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2단자 상변화 메모리 소자 및 그 동작 방법

  • 기술번호 : KST2020002920
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 2단자 상변화 메모리 소자 및 그 동작 방법이 개시된다. 일 실시예에 따르면, 상변화 메모리 소자에서 사용되는 상변화 메모리 셀은, P 타입 또는 N 타입의 반도체 물질로 형성되는 중간층; 및 상기 P 타입 또는 상기 N 타입 중 상기 중간층을 형성하는 반도체 물질과 다른 타입의 반도체 물질로 상기 중간층의 양단에 형성되는 상부층과 하부층을 포함하고, NPN 또는 PNP 구조로 형성되어, 상기 상부 전극 및 상기 하부 전극으로부터 상기 상부층 및 상기 하부층을 통해 인가되는 전압을 상기 중간층, 상기 상부층 또는 상기 하부층 중 데이터 저장소로 사용되는 P 타입의 적어도 하나의 층에 선택적으로 스위칭함을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 27/24 (2006.01.01) H01L 27/06 (2006.01.01) H01L 27/07 (2006.01.01) H01L 45/00 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020180135268 (2018.11.06)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0025977 (2020.03.10) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020180103693   |   2018.08.31
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.11.06)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송윤흡 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2018-1100444-29
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.08.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.10.11 수리 (Accepted) 9-1-2019-0047381-27
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.02.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0134030-43
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.03.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0315583-78
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2020-0315582-22
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2020.07.03 수리 (Accepted) 1-1-2020-0695289-61
10 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2020.07.23 수리 (Accepted) 1-1-2020-0772712-13
11 등록결정서
Decision to grant
2020.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0745603-69
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번호 청구항
1 1
상부 전극 및 하부 전극을 포함하는 상변화 메모리 소자에서 사용되는 상변화 메모리 셀에 있어서,P 타입 또는 N 타입의 반도체 물질로 형성되는 중간층; 및 상기 P 타입 또는 상기 N 타입 중 상기 중간층을 형성하는 반도체 물질과 다른 타입의 반도체 물질로 상기 중간층의 양단에 형성되는 상부층과 하부층을 포함하고, 상기 상변화 메모리 셀은, NPN 또는 PNP 구조로 형성되어, 상기 상부 전극 및 상기 하부 전극으로부터 상기 상부층 및 상기 하부층을 통해 인가되는 전압을 상기 중간층, 상기 상부층 또는 상기 하부층 중 데이터 저장소로 사용되는 P 타입의 적어도 하나의 층에 선택적으로 스위칭하는, 상변화 메모리 셀
2 2
제1항에 있어서,상기 중간층, 상기 상부층 또는 상기 하부층 중 데이터 저장소로 사용되는 P 타입의 적어도 하나의 층은, 상기 상부층 및 상기 하부층을 통해 인가되는 전압에 의해 결정 상태 또는 물질의 전도성이 변화됨에 따라 상기 데이터 저장소로 사용되는, 상변화 메모리 셀
3 3
제1항에 있어서,상기 상변화 메모리 셀은, 상기 NPN 구조로 형성되는 경우, 상기 NPN 구조에서 NP의 역방향 바이어스에 의해 상기 P 타입의 중간층이 공핍(Depletion)됨에 따라 도통되어, 상기 P 타입의 중간층의 결정 상태 또는 물질의 전도성을 판독하는 판독 동작을 수행하는, 상변화 메모리 셀
4 4
제1항에 있어서,상기 상변화 메모리 셀은, 상기 PNP 구조로 형성되는 경우, 상기 PNP 구조에서 NP의 역방향 바이어스에 의해 상기 상부층 또는 상기 하부층 중 P 타입의 어느 하나의 층이 공핍됨에 따라 도통되어, 상기 P 타입의 어느 하나의 층의 결정 상태 또는 물질의 전도성을 판독하는 판독 동작을 수행하거나, PN의 역방향 바이어스에 의해 상기 N 타입의 중간층이 공핍됨에 따라 도통되어, 상기 P 타입의 어느 하나의 층의 결정 상태 또는 물질의 전도성을 판독하는 판독 동작을 수행하는, 상변화 메모리 셀
5 5
