이스의 하면에 상기 돌출부를 중심으로 형성되는 가상의 동심원 상에 방사형으로 마련되는 것을 특징으로 하는 6축 힘/토크 센서
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베이스와 상기 베이스의 양면으로부터 외측으로 돌출되는 한 쌍의 돌출부로 구성되는 결합부;내부의 제1면과 상기 베이스가 대향되도록 상기 베이스를 수용하되, 상기 돌출부를 수용하는 관통부가 형성됨으로써, 상기 관통부의 내벽면인 제2면과 상기 돌출부의 측면이 대향되도록 상기 결합부와 결합되는 하우징;상기 결합부 상에 배치되는 제1전극, 상기 하우징의 상기 제1전극과 대향되는 위치에 배치되는 제2전극, 상기 제1전극과 상기 제2전극의 사이에 배치되는 탄성유전체로 구성되는 용량변화부;를 포함하되,상기 결합부와 상기 하우징의 위치이동에 따라서 상기 용량변화부의 캐패시턴스(capacitance) 값이 변화하며,상기 제1전극은 복수개가 상기 돌출부의 측면에 방사형으로 마련되는 동시에 상기 베이스의 하면에 상기 돌출부를 중심으로 형성되는 가상의 동심원 상에 방사형으로 마련되는 것을 특징으로 하는 6축 힘/토크 센서
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제2전극은 상기 제1면 상에 상기 제1전극과 대향되게 마련되되,상기 제1전극 또는 상기 제2전극 중 적어도 하나는 복수개가 서로 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 6축 힘/토크 센서
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제2전극은 상기 제2면 상에 상기 제2전극과 대향되게 마련되되,상기 제1전극 또는 상기 제2전극 중 적어도 하나는 복수개가 서로 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 6축 힘/토크 센서
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 하우징의 외면에 마련되며, 상기 용량변화부와 전기적으로 연결됨으로써 측정된 캐패시턴스 값에 관한 정보를 외부로 전달하는 커넥터부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 6축 힘/토크 센서
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