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가스를 공급하는 가스 공급부;세정액을 공급하는 세정액 공급부; 및상기 가스 공급부와, 상기 세정액 공급부에 연결되고, 기판 상에 상기 액체의 스프레이를 생성하여 상기 기판을 세정하는 노즐을 포함하되,상기 노즐은:노즐 바디;상기 노즐 바디의 상단에 배치되고, 상기 가스 공급부에 연결되는 가스 주입구;상기 노즐 바디의 일측 측벽에 배치되고, 상기 세정액 공급부에 연결되는 제 1 세정액 주입구;상기 노즐 바디의 하단에 배치되고, 상기 가스와 상기 세정액을 토출하는 유체 분사구; 및상기 노즐 바디 내에 배치되고, 상기 가스 주입구와 상기 제 1 세정액 주입구를 상기 유체 분사구로 연결하는 내부 홀을 포함하되,상기 유체 분사구는 상기 제 1 세정액 주입구의 직경보다 큰 직경을 갖는 세정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 유체 분사구의 직경은 상기 제 1 세정액 주입구의 직경보다 1
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제 1 항에 있어서,상기 노즐 바디의 타측 측벽에 배치되고 상기 세정액 공급부에 연결되는 제 2 세정액 주입구를 더 포함하되,상기 유체 분사구의 직경은 상기 제 1 및 제 2 세정액 주입구들 각각의 직경보다 1
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제 1 항에 있어서,상기 유체 분사구의 직경은 상기 가스 주입구의 직경보다 작되,상기 유체 분사구의 직경은 상기 가스 주입구의 직경의 0
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제 1 항에 있어서,상기 내부 홀은:상기 가스 및 상기 세정액이 공급되는 유체 공급 영역; 및상기 유체 공급 영역 아래에 배치되고, 상기 가스 및 상기 세정액을 가속하는 유체 가속 영역을 포함하는 세정 장치
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제 5 항에 있어서,상기 유체 공급 영역은:상기 가스 주입구에서 상기 세정액 주입구의 중심까지의 가스 공급 영역; 및상기 가스 공급 영역과 상기 유체 가속 영역 사이에 배치되는 유체 혼합 영역을 포함하는 세정 장치
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제 6 항에 있어서,상기 유체 가속 영역은 상기 유체 혼합 영역의 길이보다 3배 큰 길이를 갖는 세정 장치
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제 6 항에 있어서,상기 유체 혼합 영역은 상기 가스 공급 영역의 길이보다 3배 큰 길이를 갖는 세정 장치
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제 5 항에 있어서,상기 노즐 바디의 상에 배치되는 가스 공급 블록을 더 포함하되,상기 가스 공급 블록은 상기 유체 공급 영역의 상기 내부 홀 내에 삽입되는 가스 공급 튜브를 갖는 세정 장치
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제 9 항에 있어서,상기 가스 공급 튜브는 상기 제 1 세정액 주입구의 직경보다 크고 상기 유체 분사구보다 작은 내경을 갖는 세정 장치
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