맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법

  • 기술번호 : KST2015124959
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판위에 증착된 나노입자 단일막 또는 다층막에 펄스 레이저를 조사시켜 입자를 기판으로부터 선택적으로 분리시킴으로서, 보다 단순하면서도 신속한 패터닝을 실현할 수 있고, 패턴의 형상과 주기 조절이 자유롭게 이루어질 수 있도록 한 펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법에 관한 것이다.이를 위해, 본 발명은 단일막 또는 다층막의 나노입자 박막이 증착된 기판의 제공 단계와; 레이저 빔 조사수단에서 프리즘을 통하여 상기 나노입자 박막의 원하는 부위에 펄스 레이저를 조사시키는 단계와; 상기 펄스 레이저의 에너지 밀도가 임계값 이상이면, 나노입자의 열탄성 효과에 의한 힘이 나노입자와 기판의 결합력보다 크게 되어, 상기 나노입자 박막의 원하는 부위가 기판으로부터 분리되는 패터닝 단계; 로 이루어지는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법을 제공한다.나노입자, 펄스 레이저, 전극패턴, 패터닝, 기판
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01)
출원번호/일자 1020070030147 (2007.03.28)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0838344-0000 (2008.06.09)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080617) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.03.28)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이명규 대한민국 서울 송파구
2 신현권 대한민국 서울 서대문구
3 김현준 대한민국 서울 마포구
4 하정민 대한민국 경기 고양시 일산구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이학수 대한민국 부산광역시 연제구 법원로 **, ****호(이학수특허법률사무소)
2 백남훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, KTB네트워크빌딩**층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.03.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0241740-43
2 등록결정서
Decision to grant		 2008.04.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0222640-77
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
단일막 또는 다층막의 나노입자 박막이 증착된 기판의 제공 단계와;레이저 빔 조사수단에서 프리즘을 통하여 상기 나노입자 박막의 원하는 부위에 펄스 레이저를 조사시키는 단계와;상기 나노입자 박막에 대한 펄스 레이저의 에너지 밀도 공간분포가 다중의 레이저 빔 간섭에 의해 변조하되, 상기 펄스 레이저의 에너지 밀도가 임계값 이상이면, 나노입자의 열탄성 효과에 의한 힘이 나노입자와 기판의 결합력보다 크게 되어, 상기 나노입자 박막의 원하는 부위가 기판으로부터 분리되는 패터닝 단계;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 나노입자 박막에 대한 펄스 레이저의 에너지 밀도 공간분포를 포토마스크를 사용하여 변조하는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 나노입자 박막에 대하여 레이저 펄스 에너지를 가감시키는 제어를 실시하여, 패턴의 특정크기(feature size)를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법
4 4
청구항 1에 있어서, 다층으로 이루어진 상기 금속 나노입자 박막을 패터닝전에 어닐링한 다음, 어닐링된 다층의 금속 나노입자 박막으로부터 전극패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.