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연마 입자, 이를 이용한 연마 슬러리 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015142019
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 연마 입자, 이를 이용한 연마 슬러리 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 세륨 전구체를 건조시킨 후 세라믹 재질의 밀폐 용기에 충진하여 하소함으로써 하소시 외부 대기와의 접촉을 차단하여 연마 입자의 결정립의 크기를 크게할 수 있으며, 고온 하소시 생성되는 비정상 입자 성장을 제어할 수 있고, 결정립의 주피크와 부피크의 상호비가 낮아 경도 및 강도가 낮기 때문에 연마시 스크래치가 발생하지 않으면서 연마율을 유지할 수 있다.연마 입자, 산화세륨, 밀폐 용기, 하소, 비정상 입자 성장, 건조
Int. CL C09K 3/14 (2006.01.01) C01F 17/00 (2020.01.01) H01L 21/306 (2006.01.01)
CPC C09K 3/1409(2013.01) C09K 3/1409(2013.01) C09K 3/1409(2013.01) C09K 3/1409(2013.01)
출원번호/일자 1020060092418 (2006.09.22)
출원인 주식회사 케이씨, 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0803729-0000 (2008.02.05)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080218) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.09.22)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 케이씨 대한민국 경기도 안성시
2 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김동현 대한민국 서울 강서구
2 김대형 대한민국 경기 안성시
3 홍석민 대한민국 경기도 안성시
4 서명원 대한민국 경기 용인시 풍덕
5 김용국 대한민국 경기 안성시
6 황준하 대한민국 경기 안성시
7 백운규 대한민국 서울특별시 강남구
8 박재근 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남승희 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 청보빌딩)(아인특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
2 주식회사 케이씨텍 경기도 안성시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.09.22 수리 (Accepted) 1-1-2006-0688165-71
2 출원인변경신고서
Applicant change Notification		 2006.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2006-0942796-52
3 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2006.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2006-0942790-89
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.05.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.06.15 수리 (Accepted) 9-1-2007-0036889-36
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0408256-19
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2007.09.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0682843-13
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2007.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2007-0682844-69
9 등록결정서
Decision to grant		 2008.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0048760-10
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5037763-28
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.05.11 수리 (Accepted) 4-1-2017-5070900-17
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.06 수리 (Accepted) 4-1-2017-5176182-94
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5246687-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
세륨 전구체를 건조하는 단계;상기 건조된 세륨 전구체를 밀폐시키는 단계;상기 건조된 세륨 전구체를 밀폐된 상태에서 가열하여 하소하는 단계를 포함하는 연마 입자의 제조 방법
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 세륨 전구체는 세륨 카보네이트를 포함하는 연마 입자의 제조 방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 세륨 전구체는 결정 성장이 시작되는 온도 이하에서 건조하고, 상기 건조 방식이 자연 건조, 순풍 건조, 복사열 건조, 대류열 건조, 전도열 건조중 어느 하나 또는 이들을 혼합하여 실시하는 연마 입자의 제조 방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 세륨 전구체는 건조 후 무게가 1 내지 20% 감소하는 연마 입자의 제조 방법
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 건조된 세륨 전구체는 밀폐 용기에 의해 밀폐되는 연마 입자의 제조 방법
7 7
제 1 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 건조된 세륨 전구체는 상기 밀폐 용기에 용적 또는 무게 대비 10 내지 100%로 충진하는 연마 입자의 제조 방법
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 하소는 터널식 열처리 로를 이용하여 500 내지 900℃의 온도에서 실시하는 연마 입자의 제조 방법
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 터널식 열처리 로는 전체 이동 거리가 5 내지 20m이며, 50 내지 3000㎜/시간의 이동 속도로 상기 밀폐 용기를 이동시키는 연마 입자의 제조 방법
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 터널식 열처리 로는 상기 밀폐 용기를 전기적 푸셔, 유공압 실린더 푸셔 또는 롤러를 이용하여 이동시키는 연마 입자의 제조 방법
11 11
슬러리용 연마 입자에 있어서,상기 연마 입자는 세륨 전구체를 건조한 후 밀폐된 상태에서 열처리하여 하소되고, 상기 연마 입자는 결정 분석에 의한 표면 에너지가 상대적으로 높은 결정면 방향 피크에 대하여 표면 에너지가 상대적으로 낮은 결정면 방향 피크의 상호비가 1
12 12
제 11 항에 있어서, 상기 연마 입자는 산화세륨을 포함하는 연마 입자
13 13
제 11 항에 있어서, 상기 표면 에너지가 상대적으로 높은 결정면 방향 피크는 (200) 방향 피크이고, 상기 표면 에너지가 상대적으로 낮은 결정면 방향 피크는 (111) 방향 피크인 연마 입자
14 14
세륨 전구체를 건조한 후 밀폐시키고, 상기 건조된 세륨 전구체가 밀폐된 상태에서 열처리하여 하소함으로써 제조된 연마 입자를 분산제와 함께 초순수에 혼합하는 단계;상기 연마 입자, 분산제 및 초순수가 혼합된 물질을 밀링하는 단계; 및상기 혼합된 물질의 거대 입자를 제거한 후 숙성시켜 안정화하는 단계를 포함하는 연마 슬러리의 제조 방법
15 15
제 14 항에 있어서, 상기 밀링 후의 연마 입자는 결정 분석에 의한 표면 에너지가 상대적으로 높은 결정면 방향 피크에 대하여 표면 에너지가 상대적으로 낮은 결정면 방향 피크의 상호비가 2
16 16
건조된 세륨 전구체가 밀폐된 상태에서 열처리에 의해 하소됨으로써 제조된 연마 입자를 분산제와 함께 초순수에 혼합하고, 혼합된 물질을 밀링하며, 상기 밀링 후 결정 분석에 의한 표면 에너지가 상대적으로 높은 결정면 방향 피크에 대하여 표면 에너지가 상대적으로 낮은 결정면 방향 피크의 상호비가 2
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.