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임프린트용 레진 디스펜싱 방법

  • 기술번호 : KST2015135014
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 적어도 3개의 주변 액적의 중앙부에 중심 액적을 배치하여 주변 액적 간의 결합보다 중심 액적과 주변 액적이 먼저 결합함으로써, 공기배출로가 확보되어 기포 발생이 방지되는 중심 패턴을 이용한 임프린트용 레진 디스펜싱 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 주변 액적과 중심 액적이 결합하여 액적부를 형성하고, 적어도 3개의 주변 액적부의 중앙부에 중심 액적부를 형성하여 주변 액적부 간의 결합보다 중심 액적부와 주변 액적부가 먼저 결합함으로써, 계층적으로 공기배출로가 확보되어 대면적 디스펜싱에 적합한 계층적 중심 패턴을 이용한 임프린트용 레진 디스펜싱 방법에 관한 것이다 디스펜싱, 임프린트, 액적, 액적부, 기포, 대면적
Int. CL H01L 21/027 (2006.01.01) G03F 7/00 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01)
CPC H01L 21/027(2013.01) H01L 21/027(2013.01) H01L 21/027(2013.01)
출원번호/일자 1020090007140 (2009.01.29)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1060360-0000 (2011.08.23)
공개번호/일자 10-2010-0088015 (2010.08.06) 문서열기
공고번호/일자 (20110829) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.01.29)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이우일 대한민국 서울특별시 강남구
2 강석환 대한민국 서울특별시 관악구
3 최성웅 대한민국 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이소남 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0058258-78
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2009.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2009-0065685-14
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.11.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.12.14 수리 (Accepted) 9-1-2010-0074848-48
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0581965-23
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.02.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0111568-53
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.02.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0111566-62
8 등록결정서
Decision to grant		 2011.05.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0273745-39
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판의 상면에 적어도 3개의 주변 액적을 배치하고 상기 주변 액적의 중앙부에 중심 액적을 배치하여, 상기 주변 액적 간의 결합보다 상기 중심 액적과 주변 액적이 먼저 결합함으로써 공기배출로가 확보되고, 상기 중심 액적의 투입량은, 상기 중심 액적이 배치되지 않는 경우에 주변 액적 간의 결합으로 생성되는 기포공간의 부피와 같거나 큰 것을 특징으로 하는 임프린트용 레진 디스펜싱 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 주변 액적과 중심 액적이 결합하여 액적부를 형성하며, 적어도 3개의 주변 액적부를 형성하고 상기 주변 액적부의 중앙부에 중심 액적부를 형성하여, 상기 주변 액적부 간의 결합보다 상기 중심 액적부와 주변 액적부가 먼저 결합함으로써 계층적으로 공기배출로가 확보되는 것을 특징으로 하는 임프린트용 레진 디스펜싱 방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 중심 액적부를 형성하는 액적의 투입량은, 상기 중심 액적부가 형성되지 않는 경우에 주변 액적부 간의 결합으로 생성되는 기포공간의 부피와 같거나 큰 것을 특징으로 하는 임프린트용 레진 디스펜싱 방법
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5 5
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.