맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

메가소닉 세정 방법 및 세정 장치

  • 기술번호 : KST2015135447
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 메가소닉 세정하는 방법으로, 세정 대상체와 구분되는 공간에서, 메가소닉에 의해 세정액을 기전시켜 마이크로 공동들을 생성시킨다. 생성된 마이크로 공동들 중에서, 안정적인 진동의 마이크로 공동들만을 세정 대상체가 로딩된 공간으로 이동시킨다. 또한, 상기 안정적인 진동의 마이크로 공동들을 이용하여 상기 세정 대상체의 표면을 세정한다. 상기 방법에 의하면, 세정 대상체 내의 패턴의 손상을 방지하면서 세정 대상체 표면의 파티클을 효과적으로 제거할 수 있다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020100052109 (2010.06.03)
출원인 삼성전자주식회사, 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1639635-0000 (2016.07.08)
공개번호/일자 10-2011-0132660 (2011.12.09) 문서열기
공고번호/일자 (20160725) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.05.28)
심사청구항수 8

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 최재혁 대한민국 경기도 용인시 수지구
2 김원정 대한민국 서울특별시 관악구
3 김호영 대한민국 서울특별시 관악구
4 고형호 대한민국 경기 화성시
5 오종근 대한민국 서울특별시 동작구
6 전찬욱 대한민국 경기도 성남시 분당구
7 박근환 대한민국 서울특별시 관악구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 박영우 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.06.03 수리 (Accepted) 1-1-2010-0355249-14
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.21 수리 (Accepted) 4-1-2012-5132663-40
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
7 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2015.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2015-0511609-57
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0876935-88
10 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2015-0104643-89
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.02.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0132172-07
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.02.11 수리 (Accepted) 1-1-2016-0132179-15
13 등록결정서
Decision to grant		 2016.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0470777-94
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
세정 대상체를 세정부에 로딩하는 단계;세정 대상체와 구분되게 배치되는 기포 발생부에서 제1 압전 변환기를 이용하여 메가소닉에 의해 세정액을 기전시켜 상기 기포 발생부 내에 마이크로 공동들을 생성시키는 단계;상기 기포 발생부로부터 상기 세정부까지 연결되고 상기 세정액이 채워진 유출라인을 통해 상기 생성된 마이크로 공동들을 이동시키고, 상기 이동 중에 불규칙적인 진동을 갖는 마이크로 공동들을 제거시켜 규칙적인 진동을 갖는 마이크로 공동들만을 상기 세정부로 이동시키는 단계; 및 상기 이동된 마이크로 공동들을 포함하는 세정액을 이용하여 상기 세정 대상체의 표면을 세정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 메가소닉 세정 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 마이크로 공동들의 이동중에 불규칙적인 진동을 갖는 마이크로 공동들이 제거되도록, 상기 기포 발생부와 상기 세정 대상체의 거리, 상기 유출 라인의 폭, 상기 마이크로 공동들이 유출되는 유속, 상기 기포 발생부에서 세정액의 유입 및 유출되는 방향 및 상기 제1 압전 변환기의 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 메가소닉 세정 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 세정 대상체가 로딩된 세정부로 이동한 마이크로 공동들이 규칙적인 진동을 유지하도록, 상기 세정부 내에 구비되는 제2 압전 변환기를 이용하여 고주파 진동을 제공하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 메가소닉 세정 방법
4 4
삭제
5 5
제3항에 있어서, 상기 제1 압전 변환기에 가해지는 제1 파워는 상기 제2 압전 변환기에 가해지는 제2 파워보다 높은 파워인 것을 특징으로 하는 메가소닉 세정 방법
6 6
제5항에 있어서, 상기 제2 파워는 상기 제1 파워의 50％보다 낮은 파워인 것을 특징으로 하는 메가소닉 세정 방법
7 7
삭제
8 8
제1 압전 변환기를 포함하여 메가소닉에 의해 세정액을 기전시켜 마이크로 공동들을 생성시키고, 세정액 유입 라인 및 세정액을 담지하는 용기를 포함하는 기포 발생부;상기 기포 발생부와 구분되게 배치되고, 상기 기포 발생부에서 생성된 마이크로 공동들 중 규칙적인 진동을 갖는 마이크로 공동들을 포함하는 세정액을 공급받아 로딩된 세정 대상체를 세정하는 세정부; 상기 기포 발생부로부터 상기 세정부까지 연결되고 내부에 세정액이 채워지고, 상기 기포 발생부에서 생성된 마이크로 공동들을 상기 세정부로 이동시키고, 이동 중에 불규칙적인 진동을 갖는 마이크로 공동들을 제거하는 유출 라인; 및상기 세정부 내에 포함되어 상기 세정 대상체를 로딩하는 로딩부를 구비하는 것을 특징으로 하는 메가소닉 세정 장치
9 9
제8항에 있어서, 상기 세정부에는 상기 마이크로 공동들이 규칙적인 진동을 유지하기 위한 제2 압전 변환기를 포함하는 것을 특징으로 하는 메가소닉 세정 장치
10 10
제8항에 있어서, 상기 기포 발생부는 상기 세정부 내부에서 별도의 공간에 구비되거나 또는 상기 세정부 외부에 구비되는 것을 특징으로 하는 메가소닉 세정 장치
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP23251280 JP 일본 FAMILY
2 US08293020 US 미국 FAMILY
3 US09370805 US 미국 FAMILY
4 US20110297182 US 미국 FAMILY
5 US20130008476 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP2011251280 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 US2011297182 US 미국 DOCDBFAMILY
3 US2013008476 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US8293020 US 미국 DOCDBFAMILY
5 US9370805 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.