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전자소자를 포함하는 용액을 기판의 정해진 영역에 토출하는 노즐; 상기 노즐에 전기장을 형성하여 상기 전자소자를 상기 기판에 대해 평행하고 동일한 방향으로 정렬하는 노즐전극; 및 상기 노즐전극이 생성하는 전기장과 상기 노즐에서 토출되는 용액의 양을 제어하는 제어모듈을 포함하는, 전자소자 토출장치
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청구항 1에 있어서, 상기 전자소자는 마이크로 또는 나노 사이즈이고, 전기장에 의해 일방향으로 배열되는 전기적 극성을 갖는 LED인, 전자소자 토출장치
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청구항 1에 있어서, 상기 노즐의 일측에 형성되어 상기 용액에 초음파를 제공하여 상기 전자소자를 균일하게 분산시키는 진동제공부; 및 정해진 속도로 상기 용액을 토출하도록 상기 노즐에 압력을 제공하는 압력제공부를 더 포함하며, 상기 제어모듈은 상기 진동제공부를 동작시켜 상기 전자소자를 분산시키고 상기 압력제공부를 동작시켜 상기 용액을 토출하는 동작을 번갈아 반복하도록 제어하는 토출제어부를 포함하는, 전자소자 토출장치
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청구항 1에 있어서, 상기 노즐전극은 상기 노즐의 일측에 형성되는 제1 노즐전극; 및 상기 노즐을 중심으로 상기 제1 노즐전극의 반대측에 형성되는 제2 노즐전극을 포함하며, 상기 제1 노즐전극과 제2 노즐전극은 상기 기판면에 평행하고, 상기 기판의 미리 정해진 방향에 따라 배치되고, 상기 제어모듈은 상기 제1 노즐전극에 제1 전압을 제공하고, 상기 제2 노즐전극에 제2 전압을 제공하는 정렬제어부를 포함하는, 전자소자 토출장치
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청구항 1에 있어서, 상기 기판의 정해진 영역에 형성되는 제1 기판전극; 및 상기 기판의 정해진 영역에 상기 제1 기판전극과 이격되도록 형성되는 제2 기판전극을 더 포함하며, 상기 제어모듈은 상기 제1 기판전극과 제2 기판전극 사이의 임피던스를 측정하여 상기 전자소자의 개수를 산출하는 수량측정부를 포함하는, 전자소자 토출장치
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청구항 1에 있어서, 상기 노즐은 내부에 상기 용액이 흐르며 상기 노즐전극이 외측에 형성되는 노즐바디; 및 상기 전자소자의 크기에 대응하고 상기 정해진 방향으로 긴 슬릿 형상인 토출구를 갖는 노즐팁을 포함하는, 전자소자 토출장치
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노즐에 형성된 노즐전극에 전기장을 형성하여 용액에 포함된 전자소자의 방향을 기판면에 평향한 일방향으로 정렬하는 제1 정렬단계; 및 기판의 정해진 영역에 상기 용액을 토출하여 상기 전자소자를 배치하는 토출단계를 포함하는, 전자소자 토출방법
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청구항 7에 있어서, 상기 토출단계를 수행하기 전에, 상기 노즐에 형성된 진동제공부를 동작시켜 상기 전자소자를 상기 용액 내에 고르게 분산시키는 분산단계를 더 포함하고, 상기 토출단계는노즐에 연결된 압력제공부를 동작시켜 상기 용액을 밀어내며, 상기 분산단계와 토출단계는 기판 상의 복수의 정해진 영역마다 반복 수행되는, 전자소자 토출방법
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청구항 7에 있어서, 상기 토출단계와 동시에 수행되며, 상기 기판의 정해진 영역에 형성된 제1 기판전극과 제2 기판전극 사이에 전기장을 형성하여 상기 전자소자를 정해진 방향으로 정렬하는 제2 정렬단계를 더 포함하는, 전자소자 토출방법
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10
청구항 7에 있어서, 상기 토출단계와 동시에 수행되며, 상기 기판의 정해진 영역에 형성된 제1 기판전극과 제2 기판전극 사이의 임피던스를 측정하고, 측정된 임피던스에 기초하여 상기 전자소자의 수량을 산출하여 정해진 수량이 토출되면 상기 토출단계를 중지시키는 수량산출단계를 더 포함하는, 전자소자 토출방법
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