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마이크로 유체 소자 기반의 고성능 유기 전자 재료 프린팅 장치 및 이를 이용한 유기 전자 재료 프린팅 방법

  • 기술번호 : KST2020006652
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다양한 채널 디자인을 가진 미세유체 칩을 용액전단 프린팅의 블레이드로 사용함으로써, 유체의 흐름을 미세유체 채널 내에서 조절함과 동시에 이를 기판에 전사할 수 있는 마이크로 유체 소자 기반의 고성능 유기 전자 재료 프린팅 장치 및 이를 이용한 유기 전자 재료 프린팅 방법에 관한 것이다. 본 발명은 용액 전단법(Solution Shearing)에 사용되는 유기 전자 재료 프린팅 장치에 있어서, 전단 판(Shearing plate)의 내부에 미세채널이 형성되어 유체를 공급하는 것을 특징으로 하는 유기 전자 재료 프린팅 장치를 제공한다.
Int. CL H01L 51/00 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01)
CPC H01L 51/0004(2013.01) H01L 51/0004(2013.01) H01L 51/0004(2013.01) H01L 51/0004(2013.01) H01L 51/0004(2013.01) H01L 51/0004(2013.01) H01L 51/0004(2013.01)
출원번호/일자 1020180154665 (2018.12.04)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0067619 (2020.06.12) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.12.04)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 스티브 박 대전광역시 유성구
2 김진오 대전광역시 유성구
3 이정찬 대전광역시 유성구
4 이호준 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울시 서초구 서운로**, ***호(서초동, 중앙로얄오피스텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.12.04 수리 (Accepted) 1-1-2018-1214843-28
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.08.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0119166-01
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0842958-35
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2020.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2020-0067070-62
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2020.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2020-0187440-33
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.03.12 수리 (Accepted) 1-1-2020-0262822-64
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.03.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0262821-18
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
12 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2020.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0444678-45
13 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2020.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2020-0916913-27
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2020-1029390-11
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2020-1029389-64
16 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2020.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2020-1076610-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
용액 전단법(Solution Shearing)에 사용되는 유기 전자 재료 프린팅 장치에 있어서, 전단 판(Shearing plate)의 내부에 미세채널이 형성되어 유체를 공급하는 것을 특징으로 하는 유기 전자 재료 프린팅 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 전단 판(Shearing plate)의 내부에 미세채널은 유체의 배출구(Outlet)가 기판방향으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전자 재료 프린팅 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 미세채널은 10~1000㎛의 내부 직경을 가지고, 각 채널간의 간격은 10~500㎛이며, 5~100개의 채널이 1~10개의 층으로 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전자 재료 프린팅 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 미세채널은 내부에 1~500㎛의 크기를 가지는 구조물이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전자 재료 프린팅 장치
5 5
제4항에 있어서,상기 구조물의 단면은 원, 반원, 삼각형, 사각형, 오각형, ‘ㅅ’형, 물결형 또는 이들의 조합을 가지는 것을 특징으로 하는 유기 전자 재료 프린팅 장치
6 6
제1항에 있어서,상기 미세채널은 1종 이상의 액체 또는 기체가 1개 이상의 공급부(inlet)로 공급되며, 각각의 배출구(Outlet)로 배출, 채널 내부에서 혼합(mix) 후 배출, 채널 내부에서 반응(reaction) 후 배출, 채널 내부에서 계면을 형성한 후 배출 또는 이들의 조합을 수행하는 것을 특징으로 하는 유기 전자 재료 프린팅 장치
7 7
다음의 단계를 포함하는 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 유기 전자 재료 프린팅 장치를 이용한 유기 전자 재료 프린팅 방법:(a) 기판을 전처리하는 단계;(b) 상기 기판에 대하여 기울어지게 전단 판을 일정거리에 위치시키는 단계;(c) 전단 판 내부의 미세채널을 통하여 유기 전자 재료 용액을 공급하는 단계; 및(d) 상기 전단 판을 상기 유기 전자 재료 용액에 전단응력이 생기는 방향으로 상기 유기 전자 재료 용액을 전단하여 상기 기판 면과 평행하게 이동시키며 유기 전자 재료 박막을 형성하는 단계
8 8
제7항에 있어서,상기 (a) 단계는 기판위에 유기 전자 재료 용액을 도포하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전자 재료 프린팅 방법
9 9
제7항에 있어서,상기 (d) 유기 전자 재료 박막을 형성하는 단계는 상기 유기 전자 재료 용액을 전단하는 전단속도를 조절함으로써, 상기 유기 전자 재료 박막의 분자간 거리를 제어하는 것을 특징으로 하는 유기 전자 재료 프린팅 방법
10 10
제7항에 있어서,상기 전단속도는 0
11 11
제7항에 있어서,상기 기판은 25~250℃의 열판 위에 위치하는 것을 특징으로 하는 유기 전자 재료 프린팅 방법
12 12
제7항에 있어서,상기 기판은 규소, 사파이어, 유리, 석영, 고분자 또는 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전자 재료 프린팅 방법
13 13
제7항에 있어서,상기 유기 전자 재료 용액은 유기 반도체 물질과 용매를 포함하며,상기 유기 반도체 물질은 π-공액구조를 가지는 단분자 또는 고분자형태의 반도체 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전자 재료 프린팅 방법
14 14
제7항의 방법으로 제조되는 유기 전자 재료
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국과학기술원 산업기술혁신사업 (RCMS) 주변 환경 유해인자 기체 감지 및 필터링 복합기능 스마트센서 개발(2018)