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세라믹-금속 나노복합체를 이용한 박막 내장형 저항체

  • 기술번호 : KST2015143134
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 열안정성이 우수하며 높은 저항값을 가지는 세라믹-금속 나노복합체를 이용한 박막 내장형 저항체 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 박막 내장형 저항체는 세라믹-금속 나노복합체를 이용하여 제조됨으로써 산화 구조로 인해 산화의 영향을 적게 받아 우수한 열안정성을 나타낼 뿐만 높은 저항값을 나타내어 회로의 집적도를 높인 저항 내장형 인쇄회로기판 등에 사용될 수 있다. 박막 내장형 저항체, 산화실리콘, 백금, 열안정성, 고저항
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01C 17/00 (2006.01) B82Y 25/00 (2011.01)
CPC H01C 17/075(2013.01) H01C 17/075(2013.01) H01C 17/075(2013.01) H01C 17/075(2013.01)
출원번호/일자 1020090014518 (2009.02.20)
출원인 성균관대학교산학협력단, 삼성전기주식회사
등록번호/일자 10-1016729-0000 (2011.02.15)
공개번호/일자 10-2010-0095308 (2010.08.30) 문서열기
공고번호/일자 (20110225) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.02.20)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
2 삼성전기주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서수정 대한민국 경기도 수원시 권선구
2 임승규 대한민국 경기도 안양시 동안구
3 박인수 대한민국 경기도 수원시 장안구
4 나성훈 대한민국 경기도 부천시 원미구
5 김진수 대한민국 서울특별시 관악구
6 김태성 대한민국 경기도 의왕시
7 김종천 대한민국 서울특별시 서초구
8 오용수 대한민국 경기도 성남시 분당구
9 이정원 대한민국 서울특별시 서초구
10 송병익 대한민국 경기도 수원시 영통구
11 이승은 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전기주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2009-0107902-13
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.04.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.05.14 수리 (Accepted) 9-1-2010-0028185-63
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0349391-40
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.10.11 수리 (Accepted) 1-1-2010-0656087-41
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.10.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0656089-32
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.02.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0066565-17
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5050935-32
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5200786-38
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 증착된 박막 내장형 저항체로서, 산화실리콘(SiOx) 매트릭스 내에 백금 입자가 분포되도록 증착형성된 산화실리콘-백금 나노복합체며, 상기 산화실리콘-백금 나노복합체는 산화실리콘과 백금의 원자비가 60 : 40 내지 55 : 45인 것을 특징으로 하는 박막 내장형 저항체
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 산화실리콘(SiOx) 매트릭스 내에 분포된 백금 입자의 크기는 3 내지 5 nm인 것을 특징으로 하는 박막 내장형 저항체
5 5
제1항에 있어서, 상기 박막 내장형 저항체는 100 ppm 미만의 TCR값에서 3KΩ 이상의 저항값을 나타내는 것을 특징으로 하는 박막 내장형 저항체
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 산업기술평가원 지역혁신센터(RIC)사업 Ceramic-metal nanocomposite을 이용한 thin film embeddedresistor개발