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온도 제어 장치 및 그 구동 방법

  • 기술번호 : KST2015185569
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 온도 제어 장치 및 그 구동 방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 제어 장치는 반도체 칩의 내부 온도를 측정하는 복수개의 내부 온도센서; 상기 반도체 칩의 외부 온도를 측정하는 외부 온도센서; 상기 외부 온도센서와 내부 온도센서의 측정값을 비교하고, 비교 결과 상기 내부 온도센서와 외부 온도센서의 측정값 간에 편차가 발생하면, 상기 외부 온도센서의 측정값을 기준값으로 하여 내부 온도센서를 보정하도록 하는 제어부; 및 상기 제어부에 의해 보정된 내부 온도센서의 측정값이 설정범위를 초과하면, 상기 반도체 칩을 냉각하는 냉각장치를 포함하되, 상기 제어부와 내부 온도센서들 간에는 단선통신방식으로 서로 연결되고, 상기 냉각장치는 펠티어 효과(Peltier Effect)를 이용한 열전반도체 냉각장치(Thermoelectric Cooler, TEC)로 이루어진 것을 특징으로 한다. 한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 온도 제어 장치의 구동 방법은, 반도체 칩에 초기 전원이 인가되었을 때, 외부 온도센서와 내부 온도센서로부터 온도 데이터를 측정하는 단계; 상기 외부 온도센서로부터 측정된 온도 데이터 값을 기준값으로 하여, 내부 온도센서를 보정하는 단계; 상기 보정된 내부 온도센서를 이용하여 반도체 칩 내부 온도를 측정하는 단계; 및 상기 반도체 칩 내부 온도가 설정범위를 초과하면, 냉각장치를 작동시키는 단계를 포함한다. 열전소자, 내부 온도센서, 외부 온도센서, 온도 보정, 단선 통신, 냉각장치
Int. CL H01L 23/38 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020090056904 (2009.06.25)
출원인 충북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0953441-0000 (2010.04.09)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20100420) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.06.25)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 충북대학교 산학협력단 대한민국 충청북도 청주시 서원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김시호 대한민국 대전광역시 유성구
2 이현주 대한민국 충청북도 청원군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정현 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층 (역삼동, 신명빌딩)(한맥국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 충북대학교 산학협력단 대한민국 충청북도 청주시 서원구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2009-0385679-67
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2009.09.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0568910-13
3 우선심사신청관련 서류제출서
Submission of Document Related to Request for Accelerated Examination		 2009.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2009-0645637-82
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.11.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.11.26 수리 (Accepted) 9-1-2009-0064306-11
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.12.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0504834-09
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.02.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0074200-20
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2010-0074201-76
9 등록결정서
Decision to grant		 2010.04.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0146351-74
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.08.28 수리 (Accepted) 4-1-2014-5103343-45
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.06.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5081402-70
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2018-5086612-26
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149268-82
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반도체 칩의 내부 온도를 측정하는 복수개의 내부 온도센서; 상기 반도체 칩의 외부 온도를 측정하는 외부 온도센서; 상기 외부 온도센서와 내부 온도센서의 측정값을 비교하고, 비교 결과 상기 내부 온도센서와 외부 온도센서의 측정값 간에 편차가 발생하면, 상기 외부 온도센서의 측정값을 기준값으로 하여 내부 온도센서를 보정하도록 하는 제어부; 및 상기 제어부에 의해 보정된 내부 온도센서의 측정값이 설정범위를 초과하면, 상기 반도체 칩을 냉각하는 냉각장치를 포함하되, 상기 제어부와 내부 온도센서들 간에는 단선통신방식으로 서로 연결되고, 상기 냉각장치는 펠티어 효과(Peltier Effect)를 이용한 열전반도체 냉각장치(Thermoelectric Cooler, TEC)로 이루어져 상기 반도체 칩에 복수개 설치되고, 상기 제어부의 제어 하에 상기 반도체 칩에 설정온도를 초과하는 부분에 대응하는 냉각장치가 선택적으로 작동되는 것을 특징으로 하는 온도 제어 장치
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삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 외부 온도센서는 열전대(Thermocouple)로 이루어진 것을 특징으로 하는 온도 제어 장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 제어부는 반도체 칩에 초기 전원이 인가되었을 때의 외부 온도센서와 내부 온도센서에서 측정된 값을 비교하여, 상기 내부 온도센서를 보정하는 것을 특징으로 하는 온도 제어 장치
5 5
반도체 칩에 초기 전원이 인가되었을 때, 외부 온도센서와 내부 온도센서로부터 온도 데이터를 측정하는 단계; 상기 외부 온도센서로부터 측정된 온도 데이터 값을 기준값으로 하여, 내부 온도센서를 보정하는 단계; 상기 보정된 내부 온도센서를 이용하여 반도체 칩의 내부 온도를 측정하는 단계; 및 상기 반도체 칩 내부 온도가 설정범위를 초과하면, 냉각장치를 작동시키는 단계를 포함하되, 상기 냉각장치를 작동시키는 단계는, 상기 내부 온도센서를 통해 감지된 온도가 설정온도를 초과하는 부분에 대응하는 냉각장치만을 선택적으로 작동시키는 것을 특징으로 하는 온도 제어 장치의 구동방법
6 6
삭제
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국가 R&D 정보가 없습니다.