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리소그래피 시스템과 리소그래피 방법

  • 기술번호 : KST2015135567
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 개시는 리소그래피 시스템으로서, 본 개시의 일측면은 광경화성 유체-상기 광경화성 유체는 제공되는 광에 따라 선택적으로 경화됨-가 흐르는 마이크로유체관; 및 상기 광경화성 유체의 흐름에 따라 이동하는 광을 상기 마이크로유체관에 제공하는 광 투영 장치를 구비하는 리소그래피 시스템을 제공한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC G03F 7/70291(2013.01)
출원번호/일자 1020080112077 (2008.11.12)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1111240-0000 (2012.01.25)
공개번호/일자 10-2010-0053097 (2010.05.20) 문서열기
공고번호/일자 (20120214) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.11.12)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권성훈 대한민국 서울 관악구
2 박현성 대한민국 대구광역시 수성구
3 유경식 대한민국 서울특별시 동작구
4 박남규 대한민국 서울특별시 용산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남정길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 인화빌딩 *층 (삼성동)(특허법인(유한)아이시스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.11.12 수리 (Accepted) 1-1-2008-0781709-93
2 보정요구서
Request for Amendment		 2008.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2008-0126759-17
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2008.12.15 수리 (Accepted) 1-1-2008-0859986-74
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2009.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2009-0024593-17
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2009.02.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0092100-61
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.07.16 수리 (Accepted) 9-1-2010-0044911-80
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.08.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0371061-50
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2010-0565555-06
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.08.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0565556-41
11 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination		 2010.12.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2010-0027616-33
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.02.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0068193-83
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.04.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0256634-80
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.04.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0256633-34
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
16 등록결정서
Decision to grant		 2011.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0625951-40
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광경화성 유체-상기 광경화성 유체는 제공되는 광에 따라 선택적으로 경화됨-가 흐르는 마이크로유체관; 및상기 광경화성 유체의 흐름에 따라 이동하는 광을 상기 마이크로유체관에 제공하는 광 투영 장치를 구비하되,상기 광은 상기 광경화성 유체의 흐름과 동일한 속도로 이동하는 리소그래피 시스템
2 2
제1 항에 있어서,상기 광 투영 장치는 시간에 따라 모양이 변경되는 변조된 광을 제공하는 리소그래피 시스템
3 3
제1 항에 있어서,상기 광 투영 장치는 광원; 및 상기 광원에서 제공된 광을 변조하는 기능을 수행하는 공간 광 변조기를 구비하는 리소그래피 시스템
4 4
삭제
5 5
제1 항에 있어서, 상기 광경화성 유체의 속도에 따라 상기 광의 이동 속도를 제어하는 제어부를 더 구비하는 리소그래피 시스템
6 6
제5 항에 있어서, 상기 제어부는 상기 광의 이동 속도가 상기 광경화성 유체의 상기 속도와 동일하도록 상기 광 투영 장치를 제어하는 리소그래피 시스템
7 7
제3 항에 있어서,상기 마이크로유체관의 이미지에 대응하는 전기적인 이미지 신호를 출력하는 이미지 센서; 및상기 이미지 신호로부터 상기 광경화성 유체의 속도를 구하며, 구해진 상기 광경화성 유체의 속도에 따라 상기 변조된 광의 이동 속도를 제어하는 제어부를 더 구비하는 리소그래피 시스템
8 8
(a) 내부에 광경화성 유체가 흐르는 마이크로유체관을 제공하는 단계; 및(b) 광 투영 장치에 의하여 소정 패턴의 변조된 광을 상기 마이크로유체관에 제공하는 단계; 및 (c) 상기 소정 패턴의 변조된 광을 상기 광경화성 유체의 흐름과 동일한 속도로 이동시켜서 상기 마이크로유체관에 제공하여 상기 광경화성 유체를 선택적으로 경화시키는 단계를 구비하는 리소그래피 방법
9 9
제8 항에 있어서,상기 (c) 단계는 1회 이상 반복하여 수행되는 리소그래피 방법
10 10
제8 항에 있어서,(c) 단계는상기 광경화성 유체의 속도를 구하는 단계; 및구해진 상기 광경화성 유체의 속도에 따라 상기 변조된 광의 이동 속도를 제어하는 단계를 구비하는 리소그래피 방법
11 11
제10 항에 있어서,상기 변조된 광의 이동 속도가 상기 광경화성 유체의 속도와 동일하도록 제어하는 리소그래피 방법
12 12
제10 항에 있어서,상기 광경화성 유체의 속도는 상기 마이크로유체관의 이미지에 대응하는 전기적인 이미지 신호로부터 구해지는 리소그래피 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.