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열처리 장치

  • 기술번호 : KST2015141952
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 열처리 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 열처리 장치는 내부에 피가열물(1)이 배치되는 수납공간이 구비되고, 일면에 개구부가 형성된 챔버(10), 챔버(10)의 외부에 배치되고, 챔버(10)의 일면으로 적외선(3)을 방출하여 피가열물(1)을 가열하는 램프히터(20), 및 개구부를 커버하여 챔버(10)를 밀폐하고, 램프히터(20)에서 방출된 적외선(3)을 필터링하여 소정의 파장영역을 갖는 적외선(3)만 피가열물(1)에 전달하는 필터(30)를 포함한다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/324 (2006.01)
CPC H01L 21/67109(2013.01) H01L 21/67109(2013.01) H01L 21/67109(2013.01)
출원번호/일자 1020140093199 (2014.07.23)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1476987-0000 (2014.12.22)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20141230) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.07.23)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이세헌 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 염중현 대한민국 인천광역시 부평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.07.23 수리 (Accepted) 1-1-2014-0692885-41
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2014.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0696107-42
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search		 2014.08.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2014.08.07 수리 (Accepted) 9-1-2014-0061748-25
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0597019-24
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2014-1041503-69
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.10.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1041570-18
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2014-1041532-83
9 등록결정서
Decision to grant		 2014.12.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0838215-19
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
내부에 피가열물이 배치되는 수납공간이 구비되고, 일면에 개구부가 형성된 챔버;상기 챔버의 외부에 배치되고, 상기 챔버의 일면으로 적외선을 방출하여 상기 피가열물을 가열하는 램프히터; 및상기 개구부를 커버하여 상기 챔버를 밀폐하고, 상기 램프히터에서 방출된 상기 적외선을 필터링하여 소정의 파장영역을 갖는 상기 적외선만 상기 피가열물에 전달하는 필터;를 포함하고,상기 램프히터에서 발생한 대류열을 냉각하는 냉각부;를 더 포함하되,상기 냉각부는,상기 램프히터를 수용하는 케이스 외벽에 배치되고, 내부에서 냉각수가 유동하는 냉각관을 포함하고,상기 냉각관은 상기 케이스의 벽면에 밀착되거나, 그 자체가 상기 케이스의 벽면을 형성하여, 상기 케이스 내부를 냉각하며,상기 램프히터와 상기 필터 사이에 착탈가능하게 배치되어, 상기 램프히터에서 방출된 상기 적외선을 차단하는 차단막;을 더 포함하되,상기 차단막은 상기 램프히터의 온도가 상승하다가 일정해질 때까지 배치되고, 상기 램프히터의 온도가 일정해짐으로 인하여 상기 적외선의 방사량이 일정해진 후에 제거되고,제거된 상기 차단막은 상기 램프히터가 꺼질 때에 재배치되는 열처리 장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
청구항 1에 있어서,상기 램프히터의 상부에 배치되고, 상기 램프히터에서 방출한 상기 적외선을 반사하여, 상기 필터에 집중시키는 리플렉터를 더 포함하는 열처리 장치
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삭제
6 6
삭제
7 7
청구항 1에 있어서,상기 필터는 석영 유리인 열처리 장치
8 8
청구항 1에 있어서,상기 램프히터 및 상기 필터는 착탈가능하게 배치되어 교체 가능한 열처리 장치
9 9
청구항 1에 있어서,상기 수납공간을 진공상태로 조성하는 진공펌프;를 더 포함하는 열처리 장치
10 10
청구항 1에 있어서,상기 수납공간 내부에 보호가스를 주입하는 가스노즐;을 더 포함하는 열처리 장치
11 11
청구항 1에 있어서,상기 피가열물은 박막이 부착된 유연기판인 열처리 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 건국대학교 산학협력단 산업융합원천기술개발사업 Flexible OLED/OPV 활성층용 마이크로 패터닝 공정/장비 기술 개발