요약 | 본 발명은, 와이어 또는 로드 또는 필름 형태의 나노 구조체와 전극 간의 접촉 저항을 최소화시킬 수 있는 나노 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것으로서, 전극 위에 나노 구조체를 올리고, 상기 나노 구조체에 있어서 전극과 일체화될 부분을 제외한 나머지 부분을 감광액으로 도포한 후, 전기 화학적 증착법을 통해 상기 전극 부분으로부터 전극 또는 나노 구조체와 동일한 물질로 이루어진 접합 물질을 성장시킨 후, 상기 감광액을 제거함으로써, 나노 구조체와 전극을 일체화시키는 것이다.나노 소자, 전극, 접촉 저항, 전기 화학적 증착, |
---|---|
Int. CL | B82Y 40/00 (2011.01) B82B 3/00 (2006.01) |
CPC | H01L 21/02603(2013.01) H01L 21/02603(2013.01) H01L 21/02603(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020090009888 (2009.02.06) |
출원인 | 경북대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-1232399-0000 (2013.02.05) |
공개번호/일자 | 10-2010-0090542 (2010.08.16) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20130212) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | 심판사항 |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2009.02.06) |
심사청구항수 | 6 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 경북대학교 산학협력단 | 대한민국 | 대구광역시 북구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 강신원 | 대한민국 | 대구광역시 북구 |
2 | 김규진 | 대한민국 | 대구광역시 달서구 |
3 | 강원석 | 대한민국 | 경기도 광명시 |
4 | 김재호 | 대한민국 | 경기도 성남시 분당구 |
5 | 임명근 | 대한민국 | 대구광역시 서구 |
6 | 남광현 | 대한민국 | 경상남도 창원시 의창구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 특허법인리온 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층(반포동) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 경북대학교 산학협력단 | 대구광역시 북구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2009.02.06 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0075894-39 |
2 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2009.11.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0680209-19 |
3 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.01.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0015487-70 |
4 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2011.03.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0174599-78 |
5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.04.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0263528-13 |
6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.04.11 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0263540-51 |
7 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.10.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0635967-59 |
8 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2011.12.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-1042008-34 |
9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견] 의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2012.01.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0060284-41 |
10 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2012.06.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0360291-66 |
11 | [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration) |
2012.07.20 | 수리 (Accepted) | 7-1-2012-0034521-19 |
12 | 명세서 등 보정서(심사전치) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2012.08.09 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2012-0037301-96 |
13 | 최후의견제출통지서 Notification of reason for final refusal |
2012.09.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0557824-66 |
14 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2012.09.27 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2012-0786631-19 |
15 | 등록결정서 Decision to grant |
2013.01.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0073003-14 |
16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.03.26 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5051994-32 |
17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5136893-04 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 전극 위에 나노 구조체를 배치하는 단계; 및상기 전극 부분으로부터 접합 물질을 성장시켜 상기 나노구조체와 전극을 일체화시키는 단계를 포함하며,상기 나노구조체와 전극을 일체화시키는 단계는, 전기 화학적 증착법을 이용하여 접합 물질을 상기 전극부분으로부터 성장시키는 단계이며,나노 구조체와 전극을 일체화시키는 단계 이전에, 상기 나노 구조체에 있어서 전극과 일체화될 부분을 제외한 나머지 부분을 감광액으로 도포하는 단계; 및나노 구조체와 전극을 일체화시키는 단계 이후에, 상기 감광액을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 소자의 제조 방법 |
2 |
2 삭제 |
3 |
3 제1항에 있어서, 상기 나노 구조체는 와이어 또는 로드 또는 필름 형태인 것을 특징으로 하는 나노 소자의 제조 방법 |
4 |
4 제1항에 있어서, 상기 나노 구조체는 금속 또는 반도체 또는 유기폴리머로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 나노 소자의 제조 방법 |
5 |
5 제1항에 있어서, 상기 접합 물질은, 상기 전극과 동일한 물질인 것을 특징으로 하는 나노 소자의 제조 방법 |
6 |
6 제1항에 있어서, 상기 접합 물질은, 상기 나노구조체와 동일한 물질인 것을 특징으로 하는 나노 소자의 제조 방법 |
7 |
7 삭제 |
8 |
