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밀폐 용기 내에, 복수의 제1 금속 산화물층이 적층된 금속 화합물, 및 수소 이온을 포함하는 제1 용액을 준비하는 단계;상기 밀폐 용기 내의 상기 금속 화합물 및 상기 제1 용액을 수열 반응시켜, 상기 금속 화합물 및 상기 제1 용액으로부터, 적층된 상기 복수의 제1 금속 산화물층 및 상기 수소 이온을 포함하는 중간 생성물(intermediate material)을 제조하는 단계; 및상기 중간 생성물에 제2 용액을 제공하여, 상기 복수의 제1 금속 산화물층을 분리시키는 단계를 포함하는 박막의 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 금속 화합물은, 서로 인접한 상기 복수의 제1 금속 산화물층 사이에 제공되는 제2 금속을 포함하고, 상기 수열 반응에 의해, 상기 제2 금속은 상기 제1 용액에 포함된 상기 수소 이온으로 치환되어, 상기 중간 생성물은 상기 복수의 제1 금속 산화물층, 및 이들 사이에 제공된 상기 수소 이온을 포함하는 박막의 제조 방법
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제2 항에 있어서, 상기 중간 생성물에 상기 제2 용액을 제공하는 단계는, 밀폐 용기 내에 상기 중간 생성물 및 상기 제2 용액을 준비하는 단계; 및상기 밀폐 용기 내의 상기 중간 생성물 및 상기 제2 용액을 수열 반응 시키는 단계를 포함하는 박막의 제조 방법
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복수의 제1 금속 산화물층이 적층된 금속 화합물, 및 수소 이온을 포함하는 제1 용액을 준비하는 단계;상기 금속 화합물 및 상기 제1 용액에 볼-밀링(ball-milling) 공정을 수행하여, 상기 금속 화합물 및 상기 제1 용액으로부터, 적층된 상기 복수의 제1 금속 산화물층 및 상기 수소 이온을 포함하는 중간 생성물을 제조하는 단계; 및상기 중간 생성물에 제2 용액을 제공하여, 상기 복수의 제1 금속 산화물층을 분리시키는 단계를 포함하는 박막의 제조 방법
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제4 항에 있어서, 상기 금속 화합물은, 서로 인접한 상기 복수의 제1 금속 산화물층 사이에 제공되는 제2 금속을 포함하고, 상기 볼-밀링 공정에 의해, 상기 제2 금속은 상기 제1 용액에 포함된 상기 수소 이온으로 치환되어, 상기 중간 생성물은 상기 복수의 제1 금속 산화물층, 및 이들 사이에 제공된 상기 수소 이온을 포함하는 박막의 제조 방법
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제5 항에 있어서, 상기 중간 생성물에 상기 제2 용액을 제공하는 단계는, 상기 중간 생성물 및 상기 제2 용액에 볼-밀링 공정을 수행하는 단계를 포함하는 박막의 제조 방법
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제1 항 또는 제4 항에 있어서, 상기 제2 용액은 상기 수소 이온 보다 큰 사이즈(size)를 갖는 양이온(cation)을 포함하고, 상기 중간 생성물에 상기 제2 용액이 제공되어, 상기 수소 이온이 상기 양이온으로 치환되고, 상기 양이온에 의해 상기 복수의 제1 금속 산화물층이 서로 분리되는 것을 포함하는 박막의 제조 방법
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제7 항에 있어서, 상기 양이온은 암모늄 이온을 포함하는 박막의 제조 방법
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제1 항 또는 제4 항에 있어서, 상기 제1 금속은 티타늄(Ti)을 포함하는 박막의 제조 방법
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