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센싱 영역, 베이스 영역, 상기 센싱 영역과 베이스 영역을 연결하며 탄성 변형하는 변형 영역으로 이루어지며, 상기 베이스 영역과 변형 영역을 관통하여 상기 센싱 영역의 일부분까지 이어지는 내부 공간을 갖는 그라운드부;상기 센싱 영역에 해당하는 상기 내부 공간의 내부에 위치하며, 상기 그라운드부와의 사이에서 정전용량을 발생시키는 복수 개의 전극을 갖는 센서부; 및상기 베이스 영역과 결합하며, 상기 센서부를 지지하는 지지부;를 포함하고,상기 지지부는 상기 베이스 영역과 결합하는 제1 영역과 상기 제1 영역과 상기 센서부를 연결하는 제2 영역을 포함하여 이루어지고, 상기 제1 영역은 상기 베이스 영역에 해당하는 상기 내부 공간에 대응하는 단면적을 가져 상기 내부 공간에 끼워맞춤되며,상기 센서부는 상기 제1 영역의 폭방향 면적보다 작은 폭방향 면적을 가져 폭방향에 있어서 상기 내부 공간과 이격되어 있고,상기 제2 영역은 상기 제1 영역 보다 작은 폭방향 면적을 가지고, 상기 제1 영역이 상기 베이스 영역에 끼워맞춤된 상태에서 상기 센서부가 길이방향에 있어서 상기 내부 공간과 이격되도록 하는 길이를 갖는 힘/토크 센서
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제1항에 있어서,상기 지지부는 상기 센서부의 일부분이 상기 그라운드부 외부와 연통되도록 하기 위한 관통홀을 갖는 것을 특징으로 하는 힘/토크 센서
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3
제1항에 있어서,상기 변형 영역은 변형 영역에 해당하는 상기 그라운드부의 일부 측면을 절개하여 형성된 것을 특징으로 하는 힘/토크 센서
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삭제
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삭제
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 복수 개의 전극은 사각 전극이며, 상기 사각 전극의 윗면과 적어도 하나의 측면이 상기 센싱 영역 사이에서 정전용량을 발생시키는 것을 특징으로 하는 힘/토크 센서
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7
제6항에 있어서,상기 센서부는 8개의 전극을 포함하고, 상기 8개의 전극은 가상의 정사각형의 4 모서리에 각각 2개씩 위치하며, 상기 4 모서리의 중심점을 지나는 X축과 Y축에 대칭되도록 위치되는 것을 특징으로 하는 힘/토크 센서
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8
제7항에 있어서,상기 8개의 전극과 상기 센싱 영역 사이의 정전용량을 제1 내지 제8 정전용량이라고 할 때, 상기 X축 방향의 힘이 작용할 경우 제1 및 제2 정전용량이 감소하고, 제5 및 제6 정전용량은 증가하며, 제3, 제4, 제7, 제8 정전용량은 변화가 없고,상기 Y축 방향의 힘이 작용할 경우 제3 및 제4 정전용량이 증가하고, 제7 및 제8 정전용량이 감소하며, 제1, 제2, 제5, 제6 정전용량은 변화가 없고,상기 X축 및 Y축에 수직한 Z축 방향의 힘이 작용할 경우 제1 내지 제8 정전용량이 증가하고,상기 X축 방향의 토크가 작용할 경우 상기 제1 및 제2 정전용량 중 하나가 증가하고 나머지 하나가 감소하고, 상기 제5 및 제6 정전용량 중 하나가 증가하고 나머지 하나가 감소하며, 제3, 제4, 제7, 제8 정전용량은 변화가 없고,상기 Y축 방향의 토크가 작용할 경우 상기 제3 및 제4 정전용량 중 하나가 증가하고 나머지 하나가 감소하고, 상기 제7 및 제8 정전용량 중 하나가 증가하고 나머지 하나가 감소하며, 제1, 제2, 제5, 제6 정전용량은 변화가 없고,상기 Z축 방향의 토크가 작용할 경우 상기 제1 및 제2 정전용량 중 하나가 증가하고 나머지 하나가 감소하고, 상기 제3 및 제4 정전용량 중 하나가 증가하고 나머지 하나가 감소하고, 상기 제5 및 제6 정전용량 중 하나가 증가하고 나머지 하나가 감소하며, 상기 제7 및 제8 정전용량 중 하나가 증가하고 나머지 하나가 감소하는 것을 특징으로 하는 힘/토크 센서
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제6항에 있어서,상기 센서부는 상기 복수 개의 전극이 형성된 사각형 기판을 포함하고, 상기 센싱 영역에 해당하는 상기 내부 공간은 상기 사각형 기판과 일정 거리만큼 이격된 육면체 공간인 것을 특징으로 하는 힘/토크 센서
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제9항에 있어서,상기 사각형 기판은 사각형의 꼭지점 인접 영역이 제거되어 있는 것을 특징으로 하는 힘/토크 센서
