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비휘발성 강유전체 메모리 소자 및 이의 구동 방법

  • 기술번호 : KST2019017816
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 비휘발성 강유전체 메모리 소자 및 이의 구동 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 강유전체 메모리 소자는, 반도체 활성층 및 상기 반도체 활성층 상에 직렬 결합된 복수의 메모리 셀들 및 상기 복수의 메모리 셀들 중 선택 메모리 셀에 대해 읽기 동작 및 프로그램 동작을 수행하는 제어 회로를 포함하는 비휘발성 메모리 소자로서, 각각의 메모리 셀은, 상기 반도체 활성층 상의 상유전층, 상기 상유전층 상에 적층되는 강유전층 및 상기 상유전층과 상기 강유전층 사이의 계면 또는 상기 반도체 활성층과 상기 상유전체 사이의 계면에 배치되어 트랩된 전하에 의해 상기 강유전층의 네거티브 캐패시턴스 효과를 발생시키는 전하 트랩 사이트를 갖는 유전체 스택 및 상기 강유전층 상의 제어 게이트 전극을 포함하는 게이트 구조를 가질 수 있다.
Int. CL H01L 29/78 (2006.01.01) H01L 29/66 (2006.01.01) H01L 29/51 (2006.01.01) H01L 21/28 (2006.01.01)
CPC H01L 29/78391(2013.01) H01L 29/78391(2013.01) H01L 29/78391(2013.01) H01L 29/78391(2013.01) H01L 29/78391(2013.01)
출원번호/일자 1020180021678 (2018.02.23)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2025007-0000 (2019.09.18)
공개번호/일자 10-2019-0105179 (2019.09.16) 문서열기
공고번호/일자 (20190924) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.02.23)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황철성 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김권석 대한민국 서울특별시 서초구 논현로**, B동 *층(양재동, 삼호물산빌딩)(아이피맥스특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2018-0189847-00
2 보정요구서
Request for Amendment
2018.03.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0038186-14
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.03.13 수리 (Accepted) 1-1-2018-0249382-67
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.09.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.11.14 수리 (Accepted) 9-1-2018-0062493-05
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0302739-22
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.06.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0635371-09
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2019-0635345-11
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
12 등록결정서
Decision to grant
2019.09.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0656418-39
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반도체 활성층 및 상기 반도체 활성층 상에 직렬 결합된 복수의 메모리 셀들 및 상기 복수의 메모리 셀들 중 선택 메모리 셀에 대해 읽기 동작 및 프로그램 동작을 수행하는 제어 회로를 포함하는 비휘발성 메모리 소자로서, 각각의 메모리 셀은, 상기 반도체 활성층 상의 상유전층, 상기 상유전층 상에 적층되는 강유전층 및 상기 상유전층과 상기 강유전층 사이의 계면에 배치되고 전하 트랩 사이트를 갖는 유전체 스택; 및 상기 강유전층 상의 제어 게이트 전극을 포함하는 게이트 구조를 가지며,상기 제어 회로는, 상기 선택 메모리 셀에 대하여 읽기 동작 시, 상기 선택 메모리 셀과 비트라인을 공유하는 적어도 하나의 비선택 메모리 셀을 턴온하도록 상기 비선택 메모리 셀의 강유전층 내의 분극을 반전시키되, 상기 비선택 메모리 셀의 전하 트랩 사이트 내의 전하들은 트랩을 유지함으로써 상기 선택 메모리 셀에 대하여 읽기 동작 완료 시, 상기 강유전층의 탈분극 현상에 의해 상기 강유전층 내의 반전된 분극이 이전 분극으로 회복되는 비휘발성 강유전체 메모리 소자
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 메모리 셀의 서브문턱 subthreshold swing; SS) 값은 60 mV/dec 이하의 크기를 갖는 비휘발성 강유전체 메모리 소자
