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패턴된 접착 테이프를 이용한 소프트 리소그래피 방법
- 기술번호 : KST2019011684
- 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-2155-3662
| 요약 | 패턴된 접착 테이프를 이용한 소프트 리소그래피 방법 및 장치가 개시된다. 일 실시 예에 따른 패턴된 접착 테이프를 이용한 소프트 리소그래피 방법은 패턴된 주형에 접착 테이프를 부착시키는 단계; 상기 패턴된 주형으로부터 상기 접착 테이프를 박리하여, 패턴된 접촉 테이프를 획득하는 단계; 상기 패턴된 접착 테이프를 제1 기판의 박막에 접촉시키는 단계; 및 상기 제1 기판으로부터 상기 패턴된 접착 테이프를 제1 박리 속도로 박리하여, 상기 접착 테이프의 볼록부에 접촉된 상기 박막을 선택적으로 제거함으로써, 상기 제1 기판에 박막 패턴을 형성하는 단계를 포함한다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/027 (2006.01.01) H01L 21/033 (2006.01.01) H01L 21/683 (2006.01.01) |
| CPC | H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020150133008 (2015.09.21) |
| 출원인 | 서울대학교산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-1721071-0000 (2017.03.23) |
| 공개번호/일자 | |
| 공고번호/일자 | (20170329) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2015.09.21) |
| 심사청구항수 | 17 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 서울대학교산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 관악구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 박수영 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 |
| 2 | 오상윤 | 대한민국 | 경기도 부천시 원미구 |
| 3 | 박상규 | 대한민국 | 서울특별시 관악구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 유철현 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로*길**, *층(역삼동, 청원빌딩)(특허법인비엘티) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 서울대학교 산학협력단 | 서울특별시 관악구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2015.09.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0916307-17 |
| 2 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2015.10.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0987700-90 |
| 3 | [공지예외적용 보완 증명서류]서류제출서 |
2015.10.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0987779-85 |
| 4 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2016.06.21 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 5 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2016.07.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-6-2016-0100836-35 |
| 6 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2016.08.12 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0579856-70 |
| 7 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2016.10.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0965198-98 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2016.11.09 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-1096451-29 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2016.11.09 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2016-1096455-12 |
| 10 | 등록결정서 Decision to grant |
2017.03.16 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2017-0193124-60 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5093546-10 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.05.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5101798-31 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5154561-59 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.11.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5265458-48 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 패턴된 주형에 접착 테이프를 부착시키는 단계; 상기 패턴된 주형으로부터 상기 접착 테이프를 박리하여, 패턴된 접착 테이프를 획득하는 단계; 상기 패턴된 접착 테이프를 제1 기판의 박막에 접촉시키는 단계; 및 상기 제1 기판으로부터 상기 패턴된 접착 테이프를 제1 박리 속도-0(zero)보다 큰 속도-로 박리하여, 상기 접착 테이프의 볼록부에 접촉된 상기 박막을 선택적으로 제거함으로써, 상기 제1 기판에 박막 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,상기 접착 테이프는 상용화된 감압 접착 테이프(pressure sensitive adhesive tape)인 것을 특징으로 하는, 패턴된 접착 테이프를 이용한 소프트 리소그래피 방법 |
| 2 |
2 제1항에 있어서, 상기 접착 테이프에 상기 주형의 패턴이 전사되지 않은 경우, 상기 패턴된 주형에 상기 접착 테이프를 다시 부착시키는 단계; 제1 시간동안 열과 압력 중 적어도 하나를 인가하는 단계; 및 상기 패턴된 주형으로부터 상기 접착 테이프를 박리하는 단계를 더 포함하는, 패턴된 접착 테이프를 이용한 소프트 리소그래피 방법 |
| 3 |
3 제2항에 있어서, 상기 접착 테이프가 부착된 상기 주형에 열이 인가된 경우, 상기 접착 테이프가 부착된 상기 주형을 제2 시간동안 냉각시키는 단계를 더 포함하는, 패턴된 접착 테이프를 이용한 소프트 리소그래피 방법 |
| 4 |
4 제3항에 있어서, 상기 냉각시키는 단계는 상기 접착 테이프가 부착된 상기 주형을 상온에서 10초 동안 냉각시키는 단계를 포함하는, 패턴된 접착 테이프를 이용한 소프트 리소그래피 방법 |
| 5 |
5 제2항에 있어서, 제1 시간동안 열과 압력 중 적어도 하나를 인가하는 단계는 50~150℃ 범위의 열과 30g/㎠ 이상의 압력 중 적어도 하나를 5초 동안 인가하는 단계를 포함하는, 패턴된 접착 테이프를 이용한 소프트리소그래피 방법 |
| 6 |
6 제1항에 있어서, 상기 제1 기판에 상기 박막 패턴이 형성되지 않은 경우, 상기 패턴된 접착 테이프를 상기 제1 기판의 상기 박막에 다시 접촉시키는 단계; 및 상기 기판으로부터 상기 패턴된 접착 테이프를 상기 제1 박리 속도 이상의 제2 박리 속도로 박리하는 단계를 더 포함하는, 패턴된 접착 테이프를 이용한 소프트리소그래피 방법 |
| 7 |
7 제1항에 있어서, 패턴할 물질이 이전의 패턴 공정에서 패턴한 물질과 동일한지를 확인하는 단계; 상기 확인 결과, 상기 패턴할 물질이 이전의 패턴 공정에서 패턴한 물질과 동일한 경우, 기사용된 주형에 기사용된 접착 테이프를 부착시키는 단계; 및 상기 확인 결과, 상기 패턴할 물질이 이전의 패턴 공정에서 패턴한 물질과 다른 경우, 상기 기사용된 주형에 새로운 접착 테이프를 부착시키는 단계를 더 포함하는, 패턴된 접착 테이프를 이용한 소프트리소그래피 방법 |
| 8 |
8 제1항에 있어서, 상기 패턴된 주형은 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane, PDMS) 주형, 에폭시(epoxy) 성분의 주형, 실리콘(Si) 주형, 또는 폴리우레탄 아크릴레이트(Poly Urethane Acrylate, PUA) 주형인, 패턴된 접착 테이프를 이용한 소프트 리소그래피 방법 |
