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유연성을 갖는 비전도성 재질로 형성된 기판; 상기 기판 상부에 형성되며, 상기 기판의 상면의 중심에 형성되는 하나의 음극 전극, 상기 음극 전극을 기준으로 각각 인접하여 소정의 간극을 갖도록 형성되는 복수 개의 양극 전극들로 구성되는 전극 레이어; 및 상기 전극 레이어 상부에 형성되며, 상기 음극 전극의 일부와 상기 복수 개의 양극 전극들 중 하나의 일부에 중첩되게 배치되는 복수 개의 CMC 패드들로 구성되는 CMC 패드부;를 포함하고,상기 복수 개의 CMC 패드들은 실리콘 중에 분산된 나선형 코일 상태의 카본마이크로 코일들로 형성되며,상기 복수 개의 CMC 패드들은 물체가 접근하는 경우, 상기 복수 개의 CMC 패드들 중 적어도 하나의 CMC 패드의 내부에 있는 카본마이크로 코일과 상기 전극 레이어가 형성하는 전자기장의 변화되고, 상기 전자기장의 변화에 의해 변화되는 상기 적어도 하나의 CMC 패드의 정전용량 값을 측정하여 상기 물체의 접근 정도를 측정하는 근접 검출이 가능한 다축 힘 센서
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제1 항에 있어서, 상기 복수 개의 양극 전극들 사이에 상기 간극은 상기 하나의 음극 전극을 기준으로 동일한 각도와 동일한 간격으로 이격되어 있는 근접 검출이 가능한 다축 힘 센서
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제2 항에 있어서, 상기 복수 개의 양극 전극들은,세 개의 양극 전극들로 형성되며, 상기 세 개의 양극 전극들 사이에 형성되는 간극은 상기 하나의 음극 전극을 중심으로 각각 120도 이격되도록 형성되는 근접 검출이 가능한 다축 힘 센서
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제1 항에 있어서, 상기 복수 개의 CMC 패드들은,상기 하나의 음극 전극을 중심으로 동일한 각도와 동일한 간격으로 이격되어 있는 근접 검출이 가능한 다축 힘 센서
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제4 항에 있어서, 상기 복수 개의 CMC 패드들은,세 개의 CMC 패드들로 형성되며, 상기 세 개의 CMC 패드들은 상기 하나의 음극 전극을 중심으로 각각 120도 이격되도록 형성되는 근접 검출이 가능한 다축 힘 센서
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제1 항에 있어서, 상기 하나의 음극 전극은,원형 또는 삼각형의 형상으로 형성되는 근접 검출이 가능한 다축 힘 센서
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7
제1 항에 있어서, 상기 복수 개의 양극 전극들은,상기 하나의 음극 전극과 동일 평면상에 형성되는 근접 검출이 가능한 다축 힘 센서
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제1 항에 있어서, 상기 카본마이크로 코일들은,전도성 재질과 고분자 재질의 혼합물로 형성되며, 상기 고분자 재질로는 실리콘 고무(Silicone rubber), 아크릴로니트릴-부타디엔 고무(NBR : Acrylonitrile butadiene rubber), 폴리 디메틸실록산(PDMS: Poly-dimethylsiloxane) 중 적어도 하나를 포함하는 근접 검출이 가능한 다축 힘 센서
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제1 항에 있어서, 상기 기판은,탄성 고분자 절연체로 형성되며, 상기 탄성 고분자 절연체는 실리콘 고무(Silicone rubber), 아크릴로니트릴-부타디엔 고무(NBR : Acrylonitrile butadiene rubber), 폴리 디메틸실록산(PDMS: Poly-dimethylsiloxane) 중 적어도 하나를 포함하고, 상기 간극의 내부는 상기 탄성 고분자 절연체 또는 에어로 형성되는 근접 검출이 가능한 다축 힘 센서
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제1 항에 있어서,상기 CMC 패드부의 상부에 형성되며, 상기 CMC 패드부와 상기 전극 레이어를 덮도록 형성되는 터치 레이어를 더 포함하는 근접 검출이 가능한 다축 힘 센서
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제1 항에 있어서, 상기 복수 개의 CMC 패드들은,외부로부터 힘이 가해지는 경우, 상기 복수 개의 CMC 패드들 중 적어도 하나의 CMC 패드의 내부에 있는 카본마이크로 코일들의 형상이 변형되고, 상기 카본마이크로 코일들의 형상의 변화에 의해 변화되는 상기 적어도 하나의 CMC 패드의 저항 값 또는 정전용량 값을 측정하여 상기 힘의 정도를 측정하는 근접 검출이 가능한 다축 힘 센서
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