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액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 롤 투 롤 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법
- 기술번호 : KST2014059925
- 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-6124-6930
| 요약 | 본 발명은, 음각 패턴이 형성된 롤의 음각 부분에만 선택적으로 기능성 액상 재료를 채우는 단계, 피전사 기판의 표면에 용매를 뿌려 액체 유동층을 형성하는 단계, 상기 음각 부분에만 선택적으로 기능성 액상 재료가 채워진 롤을 상기 액체 유동층이 형성된 피전사 기판에 접촉시켜 상기 기능성 액상 재료의 패턴을 상기 피전사 기판 상에 전사시키는 단계, 및 상기 피전사 기판과 접촉된 상기 롤을 상기 피전사 기판으로부터 분리시키는 단계를 포함하는, 액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 롤 투 롤(roll to roll) 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법에 관한 것이다.액체 유동층, 기능성 액상 재료, 롤 투 롤 인쇄법, 미세 패턴 |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01) |
| CPC | G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020090026387 (2009.03.27) |
| 출원인 | 한양대학교 산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-1248862-0000 (2013.03.25) |
| 공개번호/일자 | 10-2010-0107977 (2010.10.06) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20130329) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2011.08.08) |
| 심사청구항수 | 7 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한양대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 성동구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 성명모 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 |
| 2 | 황재권 | 대한민국 | 서울특별시 노원구 |
| 3 | 곽은비 | 대한민국 | 서울특별시 광진구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인엠에이피에스 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 (역삼동, 한동빌딩) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한양대학교 산학협력단 | 서울특별시 성동구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2009.03.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0185887-11 |
| 2 | 보정요구서 Request for Amendment |
2009.04.07 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0023573-29 |
| 3 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2009.04.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0236447-21 |
| 4 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.08.08 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0609807-62 |
| 5 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination) |
2011.08.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0609826-29 |
| 6 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2012.03.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 7 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2012.04.19 | 수리 (Accepted) | 9-1-2012-0030872-94 |
| 8 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2012.08.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0493422-36 |
| 9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2012.10.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0866970-36 |
| 10 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2012.10.24 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0866971-82 |
| 11 | 등록결정서 Decision to grant |
2013.03.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0188175-11 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.06.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5068294-39 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.02.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5022074-70 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5155816-75 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.06 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5156285-09 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 하기 단계를 포함하는, 액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 롤 투 롤(roll to roll) 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법:음각 패턴이 형성된 롤의 음각 부분에만 선택적으로 기능성 액상 재료를 채우는 단계,피전사 기판의 표면에 용매를 뿌려 액체 유동층을 형성하는 단계,상기 음각 부분에만 선택적으로 기능성 액상 재료가 채워진 롤을 상기 액체 유동층이 형성된 피전사 기판에 접촉시켜 회전시킴으로써, 상기 피전사 기판과 상기 기능성 액상 재료 사이에 형성된 상기 액체 유동층이 액체 브릿지(bridge)로서 작용하게 하여 상기 기능성 액상 재료의 패턴을 상기 피전사 기판 상에 전사시키는 단계, 및상기 피전사 기판과 접촉된 상기 롤을 상기 피전사 기판으로부터 분리시키는 단계 |
| 2 |
2 삭제 |
| 3 |
3 제 1 항에 있어서,상기 음각 패턴이 형성된 롤의 음각 부분에만 선택적으로 기능성 액상 재료를 채우는 단계는,상기 음각 패턴이 형성된 롤의 음각 부분에 기능성 액상 재료를 채우고 이웃하는 상기 음각 패턴 사이에 위치하는 양각 부분에 남아있는 상기 기능성 액상 재료를 제거하는 것을 포함하는,액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 롤 투 롤 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법 |
| 4 |
4 제 1 항에 있어서,상기 음각 패턴이 형성된 롤의 음각 부분에만 선택적으로 기능성 액상 재료를 채우는 단계 후 상기 선택적으로 채워진 기능성 액상 재료를 소프트 베이킹하여 유동성을 감소시키는 것을 추가 포함하는,액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 롤 투 롤 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법 |
| 5 |
5 제 1 항에 있어서,상기 기능성 액상 재료는 금속 잉크 또는 산화물 잉크를 포함하는 것인,액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 롤 투 롤 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법 |
| 6 |
