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용량 소자 센서 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2016001225
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 용량 소자 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 좀더 구체적으로는 전극에 부착되는 생체 분자의 전하량의 영향으로 전체 캐패시턴스가 변화되고, 이를 측정하는 센서에 관한 것이다.
Int. CL G01N 27/22 (2006.01.01) G01N 27/02 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020100045885 (2010.05.17)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1163309-0000 (2012.06.29)
공개번호/일자 10-2011-0123193 (2011.11.14) 문서열기
공고번호/일자 (20120705) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 세계지적재산권기구(WIPO)  |   PCT/KR2010/002883   |   2010.05.06
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.05.17)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이정훈 대한민국 서울특별시 서초구
2 최준규 대한민국 경상북도 구미시
3 이수진 대한민국 경기도 고양시 일산동구
4 이성준 대한민국 경상남도 김해시 평전로

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.05.17 수리 (Accepted) 1-1-2010-0313814-38
2 보정요구서
Request for Amendment		 2010.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0048002-25
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.06.21 수리 (Accepted) 1-1-2010-0394998-41
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0046848-10
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.02.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0117164-96
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0117163-40
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0368069-12
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유전층에 의해 분리되어 제공되는 제1 전극, 제2 전극, 및 제3 전극을 포함하는 용량 소자(capacitance element) 센서이고, 상기 제3 전극 상에 부착되는 생체 분자의 전하량으로 인해 변화하는 용량 소자의 변화량을 상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 외부 전원을 공급하여 측정하는 용량 소자 센서의 제조 방법에 있어서,기판 위에 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 서로 이격되게 형성하는 제1 단계와,상기 제1 전극 및 상기 제2 전극의 상부에 상기 유전층을 형성하는 제2 단계와,상기 유전층의 상부에 제3 전극을 형성하는 제3 단계와,상기 제3 전극의 상면에 특정 생체 분자가 부착되도록 표면처리를 하는 제4 단계를 포함하는,용량 소자 센서의 제조 방법
2 2
유전층에 의해 분리되어 제공되는 제1 전극, 제2 전극, 및 제3 전극을 포함하는 제1 용량 소자(capacitance element)와, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 동일한 평면상에 제공되고, 유전층에 의해 분리되어 제공되는 제4 전극 및 제5 전극을 포함하는 제2 용량 소자를 포함하고,상기 제3 전극 상에 부착되는 생체 분자의 전하량으로 인해 변화하는 제1 용량 소자의 값과, 제2 용량 소자의 값의 비를 측정하는 용량 소자 센서의 제조 방법에 있어서,기판 위에 상기 제1 전극, 상기 제2 전극, 상기 제4 전극, 및 상기 제5 전극을 서로 이격되게 형성하는 제1 단계와,상기 제1 전극, 상기 제2 전극, 상기 제4 전극, 및 상기 제5 전극의 상부에 상기 유전층을 형성하는 제2 단계와,상기 유전층의 상부에 제3 전극을 형성하는 제3 단계와,상기 제3 전극의 상면에 특정 생체 분자가 부착되도록 표면처리를 하는 제4 단계를 포함하는,용량 소자 센서의 제조 방법
3 3
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 기판은 플렉서블 기판인,용량 소자 센서의 제조 방법
4 4
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 제1 전극, 상기 제2 전극, 및 상기 제3 전극은 서로 대향하는 방향의 면에 불균일한 러프니스가 형성되어 표면적이 증대되는 것을 특징으로 하는,용량 소자 센서의 제조 방법
5 5
서로 이격되게 형성된 제1 전극 및 제2 전극과,상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 유전층으로 분리되어 있고, 특정 생체 분자가 부착되도록 표면처리되어 있는 제3 전극을 포함하고,상기 제1 전극, 상기 제2 전극, 및 상기 제3 전극은 용량 소자(capacitance element)의 기능을 수행하고, 상기 제3 전극 상에 부착되는 생체 분자의 전하량으로 인해 변화하는 용량 소자의 변화량을 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 기준으로 측정하는,용량 소자 센서
6 6
서로 이격되게 형성된 제1 전극 및 제2 전극과,상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 유전층으로 분리되어 있고, 특정 생체 분자가 부착되도록 표면처리되어 있는 제3 전극과,상기 제1 전극 및 상기 제2 전극와 동일한 평면상에 제공되고, 서로 이격되게 형성된 제4 전극 및 제 5 전극을 포함하고,상기 제1 전극, 상기 제2 전극, 및 상기 제3 전극은 제1 용량 소자(capacitance element)를 형성하고, 상기 제4 전극 및 상기 제5 전극는 제2 용량 소자를 형성하고,상기 제3 전극 상에 부착되는 생체 분자의 전하량으로 인해 변화하는 상기 제1 용량 소자의 값과, 상기 제2 용량 소자의 값의 차이를 측정하는,용량 소자 센서
7 7
삭제
8 8
청구항 5 또는 청구항 6에 있어서, 상기 제1 전극, 상기 제2 전극, 및 상기 제3 전극은 서로 대향하는 방향의 면에 불균일한 러프니스가 형성되어 표면적이 증대되는,용량 소자 센서
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN103119429 CN 중국 FAMILY
2 JP05574267 JP 일본 FAMILY
3 JP25525808 JP 일본 FAMILY
4 US09103773 US 미국 FAMILY
5 US20130057304 US 미국 FAMILY
6 WO2011138985 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN103119429 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN103119429 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 JP2013525808 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JP5574267 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 US2013057304 US 미국 DOCDBFAMILY
6 US9103773 US 미국 DOCDBFAMILY
7 WO2011138985 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국과학재단/지식경재부 서울대학교 산학협력단/서울대학교 산학협력단 미래유망 융합기술 파이오니아사업/20세기 프런티어 지능 로봇 개발 사업 CMOS 분자 이미지 프로세서 개발 융합연구단 나노박막을 이용한 화학기계변환시스템 개발/지능로봇용 MEMS기반 전자 후각센서의 개발