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액체를 분사하는 노즐을 구비하고, 내부에 웨이퍼를 수용 가능한 챔버;상기 웨이퍼가 거치된 상태에서 회전하여 상기 웨이퍼를 회전시킬 수 있는 회전 선반;상기 챔버의 내측면에 배치되고, 상기 웨이퍼로부터 튀어나오는 액적을 포집하기 위한 포집재를 포함하는 액적 포집 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 챔버는,상기 챔버의 측면과 천장을 경사지게 연결하는 면 상에 상기 포집재가 설치되는 것을 특징으로 하는 액적 포집 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 포집재의 평면으로부터 수직한 방향으로 투영한 면의 적어도 일부는 상기 회전 선반에 오버랩되는 것을 특징으로 하는 액적 포집 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 회전 선반의 외측 테두리로부터 반경 방향으로 연장한 가상의 선은 상기 포집재에 오버랩되는 액적 포집 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 포집재가 흡수한 액적을 제거하는 수분 제거 장치를 더 포함하는 액적 포집 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 포집재는,상기 액적을 수용할 수 있는 중공이 복수 개 형성된 다공성 물질인 것을 특징으로 하는 액적 포집 시스템
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제 5 항에 있어서,상기 수분 제거 장치는,상기 포집재와 상호 작용하여 상기 포집재로부터 흡수된 액적을 제거하는 제거부; 및상기 제거부의 높이를 조정할 수 있는 칼럼을 포함하는 액적 포집 시스템
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제 7 항에 있어서,상기 칼럼은 상기 포집재가 위치한 방향으로 상승되고,상기 제거부는 상기 포집재를 가압함으로써, 상기 포집재에 흡수된 액적을 배출할 수 있는 것을 특징으로 하는 액적 포집 시스템
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제 7 항에 있어서,상기 수분 제거 장치는,상기 제거부의 상기 포집재를 마주보는 면에 세정용 흡습재를 더 포함하고,상기 칼럼은 상기 포집재가 위치한 방향으로 상승되어, 상기 세정용 흡습재가 상기 포집재에 접촉함으로써, 상기 포집재에 흡수된 액적이 상기 세정용 흡습재에 흡착 또는 흡수될 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 액적 포집 시스템
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제 7 항에 있어서,상기 수분 제거 장치는,상기 제거부의 경사방향을 따라서 이동함으로써, 상기 포집재를 연속적으로 가압시킬 수 있는 롤러를 더 포함하는 액적 포집 시스템
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제 10 항에 있어서,상기 롤러를 제어하는 제어부를 더 포함하고,상기 제어부는, 상기 칼럼이 상기 포집재가 위치한 방향으로 상승되어, 상기 롤러가 상기 포집재의 일부분을 가압하면, 상기 롤러가 이동함으로써, 상기 포집재에 흡수된 액적이 배출되는 것을 특징으로 하는 액적 포집 시스템
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챔버에 구비된 노즐을 통하여 웨이퍼 상에 분사된 액체가 상기 웨이퍼로부터 튀어나옴에 따라 비산되는 액적을 포집하기 위한 액적 포집 시스템의 제어 방법에 있어서, 포집재가 흡수한 액적을 제거하는 수분 제거 장치가 작동하는 단계를 포함하는 액적 포집 시스템 제어 방법
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제 12 항에 있어서, 상기 수분 제거 장치는 상기 포집재와 상호 작용하여 상기 포집재로부터 흡수된 액적을 제거하는 제거부; 및상기 제거부와 연결되고, 상기 수분 제거 장치의 높이를 조정할 수 있는 칼럼을 포함하고,상기 포집재가 흡수한 액적을 제거하는 수분 제거 장치가 작동하는 단계는,상기 칼럼이 상기 포집재가 위치한 방향으로 상승되는 단계를 포함하는 액적 포집 시스템 제어 방법
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제 13 항에 있어서,상기 포집재가 흡수한 액적을 제거하는 수분 제거 장치가 작동하는 단계는,상기 포집재를 가압하여 상기 포집재에 흡수된 액적을 배출시키는 단계를 더 포함하는 액적 포집 시스템 제어 방법
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제 13 항에 있어서,상기 수분 제거 장치는 상기 제거부 상에 배치된 세정용 흡습재를 더 포함하고,상기 포집재가 흡수한 액적을 제거하는 수분 제거 장치가 작동하는 단계는,상기 칼럼이 상기 포집재가 위치한 방향으로 상승되어, 상기 세정용 흡습재가 상기 포집재에 접촉하여 상기 포집재에 흡수된 액적을 상기 세정용 흡습재에 흡착 또는 흡수시키는 단계를 더 포함하는 액적 포집 시스템 제어 방법
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제 13 항에 있어서,상기 수분 제거 장치는,상기 제거부의 경사방향을 따라서 이동하는 롤러를 더 포함하고,상기 포집재가 흡수한 액적을 제거하는 수분 제거 장치가 작동하는 단계는,상기 칼럼이 상기 포집재가 위치한 방향으로 연장되어, 상기 롤러가 상기 포집재의 일부분을 가압하면서 이동함으로써, 상기 포집재에 흡수된 액적을 배출시키는 단계를 더 포함하는 액적 포집 시스템 제어 방법
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