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전자파 조사를 이용한 주석계 산화물 박막 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019020402
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 전자파 조사를 이용한 주석계 산화물 박막 제조 방법이 개시된다. 전자파 조사를 이용한 주석계 산화물 박막 제조 방법은 기판상에 주석계 산화물을 증착하여 박막을 형성하는 단계; 및 상기 박막에 전자파를 조사하는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 21/02351(2013.01) H01L 21/02351(2013.01)
출원번호/일자 1020180044133 (2018.04.16)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0120671 (2019.10.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김현우 서울특별시 성동구
2 전형탁 서울특별시 성동구
3 방재훈 서울특별시 성동구
4 이남규 서울특별시 성동구
5 최명식 서울특별시 성동구
6 최형수 서울특별시 성동구
7 박현우 서울특별시 성동구
8 방민욱 서울특별시 성동구
9 조해원 서울특별시 성동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최관락 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 ** (역삼동) 동림빌딩 *층(아이피즈국제특허법률사무소)
2 송인호 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 ** (역삼동) 동림빌딩 *층(아이피즈국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2018-0377665-07
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판상에 주석계 산화물을 증착하여 박막을 형성하는 단계; 및상기 박막에 전자파를 조사하는 단계를 포함하는 주석계 산화물 박막 제조 방법
2 2
기판상에 주석계 산화물을 증착한 후 전자파를 조사하여 제조된 주석계 산화물 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한양대학교 산학협력단 개인기초연구(미래부) 주석 황화물 기반 광에너지 수확 기술 개발
2 교육부 한양대학교 산학협력단 이공학학술연구기반구축 산업과학연구소