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몸체 양측면을 각각 관통하며 형성되는 송풍구 및 배기구가 구비되는 중공의 소결로와;상기 소결로 내부에 구비되어 표면에 나노입자가 증착된 베이스기판을 장착하기 위한 스테이지와;내부에는 기체의 이동통로로 사용되는 중공부가 형성되어 있고, 상기 소결로의 외부에서 상기 송풍구와 상기 배기구를 연결하며 폐순환로를 형성하는 기체통로와;상기 소결로 내부에 구비되어 기체 흐름을 형성하여 기체 유동장을 형성하는 블로워와;상기 소결로 내부를 가열하기 위한 히터;를 포함하여 구성되되, 상기 스테이지는 상기 스테이지에 장착되는 베이스기판의 표면이 상기 블로워를 통해 형성된 기체 유동장에 따라 상기 베이스기판으로 공급되는 기체의 유동 방향에 대해 소정 각도 기울어지게 배치되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 방향성 나노 소결체 제조장치
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제 1 항에 있어서, 상기 스테이지는, 상기 스테이지에 장착되는 베이스기판의 기울어진 각도를 조절할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 방향성 나노 소결체 제조장치
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제 1 항에 있어서, 상기 베이스기판의 표면은, 상기 베이스기판으로 공급되는 기체의 유동 방향에 대해 10° 내지 80°의 각도를 갖도록 배치되는 것을 특징으로 하는 방향성 나노 소결체 제조장치
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제 1 항에 있어서, 상기 블로워는, 상기 송풍구 측에 구비되는 것을 특징으로 하는 방향성 나노 소결체 제조장치
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제 1 항에 있어서,상기 기체통로에는,상기 소결로 내부에 공급되는 기체의 양을 조절하기 위한 기체탱크가 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 방향성 나노 소결체 제조장치
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제 5 항에 있어서, 상기 기체탱크에는,헬륨 가스 또는 질소 가스가 수용되어 있는 것을 특징으로 하는 방향성 나노 소결체 제조장치
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방향성 금속 나노 소결체를 제조하는 방법에 있어서, 세라믹 소재의 베이스기판 상부에 금속 나노입자를 증착하는 단계와;상기 금속 나노입자가 증착된 베이스기판을 소결로 내부에 구비된 스테이지 상부에 장착하는 단계와;상기 소결로 내부를 가열하는 동시에, 상기 소결로 내부에 기체의 흐름을 발생시켜 기체 유동장을 형성하면서 상기 금속 나노입자를 소결시키는 단계; 및상기 금속 나노입자가 소결되어 소결체가 형성되면, 상기 베이스기판으로부터 상기 소결체를 분리하는 단계;를 포함하여 구성되되, 상기 금속 나노입자를 소결시키는 단계에서는, 상기 소결로 내부에 형성된 기체 유동장을 따라 상기 베이스기판 상부를 흐르는 기체의 유동 방향과 상기 베이스기판의 표면이 소정 각도로 기울어지게 배치된 상태로 소결 공정이 수행되는 것을 특징으로 하는 방향성 나노 소결체 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 베이스기판 상부에 금속 나노입자를 증착하는 단계 이전에, 상기 베이스기판을 세척하는 단계를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 방향성 나노 소결체 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 베이스기판은 알루미나(Al2O3), 유리 및 파이렉스 중의 어느 하나의 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 방향성 나노 소결체 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 금속 나노입자는 백금(Pt), 알루미늄(Al), 비소(As), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 망간(Mn), 베릴륨(Be), 니켈(Ni), 철(Fe), 크롬(Cr) 및 티타늄(Ti)으로 이루어지는 군에서 선택되는 한 가지의 금속으로 이루어진 것을 특징으로 하는 방향성 나노 소결체 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 베이스기판 상부를 흐르는 기체의 유동 방향과 상기 베이스기판의 표면은 10° 내지 80°의 각도를 형성하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 방향성 나노 소결체 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 금속 나노입자를 소결시키는 단계는,상기 소결로 내부의 온도를 상기 금속 나노입자를 구성하는 금속이 용융되는 온도의 40% 내지 85%의 온도로 가열하면서 수행되는 것을 특징으로 하는 방향성 나노 소결체 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 소결로 내부에서 기체 유동장을 형성하는 기체는 헬륨 가스 또는 질소 가스인 것을 특징으로 하는 방향성 나노 소결체 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 금속 나노입자를 소결시키는 단계는,상기 기체가 상기 베이스기판의 상부면에 0
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