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구리박막층 상에 솔더층을 형성하는 솔더층형성단계; 및 구리박막층 및 솔더층 사이에 금속간화합물이 형성되도록 솔더층을 금속간화합물층 및 잔여솔더층으로 변환시키는 변환단계;를 포함하는 프리폼솔더 제조방법
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청구항 1에 있어서, 구리박막층을 제거하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프리폼솔더 제조방법
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청구항 1에 있어서, 금속간화합물은 Cu, Sn, Ni, Ag, Au 및 Pd 중 2이상을 포함하는 금속간화합물인 것을 특징으로 하는 프리폼솔더 제조방법
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청구항 1에 있어서, 변환단계는 리플로우공정, 진공오븐공정 및 고온가압공정 중 적어도 하나의 공정에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 프리폼솔더 제조방법
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소자실장기판 상에, 청구항 1에 따른 프리폼솔더 제조방법에 따라 프리폼솔더층을 형성하는 단계; 프리폼솔더층 상에 소자를 위치시키는 단계; 및 프리폼솔더층의 잔여솔더층을 금속간화합물로 변환시켜 소자를 소자실장기판상에 실장하는 단계;를 포함하는 프리폼솔더를 이용한 소자실장방법
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청구항 5에 있어서, 소자는 표면에 청구항 1에 따른 프리폼솔더 제조방법에 따라 프리폼솔더층이 형성된 것을 특징으로 하는 프리폼솔더를 이용한 소자실장방법
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청구항 5에 있어서, 소자는 화합물 반도체를 이용한 전력반도체인 것을 특징으로 하는 프리폼솔더를 이용한 소자실장방법
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소자 일표면 상에 청구항 1에 따른 프리폼솔더 제조방법에 따라 프리폼솔더층을 형성하는 단계; 소자를 프리폼솔더층이 소자실장기판 상에 접촉되도록 위치시키는 단계; 및 프리폼솔더층의 잔여솔더층을 금속간화합물로 변환시켜 소자를 소자실장기판상에 실장하는 단계;를 포함하는 프리폼솔더를 이용한 소자실장방법
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