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나노선 트랜지스터 및 이를 포함하는 다치 논리 소자

  • 기술번호 : KST2020011521
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 나노선 트랜지스터 및 이를 포함하는 다치 논리 소자가 개시된다. 나노선 트랜지스터는 직경 30 nm 내지 100 nm인 원기둥 형태이고, 불순물이 도핑된 나노선 코어, 나노선 코어의 외부에 위치하는 전자트랩층 및 전자트랩층의 외부에 위치하는 게이트를 포함한다.
Int. CL H01L 29/06 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/28 (2006.01.01) H01L 29/792 (2006.01.01) H01L 21/8234 (2006.01.01)
CPC H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01)
출원번호/일자 1020190010950 (2019.01.29)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2167018-0000 (2020.10.12)
공개번호/일자 10-2020-0101494 (2020.08.28) 문서열기
공고번호/일자 (20201016) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.01.29)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이정희 대구광역시 수성구
2 이준혁 울산광역시 울주군
3 김정길 부산광역시 해운대구
4 손동혁 경상북도 김천시 문지왈길 **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김태헌 대한민국 서울시 서초구 강남대로 *** 신덕빌딩 *층(나우특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대구광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-0102388-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.01.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.02.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0016543-97
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0152549-48
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.04.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0435944-38
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2020-0435943-93
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
8 등록결정서
Decision to grant
2020.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0672467-55
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
직경 30 nm 내지 100 nm인 원기둥 형태이고, 불순물이 도핑된 나노선 코어;상기 나노선 코어의 외부에 위치하는 전자트랩층; 및상기 전자트랩층의 외부에 위치하는 게이트;를 포함하고, 상기 나노선 코어에 흐르는 전류는,상기 게이트에 상기 나노선 코어의 바디 전류가 흐르는 제1 문턱 전압보다 큰 전압이 인가되는 경우, 상기 인가되는 전압의 증가에 대응하여 점차 증가하고, 상기 게이트에 플랫 밴드(flat band) 전압보다 큰 전압이 인가되는 경우, 상기 나노선 코어의 전자가 상기 전자트랩층에 포획되고, 상기 전자의 포획에 따라 상기 나노선 코어의 표면 전류가 흐르는 제2 문턱 전압이 기 설정된 크기만큼 증가하여 상기 인가되는 전압의 증가에 대응하여 점차 감소하는, 나노선 트랜지스터
2 2
제1항에 있어서,상기 나노선 코어는 GaN, SiGe, Si 또는 GaAs이고,상기 전자트랩층은 SiO2, HfO2, SiN 또는 Al2O3인, 나노선 트랜지스터
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서,상기 나노선 코어에 흐르는 전류는,상기 게이트에 상기 제2 문턱 전압보다 큰 전압이 인가되는 경우, 상기 인가되는 전압의 증가에 따라 다시 증가하는, 나노선 트랜지스터
6 6
제1항에 있어서,상기 나노선 코어와 상기 전자트랩층 사이에 위치하는 터널링 산화막층; 및상기 전자트랩층과 상기 게이트 사이에 위치하는 게이트 유전체층;을 더 포함하는 나노선 트랜지스터
7 7
제6항에 있어서,상기 터널링 산화막층은 Al2O3이고,상기 게이트 유전체층은 SiO2인, 나노선 트랜지스터
8 8
제1항의 나노선 트랜지스터;를 포함하고,상기 나노선 트랜지스터는,상기 게이트에 인가되는 전압이 바디 전류가 흐르는 제1 문턱 전압 영역인 경우 제1 디지털 값에 대응되는 제1 범위의 전압 값을 출력하고, 나노선 코어의 표면 전류가 흐르는 제2 문턱 전압 영역인 경우 제2 디지털 값에 대응되는 제2 범위의 전압 값을 출력하며, 최대 인가전압 영역인 경우 제3 디지털 값에 대응되는 제3 범위의 전압 값을 출력하는, 다치 논리 소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.