| 9 |
9 제1항에 있어서, 상기 박막은 TIPS-펜타센 박막, Hex-4-TFPTA 박막, 펜타센(pentacene) 박막, 프탈로시아닌 구리(Copper phthalocyanine, CuPc) 박막, 헥사데카플루오로프탈로시아닌 구리(Copper hexadecafluorophthalocyanine, F16CuPC) 박막, 페닐렌-부톡시페닐-아크릴로니트릴(phenylene-butoxyphenyl-acrylonitrile, DBDCS) 박막, 디스티릴벤젠(distyrylbenzene, DSB) 박막, 형광 유기물 박막(fluorescent organic thin film), 금속 박막(metal thin film), 또는 그래핀 박막(graphene thin film)을 포함하는, 패턴된 접착 테이프를 이용한 소프트 리소그래피 방법 |
| 10 |
10 제1항에 있어서, 상기 박막 패턴은 마이크로미터 단위 또는 나노미터 단위의 단층 구조 또는 다층 구조인, 패턴된 접착 테이프를 이용한 소프트 리소그래피 방법 |
| 11 |
11 제1항에 있어서, 상기 제1 기판의 박막이 상기 접착 테이프의 볼록부로 전사되었는지를 확인하는 단계; 상기 박막이 전사된 접착 테이프를 제2 기판에 접촉시키는 단계; 및 상기 접착 테이프의 박막이 상기 제2 기판으로 전사되도록 상기 제2 기판으로부터 상기 접착 테이프를 박리하는 단계를 더 포함하는, 패턴된 접착 테이프를 이용한 소프트 리소그래피 방법 |
| 12 |
12 제11항에 있어서, 상기 확인 결과, 상기 제1 기판의 박막이 상기 접착 테이프의 볼록부로 전사되지 않은 경우, 상기 패턴된 접착 테이프를 상기 제1 기판의 박막에 다시 접촉시키는 단계; 및 상기 제1 기판으로부터 상기 패턴된 접착 테이프를 상기 제1 박리 속도 이상의 제2 박리 속도로 박리하는 단계를 더 포함하는, 패턴된 접착 테이프를 이용한 소프트 리소그래피 방법 |
| 13 |
13 제1항에 있어서, 상기 제1 기판은 실리콘(Si) 기판, 실리콘(Si) 위에 이산화규소(SiO2)가 증착된 기판(Si/SiO2 기판), 유리 기판, 폴리메틸 메타크릴레이트(Poly(methyl methacrylate), PMMA) 유전층이 코팅된 폴리에틸렌나프탈레이트(Polyethylene naphthalate, PEN) 기판, PMMA가 코팅된 유리 기판, 또는 자기조립 단분자막(self-assembled monolayer, SAM)이 처리된 이산화규소(SiO2) 기판을 포함하되, 상기 자기조립 단분자막은 옥타데실트리클로로실란 (octadecyl trichlorosilane, ODTS), 또는 헥사메틸디실라잔(hexamethyldisilazane, HMDS)을 포함하는, 패턴된 접착 테이프를 이용한 소프트 리소그래피 방법 |
| 14 |
14 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항의 방법에 따라 제조된, 단층 구조의 박막 패턴을 포함하는 기판 |
| 15 |
15 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항의 방법에 따라 제조된, 다층 구조의 박막 패턴을 포함하는 기판 |
| 16 |
16 제15항에 있어서, 상기 다층 구조의 박막 패턴은 서로 동일한 유기 물질을 포함하는, 기판 |
| 17 |
17 제15항에 있어서, 상기 다층 구조의 박막 패턴은 서로 다른 유기 물질을 포함하는, 기판 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
| 공개전문 정보가 없습니다 |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1721071-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20150921 출원 번호 : 1020150133008 공고 연월일 : 20170329 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20170316 청구범위의 항수 : 17 유별 : H01L 21/027 발명의 명칭 : 패턴된 접착 테이프를 이용한 소프트 리소그래피 방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 서울대학교 산학협력단 서울특별시 관악구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 354,000 원 | 2017년 03월 23일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 207,000 원 | 2020년 03월 02일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
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- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2015.09.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0916307-17 |
| 2 | [출원서등 보정]보정서 | 2015.10.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0987700-90 |
| 3 | [공지예외적용 보완 증명서류]서류제출서 | 2015.10.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0987779-85 |
| 4 | 선행기술조사의뢰서 | 2016.06.21 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 5 | 선행기술조사보고서 | 2016.07.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-6-2016-0100836-35 |
| 6 | 의견제출통지서 | 2016.08.12 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0579856-70 |
| 7 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2016.10.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0965198-98 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2016.11.09 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-1096451-29 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 | 2016.11.09 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2016-1096455-12 |
| 10 | 등록결정서 | 2017.03.16 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2017-0193124-60 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5093546-10 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.05.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5101798-31 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5154561-59 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.11.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5265458-48 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1711022699 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2009-0081571 |
| 연구과제명 | 초분자 광전자 재료 연구단 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 미래창조과학부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2015 |
| 연구기간 | 200904~201802 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1711022699 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2009-0081571 |
| 연구과제명 | 초분자 광전자 재료 연구단 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 미래창조과학부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2015 |
| 연구기간 | 200904~201802 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
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