제1항에 있어서,상기 상변화 메모리 셀은, 상기 P 타입의 적어도 하나의 층의 결정 상태 또는 물질의 전도성에 따른 저항의 변화를 감지하여 상기 P 타입의 적어도 하나의 층에 대한 판독 동작을 수행하는, 상변화 메모리 셀
6 6
제1항에 있어서,상기 상변화 메모리 셀은, 상기 P 타입의 적어도 하나의 층의 결정 상태 또는 물질의 전도성에 따른 페르미 준위(Femi level)의 변화로 인한 공핍 시간의 변화를 감지하여 상기 P 타입의 적어도 하나의 층에 대한 판독 동작을 수행하는, 상변화 메모리 셀
7 7
제1항에 있어서,상기 P 타입의 적어도 하나의 층은, 결정질 상태 및 비결정질 상태 모두에서 반도체 특성을 갖는 물질로 형성되는, 상변화 메모리 셀
8 8
제1항에 있어서,상기 P 타입의 적어도 하나의 층은, 결정질 상태 및 비결정질 상태에서 페르미 준위의 변화를 갖는 물질로 형성되는, 상변화 메모리 셀
9 9
제7항 또는 제8항 중 적어도 하나의 항에 있어서,상기 P 타입의 적어도 하나의 층은, 칼코게나이드 물질 및/또는 트랜지션 메탈 물질로 형성되는, 상변화 메모리 셀
10 10
상부 전극 및 하부 전극을 포함하는 상변화 메모리 소자에서 사용되는 상변화 메모리 셀에 있어서,N 타입 또는 P 타입의 반도체 물질로 형성되는 중간층; 및 상기 N 타입 또는 상기 P 타입 중 상기 중간층을 형성하는 반도체 물질과 다른 타입의 반도체 물질로 상기 중간층의 양단에 형성되는 상부층과 하부층을 포함하고, 상기 상변화 메모리 셀은, PNP 또는 NPN 구조로 형성되어, 상기 상부 전극 및 상기 하부 전극으로부터 상기 상부층 및 상기 하부층을 통해 인가되는 전압을 상기 중간층, 상기 상부층 또는 상기 하부층 중 데이터 저장소로 사용되는 N 타입의 적어도 하나의 층에 선택적으로 스위칭하는, 상변화 메모리 셀
11 11
제10항에 있어서,상기 상부층 또는 상기 하부층 중 데이터 저장소로 사용되는 N 타입의 적어도 하나의 층은, 상기 상부층 및 상기 하부층을 통해 인가되는 전압에 의해 결정 상태 또는 물질의 전도성이 변화됨에 따라 상기 데이터 저장소로 사용되는, 상변화 메모리 셀
12 12
제10항에 있어서,상기 상변화 메모리 셀은, 상기 NPN 구조로 형성되는 경우, 상기 NPN 구조에서 NP의 역방향 바이어스에 의해 상기 P 타입의 중간층이 공핍(Depletion)됨에 따라 도통되어, 상기 상부층 또는 상기 하부층 중 N 타입의 어느 하나의 층의 결정 상태 또는 물질의 전도성을 판독하는 판독 동작을 수행하는, 상변화 메모리 셀
13 13
제10항에 있어서,상기 상변화 메모리 셀은, 상기 PNP 구조로 형성되는 경우, 상기 PNP 구조에서 NP의 역방향 바이어스에 의해 상기 상부층 또는 상기 하부층 중 P 타입의 어느 하나의 층이 공핍됨에 따라 도통되어, 상기 N 타입의 중간층의 결정 상태 또는 물질의 전도성을 판독하는 판독 동작을 수행하거나, PN의 역방향 바이어스에 의해 상기 N 타입의 중간층이 공핍됨에 따라 도통되어, 상기 N 타입의 중간층의 결정 상태 또는 물질의 전도성을 판독하는 판독 동작을 수행하는, 상변화 메모리 셀
14 14
제10항에 있어서,상기 상변화 메모리 셀은, 상기 N 타입의 적어도 하나의 층의 결정 상태 또는 물질의 전도성에 따른 저항의 변화를 감지하여 상기 N 타입의 적어도 하나의 층에 대한 판독 동작을 수행하는, 상변화 메모리 셀
15 15
제10항에 있어서,상기 상변화 메모리 셀은, 상기 N 타입의 적어도 하나의 층의 결정 상태 또는 물질의 전도성에 따른 페르미 준위(Femi level)의 변화로 인한 공핍 시간의 변화를 감지하여 상기 N 타입의 적어도 하나의 층에 대한 판독 동작을 수행하는, 상변화 메모리 셀
16 16
제10항에 있어서,상기 N 타입의 적어도 하나의 층은, 결정질 상태 및 비결정질 상태 모두에서 반도체 특성을 갖는 물질로 형성되는, 상변화 메모리 셀
17 17
제10항에 있어서,상기 N 타입의 적어도 하나의 층은, 결정질 상태 및 비결정질 상태에서 페르미 준위의 변화를 갖는 물질로 형성되는, 상변화 메모리 셀
18 18
제16항 또는 제17항 중 적어도 하나의 항에 있어서,상기 N 타입의 적어도 하나의 층은, In, Zn 또는 Ga 중 적어도 하나를 포함하는 물질, 4족 반도체 물질 또는 3-5족 화합물로 형성되는, 상변화 메모리 셀
19 19
상부 전극 및 하부 전극을 포함하는 상변화 메모리 소자에서 사용되는 상변화 메모리 셀에 있어서,P 타입 또는 N 타입의 반도체 물질로 형성되는 중간층; 및 상기 중간층의 양단에 메탈로 형성되는 상부층과 하부층을 포함하고, 상기 상변화 메모리 셀은, 상기 상부 전극 및 상기 하부 전극으로부터 상기 상부층 및 상기 하부층을 통해 인가되는 전압을 상기 중간층에 선택적으로 스위칭하며, 상기 중간층이 P 타입의 반도체 물질로 형성되는 경우, 상기 상부층과 상기 하부층을 형성하는 메탈의 일함수가 상기 중간층을 형성하는 반도체 물질의 일함수보다 적은 값을 갖도록 하는 쇼트키 장벽을 통해 상기 P 타입의 중간층이 공핍됨에 따라 도통되어, 상기 P 타입의 중간층의 결정 상태 또는 물질의 전도성을 판독하는 판독 동작을 수행하거나, 상기 중간층이 N 타입의 반도체 물질로 형성되는 경우, 상기 상부층과 상기 하부층을 형성하는 메탈의 일함수가 상기 중간층을 형성하는 반도체 물질의 일함수보다 큰 값을 갖도록 하는 쇼트키 장벽을 통해 상기 N 타입의 중간층이 공핍됨에 따라 도통되어, 상기 N 타입의 중간층의 결정 상태 또는 물질의 전도성을 판독하는 판독 동작을 수행하는, 상변화 메모리 셀
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1 KR1020200121988 KR 대한민국 FAMILY
2 WO2020045845 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
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