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천공된 고분자 박막의 제조장치 및 제조방법

  • 기술번호 : KST2015118457
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 천공된 고분자 박막을 제조하는 장치에 관한 것으로서, 패턴이 형성되어 있는 몰드; 상기 몰드를 회전시키는 회전부; 압축기체를 보관하는 압축기체저장부; 및 상기 압축기체저장부에 연결되며 상기 압축기체를 분사하는 압축기체분출부;를 포함하고, 상기 몰드 상에 예비중합체(prepolymer)가 투입되고 상기 회전부에 의해 상기 몰드가 회전되어 상기 예비중합체가 고분자 박막으로 형성되고, 상기 압축기체분출부에 의해 상기 압축기체가 상기 고분자 박막에 분사되어 상기 고분자 박막이 선택적으로 천공되는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G03F 7/26 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020090004644 (2009.01.20)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1010736-0000 (2011.01.18)
공개번호/일자 10-2010-0085389 (2010.07.29) 문서열기
공고번호/일자 (20110125) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.01.20)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박제균 대한민국 대전광역시 유성구
2 강주헌 대한민국 대전광역시 유성구
3 엄유진 대한민국 경기도 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2009-0036462-71
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2009.05.14 수리 (Accepted) 1-1-2009-0288669-13
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2010.08.02 수리 (Accepted) 1-1-2010-0497013-43
4 등록결정서
Decision to grant		 2010.11.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0518582-84
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
패턴이 형성되어 있는 몰드; 상기 몰드를 회전시키는 회전부; 압축기체를 보관하는 압축기체저장부; 및 상기 압축기체저장부에 연결되며, 상기 압축기체를 분사하는 압축기체분출부;를 포함하고, 상기 몰드 상에 예비중합체(prepolymer)가 투입되고 상기 회전부에 의해 상기 몰드가 회전되어 상기 예비중합체가 고분자 박막으로 형성되고, 상기 압축기체분출부에 의해 상기 압축기체가 상기 고분자 박막에 분사되어 상기 고분자 박막이 선택적으로 천공되는 것을 특징으로 하는 천공된 고분자 박막의 제조장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 압축기체를 상기 패턴 위에 잔류하는 예비중합체에 분사하여 제거함으로써 상기 고분자 박막을 선택적으로 천공하는 것을 특징으로 하는 천공된 고분자 박막의 제조장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 회전부와 상기 몰드는 감압에 의해 서로 밀착되어 있는 것을 특징으로 하는 천공된 고분자 박막의 제조장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 고분자 박막의 두께는 상기 회전부의 회전 속도에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 천공된 고분자 박막의 제조장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 압축기체분출부가 복수개 구비되어, 복수의 위치로 상기 압축기체가 동시에 분사되는 것을 특징으로 하는 천공된 고분자 박막의 제조장치
6 6
제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 압축기체분출부의 일단에 분출구가 구비되어 있고, 상기 압축기체분출부는 상기 압축기체저장부에 착탈 가능하게 연결되어, 상기 예비중합체의 점도 또는 천공될 구멍의 크기에 따라 상기 분출구의 크기가 변화되는 것을 특징으로 하는 천공된 고분자 박막의 제조장치
7 7
제1항에 있어서, 상기 예비중합체는 폴리다이메틸실록산(PDMS), 폴리메틸메타크릴레이트 (PMMA), 폴리아크릴레이트, 폴리카보닐레이트, 폴리사이클릭올레핀, 폴리이미드, 폴리우레탄으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 천공된 고분자 박막의 제조장치
8 8
제1항에 있어서, 상기 패턴은 상기 몰드로부터 돌출 형성된 제1 패턴부로 이루어진 것을 특징으로 하는 천공된 고분자 박막의 제조장치
9 9
제1항에 있어서, 상기 패턴은 상기 몰드로부터 돌출 형성된 제1 패턴부 및 상기 제1 패턴부로부터 돌출형성된 제2 패턴부로 이루어진 것을 특징으로 하는 천공된 고분자 박막의 제조장치
10 10
패턴이 형성된 몰드를 회전부에 위치시키는 제1 단계; 감압에 의해 상기 회전부와 밀착된 상기 몰드 상에 예비중합체를 투입하는 제2 단계; 상기 회전부를 회전시켜 상기 예비중합체를 고분자 박막으로 형성하는 제3 단계; 상기 패턴 상에 잔류하는 상기 예비중합체를 압축기체의 분사력으로 선택적으로 제거하는 제4 단계; 상기 고분자 박막을 중합시키고, 상기 중합된 고분자 박막을 상기 몰드로부터 제거하는 제5 단계;를 포함하는 천공된 고분자 박막의 제조방법
11 11
제10항에 있어서, 제4 단계와 제5 단계 사이에, 상기 압축기체의 분사력에 의해 손상된 예비중합체를 회복시키기 위해 상기 예비중합체를 방치하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 천공된 고분자 박막의 제조방법
12 12
제10항에 있어서, 상기 고분자 박막을 중합시킴으로써 상기 중합된 고분자 박막이 경화되는 것을 특징으로 하는 천공된 고분자 박막의 제조방법
13 13
제10항에 있어서, 상기 예비중합체는 폴리다이메틸실록산(PDMS), 폴리메틸메타크릴레이트 (PMMA), 폴리아크릴레이트, 폴리카보닐레이트, 폴리사이클릭올레핀, 폴리이미드, 및 폴리우레탄으로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 천공된 고분자 박막의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국과학기술원 국가지정연구실사업 미세유체제어 기반 등자기영동 기술을 이용한 다중검출 초고감도 나노바이오센서 개발