8 제1항, 제3항, 제4항, 제5항, 또는 제6항에 기재된 제조 방법에 의하여 제조된 나노 소자 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
패밀리정보가 없습니다 |
---|
국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-1232399-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20090206 출원 번호 : 1020090009888 공고 연월일 : 20130212 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20130131 청구범위의 항수 : 6 유별 : B82B 3/00 발명의 명칭 : 나노 소자 및 그의 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 경북대학교 산학협력단 대구광역시 북구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 139,500 원 | 2013년 02월 05일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 120,400 원 | 2016년 01월 26일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 120,400 원 | 2017년 01월 19일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 120,400 원 | 2018년 01월 09일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 164,000 원 | 2019년 02월 01일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 164,000 원 | 2020년 02월 03일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2009.02.06 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0075894-39 |
2 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2009.11.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0680209-19 |
3 | 의견제출통지서 | 2011.01.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0015487-70 |
4 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2011.03.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0174599-78 |
5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.04.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0263528-13 |
6 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.04.11 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0263540-51 |
7 | 의견제출통지서 | 2011.10.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0635967-59 |
8 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2011.12.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-1042008-34 |
9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견] 의견(답변, 소명)서 | 2012.01.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0060284-41 |
10 | 거절결정서 | 2012.06.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0360291-66 |
11 | [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2012.07.20 | 수리 (Accepted) | 7-1-2012-0034521-19 |
12 | 명세서 등 보정서(심사전치) | 2012.08.09 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2012-0037301-96 |
13 | 최후의견제출통지서 | 2012.09.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0557824-66 |
14 | [명세서등 보정]보정서 | 2012.09.27 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2012-0786631-19 |
15 | 등록결정서 | 2013.01.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0073003-14 |
16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.03.26 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5051994-32 |
17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5136893-04 |
기술번호 | KST2014060832 |
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자료제공기관 | NTB |
기술공급기관 | 경북대학교 |
기술명 | 나노 소자 및 그의 제조 방법 |
기술개요 |
본 발명은, 와이어 또는 로드 또는 필름 형태의 나노 구조체와 전극 간의 접촉 저항을 최소화시킬 수 있는 나노 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것으로서, 전극 위에 나노 구조체를 올리고, 상기 나노 구조체에 있어서 전극과 일체화될 부분을 제외한 나머지 부분을 감광액으로 도포한 후, 전기 화학적 증착법을 통해 상기 전극 부분으로부터 전극 또는 나노 구조체와 동일한 물질로 이루어진 접합 물질을 성장시킨 후, 상기 감광액을 제거함으로써, 나노 구조체와 전극을 일체화시키는 것이다.나노 소자, 전극, 접촉 저항, 전기 화학적 증착, |
개발상태 | 기술개발진행중 |
기술의 우수성 | |
응용분야 | 나노소자 |
시장규모 및 동향 | |
희망거래유형 | 라이센스,기술협력, |
사업화적용실적 | |
도입시고려사항 |
과제고유번호 | 1355049957 |
---|---|
세부과제번호 | R01-2006-000-10272-0 |
연구과제명 | 다층구조의나노로드정렬방법및응용소자개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
연구주관기관명 | 경북대학교 |
성과제출연도 | 2007 |
연구기간 | 200603~200902 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1415106610 |
---|---|
세부과제번호 | B0008473 |
연구과제명 | 차세대선도산업기술연구개발사업 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 지식경제부 |
연구주관기관명 | 대구테크노파크 |
성과제출연도 | 2009 |
연구기간 | 200410~200906 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1345201364 |
---|---|
세부과제번호 | 2008-0062617 |
연구과제명 | 기능성 소자 융합 플랫폼 연구 센터 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 미래창조과학부 |
연구관리전문기관명 | |
연구주관기관명 | |
성과제출연도 | 2013 |
연구기간 | 200809~201502 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
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번호 | 심판번호(숫자) | 심판번호(문자) | 사건의표시 | 청구일 | 심결일자 |
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1 | 2012101007238 | 2012원7238 | 2009년 특허출원 제0009888호 거절결정불복 | 2012.08.09 | 2013.01.31 |