맞춤기술찾기

이전대상기술

니켈 실리사이드막상의 탄소 함량 제어방법

  • 기술번호 : KST2015161715
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 원자층 증착 방법(atomic layer deposition : ALD)을 통해 니켈실리사이드를 형성시 포함된 카본 함량을 조절할 수 있는 방법에 관한 것이다. 이를 위해, 본 발명은, 반응챔버와, 플라즈마 발생부와, 소스가스, 반응가스 및 퍼지가스 공급부를 구비한 반도체 제조장치에 있어서, 상기 반응챔버의 증착온도 및 열처리 온도를 조절하는 열공급부와, 상기 반응가스 공급부에서 공급되는 반응가스의 양을 제어하거나 상기 퍼지가스 공급부에서 공급되는 퍼징시간을 제어하거나 상기 열공급부를 제어하여 상기 반응챔버에서 증착되는 니켈실리사이드의 탄소함량을 조절하는 제어부를 포함하여 니켈 실리사이드막상의 탄소함량 제어 방법을 제공한다. 실리사이드, ALD, RTP, 살리사이드
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC H01L 21/28518(2013.01) H01L 21/28518(2013.01) H01L 21/28518(2013.01) H01L 21/28518(2013.01) H01L 21/28518(2013.01)
출원번호/일자 1020070070915 (2007.07.14)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0906616-0000 (2009.07.01)
공개번호/일자 10-2009-0007517 (2009.01.19) 문서열기
공고번호/일자 (20090709) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.07.14)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이정희 대한민국 대구 수성구
2 함성호 대한민국 대구 수성구
3 공성호 대한민국 대구 수성구
4 하종봉 대한민국 대구 동구
5 양충모 대한민국 경북 봉화군

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김일환 대한민국 서울특별시 관악구 남부순환로 ****, ***호 제니스국제특허법률사무소 (봉천동, 청동빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2007-0513764-96
2 보정요구서
Request for Amendment
2007.07.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2007-0103244-09
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2007.08.10 수리 (Accepted) 1-1-2007-0580076-41
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.09.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2008-0061832-66
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0607229-99
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.01.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0051008-63
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2009-0051009-19
9 등록결정서
Decision to grant
2009.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0276371-23
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
삭제
3 3
ALD 방법으로 니켈실리사이드막을 형성하는 방법에 있어서, (a) 반응가스를 반응챔버로 공급하는 단계; (b) 가스 센서가 상기 반응챔버 내에 공급된 반응가스 또는 퍼지가스의 양을 감지하는 단계; (c) 제어부가 상기 가스 센서에서 측정된 반응가스의 양 또는 퍼지가스의 양을 기준치와 비교하여 반응가스 공급부에서 공급되는 반응가스의 양을 제어하거나 상기 퍼지가스 공급부에서 공급되는 퍼징시간을 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 니켈 실리사이드막상의 탄소함량 제어방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 반응가스는 H2 이고, 상기 H2 가스의 공급량을 증가시켜 상기 탄소 함량을 감소시키는 것을 특징으로 하는 니켈 실리사이드막상의 탄소함량 제어방법
5 5
제3항에 있어서, 상기 퍼징시간은 5~10초 범위 내에서 퍼징시간의 증가에 따라 탄소함량을 감소시키는 것을 특징으로 하는 니켈 실리사이드막상의 탄소함량 제어방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.