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용액 공정 기반 박막의 무 용액 자체 패터닝 방법

  • 기술번호 : KST2022002632
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 무 용액 패터닝 방법이 제공되며, 기판 표면에 PDMS를 접촉시킨 상태에서 열처리를 진행하여 기판 표면에 소수성 영역을 형성하고 패턴이 형성된 마스크를 사용하여 상기 기판에 UV를 조사하여 UV가 조사된 소수성 영역을 친수성 영역으로 전환하고, 용액을 도포하여 친수성 영역 혹은 소수성 영역에만 용액이 형성되고 그에 따라 박막 패턴이 자동으로 형성된다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 21/02639(2013.01) H01L 21/02658(2013.01) H01L 21/02628(2013.01) H01L 21/02565(2013.01) H01L 21/0231(2013.01) H01L 21/02282(2013.01) H01L 21/02172(2013.01)
출원번호/일자 1020200110044 (2020.08.31)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0028699 (2022.03.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 배진혁 대구광역시 수성구
2 김도경 대구광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***(역삼동), *층(케이에스고려국제특허법률사무소)
2 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2020-0915724-26
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번호 청구항
1 1
기판에 PDMS를 접촉시킨 상태에서 열처리를 진행하는 단계;상기 PDMS를 상기 기판에서 제거하는 단계;패턴이 형성된 마스크를 사용하여 상기 기판의 표면에 대해 선택적으로 UV를 조사하는 단계;상기 기판 상에 용액을 도포하는 단계를 포함하는,패터닝 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 경북대학교 개인기초연구(과기정통부)(R＆D) 계면-벌크 결함 동시 제어를 통한 동적 다복합성 환경 안정성이 확보된 용액공정 기반 스트레처블 박막트랜지스터 개발