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인쇄 박막 형성에 사용되는 이동식 급속 열처리 장치

  • 기술번호 : KST2014037045
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 잉크젯 인쇄 또는 스핀코팅을 사용하여 금속 나노잉크 잉크 조성물이 도포된 인쇄 박막 형성에 사용되는 이동식 급속 열처리(Moving Rapid Thermal Annealing) 장치가 개시된다. 본 발명의 인쇄 박막 형성에 사용되는 이동식 급속 열처리 장치는 기판이 안착되는 기판 지지부; 상기 기판 지지부의 상부에 수평방향으로 연장되게 고정 형성된 가이드 바(guide bar); 상기 가이드 바를 따라 수평방향으로 이동 가능한 머리부; 및 상기 머리부에 장착되는 적어도 하나 이상의 관형의 열원을 포함한다. 발명의 이동식 급속 열처리 장치는 관형의 열원이 수평으로 이동하여 열처리된 인쇄 박막은 두께 방향으로 균일한 미세구조를 가지며, 낮은 비저항을 갖는다.
Int. CL H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC H01L 21/3242(2013.01) H01L 21/3242(2013.01) H01L 21/3242(2013.01) H01L 21/3242(2013.01)
출원번호/일자 1020100031855 (2010.04.07)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1107560-0000 (2012.01.12)
공개번호/일자 10-2011-0112634 (2011.10.13) 문서열기
공고번호/일자 (20120131) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.04.07)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 주영창 대한민국 서울특별시 강남구
2 이지훈 대한민국 서울특별시 관악구
3 김나래 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김진원 대한민국 경기도 군포시 고산로 ***, ***호 진성국제특허법률사무소 (당정동, 맥시움빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2010-0221585-97
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2010-0239708-82
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2010-0451034-35
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.03.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.04.12 수리 (Accepted) 9-1-2011-0030047-19
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.06.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0306595-40
7 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0592315-12
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.08.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0592267-18
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0592292-50
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
11 등록결정서
Decision to grant		 2012.01.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0016441-94
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판이 안착되는 기판 지지부;상기 기판 지지부의 상부에 수평방향으로 연장되게 고정 형성된 가이드 바(guide bar);상기 가이드 바를 따라 수평방향으로 이동 가능한 머리부; 및상기 머리부에 장착되는 적어도 하나 이상의 관형의 열원을 포함하는 인쇄 박막 형성에 사용되는 이동식 급속 열처리 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 기판은 잉크젯 인쇄 또는 스핀코팅을 사용하여 금속 나노잉크 잉크 조성물이 도포된 기판인 것을 특징으로 하는 인쇄 박막 형성에 사용되는 이동식 급속 열처리 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 기판 지지부 하부에는 기판의 온도를 측정할 수 있는 열전쌍(thermocouple)을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 인쇄 박막 형성에 사용되는 이동식 급속 열처리 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 이동식 급속 열처리 장치는 대기압 상태에서 열처리를 진행할 수 있으며, 또는 내부 또는 외부를 분리하여 진공 펌프에 의해 그 내부인 챔버가 진공 분위기로 변화될 수 있으며, 또는 상기 챔버 내부는 가스 공급구를 통해 공급되는 가스에 의해 특정 분위기로 변화될 수 있는 것을 특징으로 하는 인쇄 박막 형성에 사용되는 이동식 급속 열처리 장치
5 5
제1항에 있어서,상기 이동식 급속 열처리 장치는 기판에 잉크젯 인쇄와 급속 열처리가 동시에 순차적으로 진행할 수 있는 롤-투-롤 공정에 사용되는 것을 특징으로 하는 인쇄 박막 형성에 사용되는 이동식 급속 열처리 장치
6 6
제1항에 있어서,상기 이동식 급속 열처리 장치에서 기판의 가열 속도(heating rate or ramping rate)는 50℃ 내지 200℃/min 로 열처리하는 것을 특징으로 하는 인쇄 박막 형성에 사용되는 이동식 급속 열처리 장치
7 7
제1항에 있어서,상기 이동식 급속 열처리 장치의 기판 최고 온도는 300℃ 내지 1000℃ 인 것을 특징으로 하는 인쇄 박막 형성에 사용되는 이동식 급속 열처리 장치
8 8
제1항에 있어서,상기 관형의 이동식 열원의 이동 속도는 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국연구재단 기초연구사업-중견연구자지원사업-책심연구지원사업(협동) 인쇄공정을 이용한 고신축성 전자 센서 어레이 개발