맞춤기술찾기

이전대상기술

다층구조 시스템의 반사도 및 위상 계산 시뮬레이션 방법

  • 기술번호 : KST2015142474
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 종래에 실시하고 있는 방법과 달리 입력 파일의 자유도를 크게 높이도록 하고, 이를 통해 각 층의 두께가 다른 비주기성 다층구조 박막 모델과 다층막 내에 기공이나 이물질로 구성된 내부 결함을 포함한 디펙티브(defective) 다층구조 박막 모델과 특정 층 사이의 상호 확산층이 생성된 층간 확산이 고려된 다층구조 박막 모델 등을 자유롭게 형성시키도록 하는 다층구조 시스템의 반사도 및 위상 계산 시뮬레이션 방법을 제공하는데 그 특징이 있다.또한, 본 발명은 여러 가지 형태의 다층박막의 반사도 및 위상을 적은 양의 컴퓨팅 리소스를 가지고 빠른 시간 안에 계산할 수 있게 함으로써 광학 물질로 응용 가능한 다양한 분야의 다층박막의 광학 특성에 대한 정량적인 결과를 쉽게 확보하도록 하는 다층구조 시스템의 반사도 및 위상 계산 시뮬레이션 방법을 제공하는데 있다.또한, 본 발명은 다층박막의 반사도 및 위상을 쉽고 빠른 계산이 가능하게 하는 등의 그 효율성을 향상시켜 이를 적용하여 실험적으로 접근하기 힘든 나노광학 분야에 응용이 확대되어 실행할 수 있는 이용상의 신뢰도 및 만족도를 극대화시키도록 하는 다층구조 시스템의 반사도 및 위상 계산 시뮬레이션 방법을 제공하는데 있다.다층구조, 반사도, 위상, MRSP(Multilayer Reflectivity Simulation Program), 다층박막, 구조인자
Int. CL G06F 17/50 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) G06F 17/10 (2006.01.01) B82Y 35/00 (2017.01.01)
CPC G06F 17/5009(2013.01) G06F 17/5009(2013.01) G06F 17/5009(2013.01) G06F 17/5009(2013.01)
출원번호/일자 1020060103437 (2006.10.24)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2008-0036774 (2008.04.29) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.10.24)
심사청구항수 7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 정용재 대한민국 서울 강남구
2 강인용 대한민국 서울 양천구
3 안진호 대한민국 서울 강남구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 장수영 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, *층(역삼동, 대아빌딩)(특허법인 신우)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0768338-27
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.08.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.09.17 수리 (Accepted) 9-1-2007-0056628-06
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0629767-11
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2008.01.24 수리 (Accepted) 1-1-2008-0058892-60
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2008.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2008-0139414-93
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5037763-28
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2008.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2008-0218982-80
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.04.11 수리 (Accepted) 1-1-2008-0259011-88
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.04.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0259141-15
11 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2008.08.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0433130-97
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2008-0725855-48
