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고종횡비 관통구조의 금속 매립방법

  • 기술번호 : KST2015116166
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고종횡비 관통구조의 금속 매립방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 단결정 실리콘 기판에 고종횡비를 가진 관통구조를 제작하기 위해 건식 식각 및 습식 식각을 복합적으로 사용하되, 습식 식각 시 식각 높이 제어가 어렵다는 점을 보완하기 위해 습식 식각 멈춤을 위한 식각 정지층을 증착하는 단계를 포함하여 형성되며, 나노 재료 그물망을 이용하여 형성된 도금용 시드층을 형성함으로써, 고종횡비의 관통 구조에 금속을 매립할 수 있는 고종횡비 관통구조의 금속 매립방법에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/28 (2006.01) H01L 21/306 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/28123(2013.01) H01L 21/28123(2013.01) H01L 21/28123(2013.01) H01L 21/28123(2013.01)
출원번호/일자 1020130006672 (2013.01.21)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1369368-0000 (2014.02.25)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140304) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.21)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안치원 대한민국 대전광역시 유성구
2 강일석 대한민국 대전광역시 서구
3 박용규 대한민국 전라북도 전주시 완산구
4 신영현 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2013-0058935-08
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.27 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0083036-17
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.12.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0854595-73
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.02.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0120652-16
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.02.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-0120661-16
8 등록결정서
Decision to grant
2014.02.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0124498-10
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
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단결정 실리콘 기판(100)에 고종횡비 관통구조(200)를 제작하여, 금속을 매립하기 위한 방법에 있어서,하드마스크(hard mask)(500)용 절연체 증착 후, 상기 기판(100)의 상측면 가운데 일정영역에 스트라이프 패턴이 형성된 마스크를 이용하여 노광하는 노광단계;노광공정을 통해 형성된 패턴을 따라 일정 깊이만큼 건식 식각하여 관통구조(200)를 형성하는 건식 식각단계;건식 식각된 상기 기판(100)의 상측면에 상기 기판(100)의 상측에서 식각된 면에 절연체로 이루어진 식각 정지층(300)을 증착하는 식각 정지층(300) 증착단계;하부의 상기 하드마스크(500) 패터닝 후, 상기 기판(100)의 하부를 습식 식각하는 습식 식각단계;상기 관통구조(200)의 하측면에 남아있는 식각 정지층(300)을 제거하는 채널 오프닝(opening) 단계;상기 기판(100)의 상측면에 나노 재료 그물망을 이용하여 도금용 시드층(400)을 형성하는 시드층 형성단계;상기 도금용 시드층(400)을 이용하여, 상기 관통구조(200)에 금속을 매립하는 금속 매립단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 고종횡비 관통구조의 금속 매립방법
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제 4항에 있어서,상기 도금용 시드층(400)은나노섬유 또는 나노와이어로 형성된 네트워크 필름, 나노 시트, 그래핀 중 어느 하나의 전도성 나노재료 위에 금속이 증착되어 형성되는 것을 특징으로 하는 고종횡비 관통구조의 금속 매립방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 나노종합기술원 연구장비활용기술개발사업 대면적 X선 회절격자 제조 공정기술 개발