6 제 5 항에 있어서,상기 금속 잉크는 Ag, Au 및 Cu 중 하나 이상을 포함하는 금속 잉크이고, 상기 산화물 잉크는 ZnO 및 Al₂O₃중 하나 이상을 포함하는 산화물 잉크인,액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 롤 투 롤 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법 |
| 7 |
7 제 1 항에 있어서,상기 음각 부분에만 선택적으로 기능성 액상 재료가 채워진 롤을 상기 액체 유동층이 형성된 피전사 기판에 접촉시켜 회전함으로써 상기 기능성 액상 재료의 패턴을 상기 피전사 기판 상에 전사시키는 단계를 수행하는 동안, 상기 피전사 기판을 가열하여 상기 액체 유동층을 건조시키는 것을 추가 포함하는,액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 롤 투 롤 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법 |
| 8 |
8 제 1 항에 있어서,상기 액체 유동층을 형성하는 용매는,물, 알코올류 및 극성 유기 용매로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것인,액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 롤 투 롤 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1248862-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20090327 출원 번호 : 1020090026387 공고 연월일 : 20130329 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20130321 청구범위의 항수 : 7 유별 : H01L 21/02 발명의 명칭 : 액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 롤 투 롤 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법 존속기간(예정)만료일 : 20180326 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 159,000 원 | 2013년 03월 25일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 194,000 원 | 2015년 12월 14일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 135,800 원 | 2016년 12월 27일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2009.03.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0185887-11 |
| 2 | 보정요구서 | 2009.04.07 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0023573-29 |
| 3 | [출원서등 보정]보정서 | 2009.04.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0236447-21 |
| 4 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.08.08 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0609807-62 |
| 5 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 | 2011.08.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0609826-29 |
| 6 | 선행기술조사의뢰서 | 2012.03.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 7 | 선행기술조사보고서 | 2012.04.19 | 수리 (Accepted) | 9-1-2012-0030872-94 |
| 8 | 의견제출통지서 | 2012.08.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0493422-36 |
| 9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2012.10.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0866970-36 |
| 10 | [명세서등 보정]보정서 | 2012.10.24 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0866971-82 |
| 11 | 등록결정서 | 2013.03.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0188175-11 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.06.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5068294-39 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.02.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5022074-70 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5155816-75 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.06 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5156285-09 |
| 기술번호 | KST2014059925 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 한양대학교 |
| 기술명 | 액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 롤 투 롤 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법 |
| 기술개요 |
본 발명은, 음각 패턴이 형성된 롤의 음각 부분에만 선택적으로 기능성 액상 재료를 채우는 단계, 피전사 기판의 표면에 용매를 뿌려 액체 유동층을 형성하는 단계, 상기 음각 부분에만 선택적으로 기능성 액상 재료가 채워진 롤을 상기 액체 유동층이 형성된 피전사 기판에 접촉시켜 상기 기능성 액상 재료의 패턴을 상기 피전사 기판 상에 전사시키는 단계, 및 상기 피전사 기판과 접촉된 상기 롤을 상기 피전사 기판으로부터 분리시키는 단계를 포함하는, 액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 롤 투 롤(roll to roll) 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법에 관한 것이다.액체 유동층, 기능성 액상 재료, 롤 투 롤 인쇄법, 미세 패턴 |
| 개발상태 | 기술개발진행중 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 롤 투 롤 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 라이센스, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1345200257 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2012M3A7B4034985 |
| 연구과제명 | 유기-무기 나노복합 계면 제어 기술 개발 및 이종접합 전자소자 응용 연구 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 미래창조과학부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2013 |
| 연구기간 | 201206~201706 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1711000202 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2009-0092807 |
| 연구과제명 | 분자층성장 기술을 이용한 유기-무기 나노복합초격자 제조 및 응용 연구 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 미래창조과학부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2013 |
| 연구기간 | 200909~201408 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345074502 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2008-02378 |
| 연구과제명 | 플라스틱전자소자용공유결합성유기-무기하이브리드나노라미네이트박막의제조및특성연구 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
| 연구주관기관명 | 한양대학교 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200806~201105 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
특허성과
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