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.10.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2008-0725868-31
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2009.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0076564-03
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
MRSP(Multilayer Reflectivity Simulation Program)를 활용한 다층박막의 구조인자들을 개별적으로 조절하여 각 층의 두께가 다른 비주기성 다층구조 박막 모델과 다층막 내에 기공이나 이물질로 구성된 내부 결함을 포함한 디펙티브(defective) 다층구조 박막 모델과 특정 층 사이의 상호 확산층이 생성된 층간 확산이 고려된 다층구조 박막 모델 등과 같은 다양한 모델들을 형성하도록 실행하고,상기의 다양한 모델들에 대한 다층박막의 반사도 및 위상을 적은 양의 컴퓨팅 리소스에 의해 계산하도록 실행하는 것을 특징으로 하는 다층구조 시스템의 반사도 및 위상 계산 시뮬레이션 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 다층박막의 반사도 및 위상은 하기의 수학식을 통해 계산하도록 실행하는 것을 특징으로 하는 다층구조 시스템의 반사도 및 위상 계산 시뮬레이션 방법
3 3
제2항에 있어서,상기의 수학식들을 이용하여 하기의 수학식을 구하되, 기판에서의 반사도를 초기치로 이용하여 인접한 두 층간의 반사계수(Rj, Rj+1)의 관계식을 통하여 제1층부터 2층의 관계를 구하고, 차례대로 최종층까지의 반사계수(R0)를 계산하며, 전체 반사도를 계산하도록 실행하는 것을 특징으로 하는 다층구조 시스템의 반사도 및 위상 계산 시뮬레이션 방법
4 4
제1항에 있어서,상기의 MRSP를 활용한 다층박막의 구조인자들을 개별적으로 조절하여 반사도 및 위상의 결과를 정량적으로 분석하도록 실행하는 것을 특징으로 하는 다층구조 시스템의 반사도 및 위상 계산 시뮬레이션 방법
5 5
제1항에 있어서,상기의 MRSP를 활용하여 극자외선 노광공정용 Mo/Si 다층구조 박막의 구조인자 최적화를 실행하는 것을 특징으로 하는 다층구조 시스템의 반사도 및 위상 계산 시뮬레이션 방법
6 6
제5항에 있어서,상기 MRSP를 활용하여 극자외선 노광공정용 Mo/Si 다층구조 박막의 구조인자를 예측할 수 있도록 실행하는 것을 특징으로 하는 다층구조 시스템의 반사도 및 위상 계산 시뮬레이션 방법
7 7
제6항에 있어서,상기 극자외선 노광공정용 마스크의 반사도를 측정한 결과를 바탕으로 각 층의 구조를 역추적하여 마스크의 평균적인 구조인자를 예측하도록 실행하는 것을 특징으로 하는 다층구조 시스템의 반사도 및 위상 계산 시뮬레이션 방법
8 8
MRSP(Multilayer Reflectivity Simulation Program)를 활용한 다층박막의 구조인자들을 개별적으로 조절하여 각 층의 두께가 다른 비주기성 다층구조 박막 모델과 다층막 내에 기공이나 이물질로 구성된 내부 결함을 포함한 디펙티브(defective) 다층구조 박막 모델과 특정 층 사이의 상호 확산층이 생성된 층간 확산이 고려된 다층구조 박막 모델 등과 같은 다양한 모델들을 형성하도록 실행하고, 상기의 다양한 모델들에 대한 다층박막의 반사도 및 위상을 적은 양의 컴퓨팅 리소스에 의해 계산하도록 실행하되,상기의 MRSP를 활용한 다층박막의 구조인자들을 개별적으로 조절하여 반사도 및 위상의 결과를 정량적으로 분석하도록 실행하고, 상기의 MRSP를 활용하여 극자외선 노광공정용 Mo/Si 다층구조 박막의 구조인자 최적화를 실행하며, 상기 MRSP를 활용하여 극자외선 노광공정용 Mo/Si 다층구조 박막의 구조인자를 예측할 수 있도록 실행하고, 상기 극자외선 노광공정용 마스크의 반사도를 측정한 결과를 바탕으로 각 층의 구조를 역추적하여 마스크의 평균적인 구조인자를 예측하도록 실행하는 것을 특징으로 하는 다층구조 시스템의 반사도 및 위상 계산 시뮬레이션 방법
9 9
MRSP(Multilayer Reflectivity Simulation Program)를 활용한 다층박막의 구조인자들을 개별적으로 조절하여 각 층의 두께가 다른 비주기성 다층구조 박막 모델과 다층막 내에 기공이나 이물질로 구성된 내부 결함을 포함한 디펙티브(defective) 다층구조 박막 모델과 특정 층 사이의 상호 확산층이 생성된 층간 확산이 고려된 다층구조 박막 모델 등과 같은 다양한 모델들을 형성하도록 실행하고, 상기의 다양한 모델들에 대한 다층박막의 반사도 및 위상을 적은 양의 컴퓨팅 리소스에 의해 계산하도록 실행하되,상기 다층박막의 반사도 및 위상은 하기의 수학식들을 통해 계산하도록 실행하고, 기판에서의 반사도를 초기치로 이용하여 인접한 두 층간의 반사계수(Rj, Rj+1)의 관계식을 통하여 제1층부터 2층의 관계를 구하고, 차례대로 최종층까지의 반사계수(R0)를 계산하며, 전체 반사도를 계산하도록 실행하는 것을 특징으로 하는 다층구조 시스템의 반사도 및 위상 계산 시뮬레이션 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.