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알파-산화알루미늄갈륨을 활용한 알파-산화갈륨 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2022007897
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 이종버퍼층을 활용한 알파-산화갈륨 박막의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에서 제조된 박막은 사파이어 기판과 산화갈륨층의 계면에서 발생하는 전위가 감소되어 기판의 품질이 우수한 장점이 있다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 21/0251(2013.01) H01L 21/02414(2013.01) H01L 21/02483(2013.01) H01L 21/02505(2013.01) H01L 21/02565(2013.01) H01L 21/0262(2013.01)
출원번호/일자 1020200164749 (2020.11.30)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0076010 (2022.06.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.11.30)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장호원 서울특별시 강남구
2 박용조 경기도 용인시 수지구
3 김병수 서울특별시 관악구
4 양두영 서울특별시 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울시 서초구 서운로**, ***호(서초동, 중앙로얄오피스텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2020-1293239-05
2 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
 2021.07.29 수리 (Accepted) 4-1-2021-5205564-29
3 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
 2022.04.04 수리 (Accepted) 4-1-2022-5079741-71
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2022.04.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
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번호 청구항
1 1
사파이어 기판 위에 하기 화학식 1의 산화알루미늄갈륨을 포함하는 이종버퍼층을 복수개 형성하는 단계(S1); 및상기 이종버퍼층의 상면에 알파-산화갈륨층을 형성하는 단계(S2)를 포함하는, 알파-산화갈륨 박막의 제조방법:[화학식 1](AlxGa1-x)2O3상기 화학식 1에서, x는 0
2 2
제1항에 있어서,상기 복수개의 이종버퍼층은, 3개 내지 10개인 것을 특징으로 하는, 알파-산화갈륨 박막의 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 복수개의 이종버퍼층은, 각 층의 조성이 서로 상이한 것을 특징으로 하는, 알파-산화갈륨 박막의 제조방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 복수개의 이종버퍼층은 8개층으로 이루어지는 것으로서,알루미늄 및 갈륨을 1:0
5 5
제1항에 있어서, 상기 이종버퍼층 및 알파-산화갈륨층은, 미스트-화학기상증착법으로 성장되어 형성된 것인, 알파-산화갈륨 박막의 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 알파-산화갈륨층은 0
7 7
제1항에 있어서,상기 S2 단계 이후로, 알파-산화갈륨층으로부터 이종버퍼층 및 사파이어 기판을 제거하는 단계를 더 포함하는 것인, 알파-산화갈륨 박막의 제조방법
8 8
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항의 제조방법으로 제조된 알파-산화갈륨 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.