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3차원 반도체 집적 회로

  • 기술번호 : KST2021007536
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 원자 스위칭 소자를 이용하여 CMOS 회로 블록을 선택적으로 구동시킬 수 있는 3차원 반도체 집적 회로에 관한 것으로, 복수의 제1 CMOS 회로 블록을 포함하는 제1 CMOS 회로층, 상기 제1 CMOS 회로층 상부에 배치된 절연층, 상기 절연층을 관통하는 비아홀들 내부에 배치되고, 상기 제1 CMOS 회로 블록들에 각각 전기적으로 연결된 복수의 원자 스위칭 소자들, 상기 절연층 상부에 배치되고, 상기 원자 스위칭 소자들과 전기적으로 연결되며, 상기 원자 스위칭 소자들을 선택적으로 온오프시키는 구동회로를 포함하는 구동 회로층 및 상기 구동 회로층 상부에 배치되고, 상기 원자 스위칭 소자들과 연결되는 제2 CMOS 회로를 포함한다.
Int. CL H01L 27/06 (2006.01.01) H01L 27/02 (2006.01.01) H01L 27/07 (2006.01.01) H01L 45/00 (2006.01.01)
CPC H01L 27/0688(2013.01) H01L 27/027(2013.01) H01L 27/0617(2013.01) H01L 27/0705(2013.01) H01L 45/12(2013.01)
출원번호/일자 1020200017291 (2020.02.13)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2262756-0000 (2021.06.03)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20210608) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.02.13)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이성주 경기도 성남시 분당구
2 주재혁 경상남도 창원시 진해구
3 박진홍 경기도 화성
4 신채연 경기도 수원시 장안구
5 백성표 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.02.13 수리 (Accepted) 1-1-2020-0150957-70
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.07.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0175923-73
4 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2020.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2020-1010386-94
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0831955-65
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2021.01.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0112945-87
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2021.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2021-0112936-76
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2021.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0147137-68
9 [법정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2021.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2021-0323828-36
10 법정기간연장승인서
2021.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2021-0047729-11
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2021.04.23 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2021-0474849-92
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2021.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2021-0474848-46
13 등록결정서
Decision to Grant Registration
2021.06.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0442412-17
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
복수의 제1 CMOS 회로 블록 및 상기 복수의 제1 CMOS 회로 블록 모두와 전기적으로 연결된 전원 단자를 포함하는 제1 CMOS 회로층;상기 제1 CMOS 회로층 상부에 적층되고, 구동회로를 포함하는 구동 회로층;상기 제1 CMOS 회로층과 상기 구동 회로층 사이에 적층된 절연층;상기 구동 회로층 상부에 배치되고, 단일 회로블록인 제2 CMOS 회로;상기 절연층을 관통하는 제1 비아홀들 내부에 배치되고, 비활성 전극이 상기 제1 CMOS 회로 블록들에 각각 전기적으로 연결되고 활성전극이 상기 제2 CMOS 회로에 연결된 복수의 제1 원자 스위칭 소자들; 및상기 절연층을 관통하는 제2 비아홀들 내부에 배치되고, 비활성 전극이 상기 전원 단자에 연결되고 활성전극이 외부 전원과 전기적으로 연결된 제2 원자 스위칭 소자;를 포함하고,상기 구동회로는, 상기 외부전원에 연결되어 상기 제1 및 제2 원자 스위칭 소자를 온오프시키기 위한 전압을 생성하는 구동전압 생성부; 상기 제1 및 제2 원자 스위칭 소자들의 활성전극들 및 상기 구동전압 생성부에 전기적으로 연결되고, 상기 제1 원자 스위칭 소자들 중 선택된 적어도 하나 및 상기 제2 원자 스위칭 소자를 상기 구동전압 생성부에 전기적으로 연결시키는 선택부; 및 상기 적어도 하나의 원자 스위칭 소자를 선택하기 위한 선택정보를 외부에서 수신하여 상기 선택부에 제공하는 선택정보 입력부;를 포함하고, 상기 구동 회로층이 제1 원자 스위칭 소자들 중 적어도 하나를 선택적으로 온 시키는 경우, 선택된 제1 원자 스위칭 소자와 연결된 제1 CMOS 회로 블록과 제2 CMOS 회로 간에 신호가 전달되며,상기 구동 회로층이 제2 원자 스위칭 소자를 온 시키는 경우, 외부 전원과 전원 단자가 전기적으로 연결되어 상기 제1 CMOS 회로블록들에 전원이 공급되는 것을 특징으로 하는,3차원 반도체 집적 회로
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삭제
3 3
삭제
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제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 원자 스위칭 소자는,제1 금속으로 형성된 비활성 전극;상기 비활성 전극과 대향하도록 배치되고, 상기 제1 금속보다 이온화 에너지가 낮은 제2 금속으로 형성된 활성 전극; 및상기 비활성 전극과 상기 활성 전극 사이에 배치된 고체 전해질층;을 포함하는 것을 특징으로 하는,3차원 반도체 집적 회로
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제4항에 있어서,상기 고체 전해질층은 비아홀 내면에 박막 형태로 증착된 구조를 갖는 것을 특징으로 하는,3차원 반도체 집적 회로
6 6
제4항에 있어서,상기 제1 금속은 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 티타늄나이트라이드(TiN) 및 텅스텐(W)으로 이루어진 그룹에서 선택된 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는,3차원 반도체 집적 회로
7 7
제4항에 있어서,상기 제2 금속은 구리(Cu), 은(Ag) 및 알루미늄(Al)으로 이루어진 그룹에서 선택된 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는,3차원 반도체 집적 회로
8 8
제4항에 있어서,상기 고체 전해질층은 오산화탄탈륨(Ta2O5), 산화알루미늄(Al2O3) 및 산화하프늄(HfO2)으로 이루어진 그룹에서 선택된 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는,3차원 반도체 집적 회로
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제1항, 제4항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 3차원 반도체 집적 회로를 포함하는,파워게이팅 반도체 소자
10 10
제1항, 제4항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 3차원 반도체 집적 회로를 포함하는,뉴로모픽 반도체 소자
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삭제
12 12
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 성균관대학교(자연과학캠퍼스) 미래반도체신소자원천기술개발사업(신소자집적·검증기술) BEOL Via 집적형 신소자 공정플랫폼 및 응용소자 개발
2 교육부 성균관대학교(자연과학캠퍼스) 이공학개인기초연구사업(기본연구지원사업_후속연구지원) 이차원 나노융복합소재를 이용한 신기능성 차세대 ICT 정보처리소자 개발
3 과학기술정보통신부 광주과학기술원 글로벌프론티어사업(하이브리드 인터페이스 기반미래소재 연구) 3D 집적 반도체소재 원천기술 및 응용 연구
4 과학기술정보통신부 성균관대학교(자연과학캠퍼스) 기초연구실지원사업 비선형 부성저항 특성 기반 한계극복 ICT정보처리 소자 개발
5 국토교통부 한국건설기술연구원 건설기술연구(R&D) EMP 차폐 콘크리트계 소재, 재료, 구조체 및 구조물 개발