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전기 방사를 이용한 3차원 나노 패턴 형성 장치 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2015136923
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 시린지 팁의 일측에서 폴리머 나노 젯이 방사되어 3차원 나노 패턴을 형성하는 장치 또는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 3차원 나노 패턴 형성 장치는, 일단에서 폴리머 나노 젯이 방사되는 시린지 팁과, 폴리머 나노 젯의 방사 방향 측에 위치되어 시린지 팁과의 사이에서 전기장을 형성하는 전극판을 포함하고, 전극판은, 제 1 전극판 및 제 2 전극판과, 제 1 전극판 및 제 2 전극판과 연결되고, 폴리머 나노 젯이 점착되어 상부에 3차원 나노 패턴이 형성되는 패턴 형성부가 마련되는 제 3 전극판을 가지며, 시린지 팁의, 제 1 전극판, 제 2 전극판, 및 제 3 전극판 사이에서의 상대적 이동과, 패턴 형성부 상측에서의 상대적 왕복 이동이 가능하도록, 시린지 팁 또는 전극판을 이동시킬 수 있는 이동 장치를 포함한다.이로써, 본 발명은 나노젯의 전기 방사법에 내재된 불안정성을 극복하고 나노젯의 위핑 불안정성을 억제하여, 안정적으로 3차원 나노 패턴을 형성할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL D01D 5/00 (2006.01.01) B82B 3/00 (2017.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01)
CPC D01D 5/0061(2013.01) D01D 5/0061(2013.01) D01D 5/0061(2013.01) D01D 5/0061(2013.01)
출원번호/일자 1020130099563 (2013.08.22)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1439402-0000 (2014.09.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140911) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.08.22)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김호영 대한민국 서울 관악구
2 이민희 대한민국 서울 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 두호특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 언주로***, *층(논현동,시그너스빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2013-0762748-35
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.05.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.06.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0049395-29
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0509024-67
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.08.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0732460-89
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2014-0732461-24
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2014.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2014-0732456-06
8 등록결정서
Decision to grant
2014.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0593679-44
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
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번호 청구항
1 1
일단에서 폴리머 나노 젯이 방사되는 시린지 팁과,상기 폴리머 나노 젯의 방사 방향 측에 위치되어 상기 시린지 팁과의 사이에서 전기장을 형성하는 전극판을 포함하고,상기 전극판은, 제 1 전극판 및 제 2 전극판과, 상기 제 1 전극판 및 상기 제 2 전극판과 연결되고, 상기 폴리머 나노 젯이 점착되어 상부에 3차원 나노 패턴이 형성되는 패턴 형성부가 마련되는 제 3 전극판을 가지며,상기 시린지 팁의, 상기 제 1 전극판, 제 2 전극판, 및 제 3 전극판 사이에서의 상대적 이동이 가능하도록 상기 시린지 팁 또는 상기 전극판을 이동시킬 수 있는 이동 장치를 포함하고,상기 시린지 팁으로부터의 상기 폴리머 나노 젯이 상기 패턴 형성부 상측에서 왕복 이동하며 적층되는3차원 나노 패턴 형성 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 이동 장치는,상기 시린지 팁이 상기 패턴 형성부 상측에서 상대적으로 이동 가능하도록 상기 시린지 팁 또는 상기 전극판을 이동시킬 수 있는3차원 나노 패턴 형성 장치
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 전극판은 기판 상에 형성되고,상기 이동 장치는 상기 기판을 이동시키는3차원 나노 패턴 형성 장치
4 4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 폴리머 나노 젯의 방사 방향과, 상기 시린지 팁 또는 상기 전극판이 이동되는 방향은 서로 수직인3차원 나노 패턴 형성 장치
5 5
제 1 항에 있어서,상기 제 3 전극판은 장방향으로 긴 형상을 가지며, 길이 방향 양단에서 각각 상기 제 1 전극판 및 상기 제 2 전극판과 연결되는3차원 나노 패턴 형성 장치
6 6
제 5 항에 있어서,상기 3차원 나노 패턴은, 상기 시린지 팁으로부터 방사되는 상기 나노 젯이, 상기 이동 장치가 상기 전극판을 상기 제 3 전극판의 길이 방향으로 왕복 이동시킴에 따라, 상기 패턴 형성부에 상기 길이 방향으로 적층되어 형성되는3차원 나노 패턴 형성 장치
7 7
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제 3 전극판은 장방향으로 파형 형상을 가지며, 양단에서 각각 상기 제 1 전극판 및 상기 제 2 전극판과 연결되는3차원 나노 패턴 형성 장치
8 8
제 7 항에 있어서,상기 3차원 나노 패턴은, 상기 시린지 팁으로부터 방사되는 상기 나노 젯이, 상기 이동 장치가 상기 전극판을 상기 제 3 전극판의 길이 방향으로 왕복 이동시킴에 따라, 상기 패턴 형성부에 상기 길이 방향으로 적층되어 형성되는3차원 나노 패턴 형성 장치
9 9
시린지 팁의 일측에서 폴리머 나노 젯이 기판 쪽으로 방사되어 상기 기판 상측에 3차원 나노 패턴을 형성하되,상기 시린지 팁이, 제 1 전극판 상측에 위치되는 단계와,상기 시린지 팁과 상기 제 1 전극판 사이의 전기장에 의해 상기 시린지 팁으로부터 상기 폴리머 나노 젯이 방사되는 단계와,상기 시린지 팁이, 상기 제 1 전극판과 연결되는 제 3 전극판의 패턴 형성부에 위치되는 단계와,상기 시린지 팁으로부터 방사되는 상기 폴리머 나노 젯이 상기 패턴 형성부 상측에서 상기 패턴 형성부에 대하여 상대적으로 왕복 이동됨에 따라, 상기 시린지 팁으로부터 방사되는 폴리머 나노 젯이 적층되어 상기 패턴 형성부의 상부에 3차원 나노 패턴이 형성되는 단계를 포함하는3차원 나노 패턴 형성 방법
10 10
제 9 항에 있어서,상기 제 3 전극판은 장방향으로 긴 형상을 가지며, 길이 방향 양단에서 각각 상기 제 1 전극판 및 상기 제 2 전극판과 연결되어 있는3차원 나노 패턴 형성 방법
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1 KR101466370 KR 대한민국 FAMILY
2 KR101590263 KR 대한민국 FAMILY
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1 교육과학기술부(연구재단) 서울대학교 도약연구지원사업 초미세 다공정 유동제어를 이용한 나노/바이오 기계시스템 기술
2 교육과학기술부(연구재단) 서울대학교 중점연구소지원사업 생체모방 기계시스템 응용기술 연구