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생체 조직표본을 채취하기 위한 시술도구와 결합될 수 있는 몸체부(110); 상기 몸체부(110)의 하나 이상의 측면에 상기 몸체부(110)와 일체형으로 연장 형성된 둘 이상의 연장부(120); 및 상기 각 연장부(120)의 서로 마주보는 측면에 상기 각 연장부(120)와 일체형으로 돌출 형성된 돌출부(130)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 스파이크
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제 1 항에 있어서, 상기 돌출부(130)의 형상으로는 날개형상, 반원형상, 사각형상, 삼각형상을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 스파이크
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제 1 항에 있어서, 상기 돌출부(130)는, 그 폭(W)이 5 μm 이상 5 mm 이하이거나, 그 간격(D)이 5 μm 이상 5 mm 이하이거나, 또는 그 높이(H)가 5 μm 이상 5 mm 이하인 것을 특징으로 하는 마이크로 스파이크
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제 1 항에 있어서, 페릴린, 폴리머막, 실린콘산화막, 실리콘질화막, 금, 알루미늄 중 어느 하나의 물질을 포함하여 표면을 코팅처리한 것을 특징으로 하는 마이크로 스파이크
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제 1 항에 있어서, 상기 연장부(120)는, 몸체부(110)의 한 측면의 상부 및 하부에 각각 1개 이상 10개 이하로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 스파이크
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마이크로 스파이크의 형상을 정의하기 위해 단결정 실리콘 기판의 양면에 실리콘 산화막과 실리콘 질화막의 적층구조로 이루어진 절연막을 형성한 후 상기 절연막 상에 사진공정을 수행하여 상기 마이크로 스파이크의 형상에 대응하는 절연막의 패턴을 형성하는 단계; 마이크로 스파이크 연장부(120)의 두께를 결정하기 위해 상기 절연막 패턴이 형성된 상기 단결정 실리콘 기판의 양면에 제1 반응성 이온 식각(Reactive Ion Etching) 공정을 수행하여 상기 연장부(120)의 두께 만큼 상기 실리콘 기판을 식각하는 단계; 상기 식각된 부분의 각 측면에 보호막을 증착시키는 단계; 상기 보호막을 증착시킨 부분 외의 영역에 제2 반응성 이온 식각 공정을 수행하여 희생층을 정의하는 단계; 상기 실리콘 기판의 희생층에 대해 비등방성 습식 식각을 수행하여 상기 각 연장부를 형성시키는 단계; 및 상기 습식 식각된 실리콘 기판으로부터 마이크로 스파이크를 분리시키기 위해 다이싱(dicing) 공정을 수행하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 3차원 구조의 마이크로 스파이크 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 보호막은 페릴린, 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 금 또는 알루미늄 중 어느 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 3차원 구조의 마이크로 스파이크 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 다이싱 공정에 의해 분리된 마이크로 스파이크의 표면을, 페릴린막, 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 금 또는 알루미늄 중 어느 하나를 포함하여 코팅 처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 구조의 마이크로 스파이크 제조방법
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제 1 항, 제 3 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 시술도구에 형성된 홈에 상기 몸체부(110)를 삽입시키거나, 삽입 후 상기 홈으로부터 상기 몸체부(110)를 빼냄으로써, 상기 시술도구와 분리 또는 결합하는 것이 가능한 것을 특징으로 하는 마이크로 스파이크
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