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내부 공간을 갖는 그라운드부; 상기 내부 공간에 위치하며, 상기 그라운드부와의 사이에서 정전용량을 발생시키는 전극을 포함하는 센서부; 및상기 그라운드부와 결합하며, 상기 센서부를 지지하는 지지부;를 포함하고,상기 지지부는 상기 그라운드부의 일부 영역과 결합하는 제1 영역과 상기 제1 영역과 상기 센서부를 연결하는 제2 영역을 포함하여 이루어지고, 상기 제1 영역은 상기 일부 영역에 해당하는 상기 내부 공간에 대응하는 단면적을 가져 상기 내부 공간에 끼워맞춤되며,상기 센서부는 상기 제1 영역의 폭방향 면적보다 작은 폭방향 면적을 가져 폭방향에 있어서 상기 내부 공간과 이격되며,상기 제2 영역은 상기 제1 영역 보다 작은 폭방향 면적을 가지고, 상기 제1 영역이 상기 일부 영역에 끼워맞춤된 상태에서 상기 센서부가 길이방향에 있어서 상기 내부 공간과 이격되도록 하는 길이를 가지며,상기 정전용량은 어떤 방향의 힘 또는 토크가 작용하더라도 상기 그라운드부와 상기 전극 사이의 거리 변화에 의존하여 변화하는 것을 특징으로 하는 힘/토크 센서
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제11항에 있어서,상기 센서부는 8개의 전극을 포함하고,상기 8개의 전극은 가상의 사각형의 4 모서리에 각각 2개씩 위치하며, 상기 4 모서리의 중심점을 지나는 X축과 Y축에 대칭되도록 위치되는 것을 특징으로 하는 힘/토크 센서
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제12항에 있어서,상기 8개의 전극은 윗면과 일부 측면이 상기 그라운드부와 마주보는 것을 특징으로 하는 힘/토크 센서
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제13항에 있어서,상기 내부 공간은 육면체 공간이며, 상기 전극은 적어도 하나의 측면이 상기 그라운드부와 마주보는 사각 전극인 것을 특징으로 하는 힘/토크 센서
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제14항에 있어서,상기 센서부는 사각형 기판을 포함하고, 상기 사각형 기판의 네 변에 각각 2개의 상기 전극이 위치하는 것을 특징으로 하는 힘/토크 센서
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제15항에 있어서,외부의 힘/토크가 작용하지 않는 평형 상태일 때, 상기 8개의 전극 중 상기 육면체 공간의 제1 측면에 가장 인접한 제1 및 제2 전극은 상기 제1 측면과 동일한 간격으로 이격되어 있고,상기 8개의 전극 중 상기 육면체 공간의 제2 측면에 가장 인접한 제3 및 제4 전극은 상기 제2 측면과 동일한 간격으로 이격되어 있고,상기 8개의 전극 중 상기 제1 측면과 마주보는 상기 육면체 공간의 제3 측면에 가장 인접한 제5 및 제6 전극은 상기 제3 측면과 동일한 간격으로 이격되어 있고,상기 8개의 전극 중 상기 제2 측면과 마주보는 상기 육면체 공간의 제4 측면에 가장 인접한 제7 및 제8 전극은 상기 제4 측면과 동일한 간격으로 이격되어 있고,상기 제1 내지 제8 전극은 상기 육면체 공간의 윗면과 동일한 간격으로 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 힘/토크 센서
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제16항에 있어서,상기 제1 내지 제8 전극과 상기 그라운드부 사이의 정전용량을 각각 제1 내지 제8 정전용량이라고 할 때, 상기 X축 방향의 힘이 작용할 경우 제1 및 제2 정전용량이 감소하고, 제5 및 제6 정전용량은 증가하며, 제3, 제4, 제7, 제8 정전용량은 변화가 없고,상기 Y축 방향의 힘이 작용할 경우 제3 및 제4 정전용량이 증가하고, 제7 및 제8 정전용량이 감소하며, 제1, 제2, 제5, 제6 정전용량은 변화가 없고,상기 X축 및 Y축에 수직한 Z축 방향의 힘이 작용할 경우 제1 내지 제8 정전용량이 증가하고,상기 X축 방향의 토크가 작용할 경우 상기 제1 및 제2 정전용량 중 하나가 증가하고 나머지 하나가 감소하고, 상기 제5 및 제6 정전용량 중 하나가 증가하고 나머지 하나가 감소하며, 제3, 제4, 제7, 제8 정전용량은 변화가 없고,상기 Y축 방향의 토크가 작용할 경우 상기 제3 및 제4 정전용량 중 하나가 증가하고 나머지 하나가 감소하고, 상기 제7 및 제8 정전용량 중 하나가 증가하고 나머지 하나가 감소하며, 제1, 제2, 제5, 제6 정전용량은 변화가 없고,상기 Z축 방향의 토크가 작용할 경우 상기 제1 및 제2 정전용량 중 하나가 증가하고 나머지 하나가 감소하고, 상기 제3 및 제4 정전용량 중 하나가 증가하고 나머지 하나가 감소하고, 상기 제5 및 제6 정전용량 중 하나가 증가하고 나머지 하나가 감소하며, 상기 제7 및 제8 정전용량 중 하나가 증가하고 나머지 하나가 감소하는 것을 특징으로 하는 힘/토크 센서
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