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 제어 회로는, 상기 전하 트랩 사이트에 트랩된 전하의 2 가지 극성에 각각 대응하여 소거 상태 및 프로그램 상태 중 어느 하나를 할당하는 비휘발성 강유전체 메모리 소자
4 4
제 1 항에 있어서,상기 전하 트랩 사이트는 상기 전하 트랩 사이트에 트랩된 전하에 의해 상기 강유전층의 네거티브 캐패시턴스 효과를 발생시키는 비휘발성 강유전체 메모리 소자
5 5
삭제
6 6
삭제
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제 3 항에 있어서, 상기 제어 회로는, 상기 선택 메모리 셀에 대하여 프로그램 동작 시, 상기 선택 메모리 셀의 강유전층 내의 분극을 반전시키되, 상기 선택 메모리 셀의 전하 트랩 사이트 내의 전하들을 상기 선택 메모리 셀의 반도체 활성층의 채널로 이동시키고, 상기 선택 메모리 셀의 반도체 활성층의 채널 내의 다른 전하들을 상기 전하 트랩 사이트에 트랩시키는 비휘발성 강유전체 메모리 소자
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 메모리 셀의 전달 특성은 소거 상태의 제 1 전압 전류 곡선과 프로그램 상태의 제 2 전압 전류 곡선으로 표시되며, 상기 제어 회로는 상기 읽기 동작 동안 상기 선택 메모리 셀의 제어 게이트 전극에 읽기 전압을 인가하고, 상기 선택 메모리 셀과 비트라인을 공유하는 적어도 하나의 비선택 메모리 셀의 제어 게이트 전극에 패스 전압을 인가하고, 상기 읽기 전압은 상기 제 1 전압 전류 곡선으로부터 정의되는 제 1 문턱 전압과 상기 제 2 전압 전류 곡선으로부터 정의되며 상기 제 1 문턱 전압보다 낮은 제 2 문턱 전압 사이의 전압으로 결정되고, 상기 패스 전압은 상기 제 2 전압 전류 곡선이 중첩되는 중첩 영역 내의 전압으로 결정되는 비휘발성 강유전체 메모리 소자
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 제어 회로는 상기 프로그램 동작 시 상기 선택 메모리 셀의 제어 게이트 전극에 프로그램 전압을 인가하고, 상기 프로그램 전압은, 상기 중첩 영역 내에서 상기 패스 전압 보다 큰 전압으로 결정되는 비휘발성 강유전체 메모리 소자
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 강유전층은, 산화물 강유전체, 불화물 강유전체, 강유전체 반도체 또는 고분자 강유전체 중 적어도 어느 하나를 포함하는 비휘발성 강유전체 메모리 소자
11 11
제 1 항에 있어서, 상기 상유전층과 상기 강유전층은 동일한 결정 구조를 갖는 비휘발성 강유전체 메모리 소자
12 12
제 11 항에 있어서, 상기 결정 구조는 페로브스카이트, 플루오라이트 또는 층상 구조인 비휘발성 강유전체 메모리 소자
13 13
제 1 항에 있어서, 상기 상유전층을 통한 상기 전하 트랩 사이트와 상기 반도체 활성층의 채널 사이의 전하 교환 시간이 읽기 동작의 시간(reading time)보다 긴 비휘발성 강유전체 메모리 소자
14 14
제 1 항에 있어서, 상기 강유전층의 두께는 1 ㎚ 내지 100 ㎚ 범위를 갖는 비휘발성 강유전체 메모리 소자
15 15
제 1 항에 있어서, 상기 상유전층의 두께는 1 ㎚ 내지 100 ㎚ 범위를 갖는 비휘발성 강유전체 메모리 소자
16 16
반도체 활성층 상의 상유전층, 상기 상유전층 상에 적층되는 강유전층 및 상기 상유전층과 상기 강유전층 사이의 계면에 배치되어 트랩된 전하에 의해 상기 강유전층의 네거티브 캐패시턴스 효과를 발생시키는 전하 트랩 사이트를 갖는 유전체 스택 및 상기 강유전층 상의 제어 게이트 전극을 포함하는 복수의 메모리 셀들을 포함하는 비휘발성 메모리 소자의 구동 방법에 있어서, 상기 복수의 메모리 셀들 중 하나의 메모리 셀을 선택하는 단계; 상기 선택하는 단계에서 선택된 선택 메모리 셀과 비트라인을 공유하는 적어도 하나의 비선택 메모리 셀의 게이트 전극에 패스 전압을 인가하여 상기 비선택 메모리 셀을 턴온시키고, 상기 비선택 메모리 셀의 강유전층 내의 분극을 반전시키는 단계; 및상기 패스 전압이 제거되는 경우, 상기 트랩된 전하는 트랩을 유지하고, 상기 강유전층에 탈분극 현상을 유도함으로써 상기 강유전층 내의 반전된 분극을 이전 분극으로 회복시키는 단계를 포함하는 비휘발성 강유전체 메모리 소자의 구동 방법
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제 16 항에 있어서,상기 전하 트랩 사이트는 상기 전하 트랩 사이트에 트랩된 전하에 의해 상기 강유전층의 네거티브 캐패시턴스 효과를 발생시키는 비휘발성 강유전체 메모리 소자의 구동 방법
18 18
삭제
19 19
제 16 항에 있어서, 상기 선택 메모리 셀의 강유전층 내의 분극을 반전시키는 단계; 및상기 선택 메모리 셀의 전하 트랩 사이트 내의 전하들을 상기 선택 메모리 셀의 반도체 활성층의 채널로 이동시키고, 상기 선택 메모리 셀의 반도체 활성층의 채널 내의 다른 전하들을 상기 전하 트랩 사이트에 트랩 시키도록 하는 터널 스위치 단계를 더 포함하는 비휘발성 강유전체 메모리 소자의 구동 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN110189777 CN 중국 FAMILY
2 US10210921 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1 CN110189777 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 US10210921 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.