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미세 유체 흡입 펌프에 있어서,기체 소스가 공급되는 입력부(inlet), 상기 입력부로부터 공급되는 기체의 흐름을 일정하게 해주는 입력 채널부, 상기 입력 채널부에서 노즐 부분으로 크기가 감소되는 컨버젼스(convergence)부, 상기 컨버젼스부로부터의 기체 흐름을 안정하게 흐르도록 하는 노즐 채널부, 외부에서 유체를 흡입하기 위하여 상기 노즐 채널부에 연결되는 흡입 채널부, 및 상기 흡입 채널부와 연결되고 상기 노즐 부분에서 출력부(outlet)로 크기가 증가되는 다이버젼스(divergence)부를 포함하는 미세 유체 채널;상기 미세 유체 채널의 상기 입력부에 연결되는 기체 발생원; 및상기 기체 발생원을 가열하는 히터부를 포함하여 구성되는 미세 유체 흡입 펌프
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제 1 항에 있어서,상기 기체 발생원은 AIBN(azobisisobutyronitrile)을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 흡입 펌프
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제 1 항에 있어서,상기 기체 발생원은 AIBN과 액상 테플론(teflon)을 섞어 매트릭스(matrix) 형태로 만든 AIBN 매트릭스인 것을 특징으로 하는 미세 유체 흡입 펌프
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제 3 항에 있어서, 상기 기체 발생원은 반도체 공정을 통해 상기 히터부의 형상으로 제작한 판 위에 스크린 프린팅 공법으로 상기 AIBN 매트릭스의 형상을 만든 것을 상기 히터부로 전기적으로 가열하여 질소가스를 배출하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 흡입 펌프
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 미세 유체 채널은 상기 컨버젼스부와 상기 다이버젼스부의 각도를 소정의 값으로 고정한 상태에서, 상기 입력 채널부의 너비와 상기 노즐 채널부의 너비의 비율에 따라 상기 미세 유체 채널을 구성하는 각 부분의 설계 수치를 변화시키는 것을 특징으로 하는 미세 유체 흡입 펌프
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 미세 유체 채널은 PDMS, 플라스틱, 실리콘, 유리와 금속 재질의 가공된 것 중 어느 하나의 성분으로 제작할 수 있는 것을 특징으로 하는 미세 유체 흡입 펌프
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 흡입 채널부는 직선 형태, 유체 저장고가 포함된 형태, 및 삼각형 형태 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 미세 유체 흡입 펌프
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 노즐 부분에서 상기 출력부로 크기가 증가되는 상기 다이버젼스부는 직각 삼각형 형태로 크기가 증가되는 것을 특징으로 하는 미세 유체 흡입 펌프
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 입력부는 상기 기체 발생원을 봉합할 수 있는 공간을 구비하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 흡입 펌프
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 미세 유체 채널부 및 상기 히터부는 접착제를 사용하는 방법, 전기적인 방법, 플라즈마 등으로의 표면 처리방법 중 어느 하나를 이용하여 서로 접합시킴으로써 제작하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 흡입 펌프
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