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부성 미분 전달컨덕턴스 특성을 갖는 반도체 소자 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2020006334
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 부성 미분 전달컨덕턴스 특성을 갖는 반도체 소자는 기판, 기판 상에 형성된 게이트 전극, 게이트 전극상에 형성된 절연층, 절연층 상에 형성된 소스 전극 물질층, 절연층 상에 형성되고, 소스 전극 물질층과 이종 접합하도록 형성된 반도체 물질층, 소스 전극 물질층 상에 형성된 소스 전극 및 반도체 물질층 상에 형성된 드레인 전극을 포함하되, 소스 전극 물질층은 게이트 전극을 통해 인가되는 게이트 전압에 따라 일함수가 조절되는 것이고, 게이트 전압의 크기에 따라 부성 미분 전달컨덕턴스 특성을 나타내는 것이다.
Int. CL H01L 45/00 (2006.01.01)
CPC H01L 45/16(2013.01) H01L 45/16(2013.01) H01L 45/16(2013.01)
출원번호/일자 1020180148295 (2018.11.27)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0062650 (2020.06.04) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.11.27)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박진홍 경기도 화성
2 최재웅 경기도 성남시 분당구
3 김관호 경기도 수원시 장안구
4 이성주 경기도 성남시 분당구
5 임지혜 경기도 수원시 장안구
6 막심 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍성욱 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***(역삼동) 동아빌딩 *층(주식회사에스와이피)
2 심경식 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** 동아빌딩 *층(에스와이피특허법률사무소)
3 특허법인엠에이피에스 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 (역삼동, 한동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교 산학협력단 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2018-1182301-10
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2019.02.15 수리 (Accepted) 1-1-2019-0163909-79
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.04.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.05.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0006882-70
5 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2019.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2019-0694457-43
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0048945-53
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2020-0280644-55
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.03.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0280693-82
9 등록결정서
Decision to grant
2020.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0433043-16
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번호 청구항
1 1
부성 미분 전달컨덕턴스(negative differential transconductance) 특성을 갖는 반도체 소자의 제조 방법에 있어서,(a) 기판 상에 절연층을 형성하는 단계;(b) 상기 절연층 상에 반도체 물질층을 형성하는 단계; 및(c) 상기 반도체 물질층의 단부에 각각 결합되는 전극층을 형성하는 단계를 포함하되,상기 반도체 물질층은 제1영역 및 제2영역으로 구분되고, 상기 제1영역 및 상기 제2영역에 대응하는 각 반도체 물질층은 서로 다른 문턱 전압을 가지며, 게이트 전압의 크기에 따라 공통된 전도도 구간이 발생하는 경우 부성 미분 전달컨덕턴스 특성을 나타내고,상기 (a) 단계는 (a-1) 상기 제1영역에 대응하는 기판 상에 제1절연층을 형성하고, 상기 제2영역에 대응하는 기판 상에 상기 제1절연층과 접하도록 제2절연층을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 제1절연층 및 상기 제2절연층은 서로 다른 유전 상수를 갖도록 형성된 것인,반도체 소자의 제조 방법
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부성 미분 전달컨덕턴스(negative differential transconductance) 특성을 갖는 반도체 소자의 제조 방법에 있어서,(a) 기판 상에 절연층을 형성하는 단계;(b) 상기 절연층 상에 반도체 물질층을 형성하는 단계; 및(c) 상기 반도체 물질층의 단부에 각각 결합되는 전극층을 형성하는 단계를 포함하되,상기 반도체 물질층은 제1영역 및 제2영역으로 구분되고, 상기 제1영역 및 상기 제2영역에 대응하는 각 반도체 물질층은 서로 다른 문턱 전압을 가지며, 게이트 전압의 크기에 따라 공통된 전도도 구간이 발생하는 경우 부성 미분 전달컨덕턴스 특성을 나타내고,상기 (a) 단계는(a-2) 상기 제1영역에 대응하는 기판 상에 제1두께를 갖도록 상기 절연층을 형성하고, 상기 제2영역에 대응하는 기판 상에 제2두께를 갖도록 상기 절연층을 형성하는 단계를 포함하는 것인,반도체 소자의 제조 방법
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삭제
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부성 미분 전달컨덕턴스(negative differential transconductance) 특성을 갖는 반도체 소자의 제조 방법에 있어서,(a) 기판 상에 절연층을 형성하는 단계;(b) 상기 절연층 상에 반도체 물질층을 형성하는 단계; 및(c) 상기 반도체 물질층의 단부에 각각 결합되는 전극층을 형성하는 단계를 포함하되,상기 반도체 물질층은 제1영역 및 제2영역으로 구분되고, 상기 제1영역 및 상기 제2영역에 대응하는 각 반도체 물질층은 서로 다른 문턱 전압을 가지며, 게이트 전압의 크기에 따라 공통된 전도도 구간이 발생하는 경우 부성 미분 전달컨덕턴스 특성을 나타내고,상기 (b) 단계는(b-1) 상기 제1영역 및 상기 제2 영역에 대응하는 절연층 상부의 전 영역에 제1반도체를 형성하고, 문턱 전압 변화에 의해, 상기 제2영역에 대응하는 상기 제1반도체의 일 부분을 제2반도체로 형성하는 단계를 포함하는 것인,반도체 소자의 제조 방법
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부성 미분 전달컨덕턴스(negative differential transconductance) 특성을 갖는 반도체 소자의 제조 방법에 있어서,(a) 기판 상에 절연층을 형성하는 단계;(b) 상기 절연층 상에 반도체 물질층을 형성하는 단계; 및(c) 상기 반도체 물질층의 단부에 각각 결합되는 전극층을 형성하는 단계를 포함하되,상기 반도체 물질층은 제1영역 및 제2영역으로 구분되고, 상기 제1영역 및 상기 제2영역에 대응하는 각 반도체 물질층은 서로 다른 문턱 전압을 가지며, 게이트 전압의 크기에 따라 공통된 전도도 구간이 발생하는 경우 부성 미분 전달컨덕턴스 특성을 나타내고,상기 (b) 단계는 (b-2) 상기 제1영역에 대응하는 절연층 상에 제1반도체를 형성하고, 상기 제2영역에 대응하는 절연층 상에 상기 제1반도체와 이격하는 제2반도체를 형성하는 단계를 포함하는 것인,반도체 소자의 제조 방법
7 7
부성 미분 전달컨덕턴스(negative differential transconductance) 특성을 갖는 반도체 소자의 제조 방법에 있어서,(a) 기판 상에 절연층을 형성하는 단계;(b) 상기 절연층 상에 일함수 가변 물질층을 형성하는 단계;(c) 상기 일함수 가변 물질층 상에 반도체 물질층을 형성하는 단계; 및(d) 상기 반도체 물질층의 단부에 각각 결합되는 전극층을 형성하는 단계를 포함하되,상기 반도체 물질층은 제1영역 및 제2영역으로 구분되는 것이고, 상기 제1영역에 대응하는 반도체 물질층 및 상기 일함수 가변 물질층과 상기 제2영역에 대응하는 반도체 물질층 및 상기 일함수 가변 물질층은 서로 다른 전위 장벽을 가지며, 게이트 전압의 크기에 따라 상기 일함수 가변 물질층의 일함수가 조절되어 부성 미분 전달컨덕턴스 특성을 나타내는 것인,반도체 소자의 제조 방법
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부성 미분 전달컨덕턴스(negative differential transconductance) 특성을 갖는 반도체 소자에 있어서,기판;상기 기판 상에 형성된 절연층;상기 절연층 상에 형성된 반도체 물질층; 및상기 반도체 물질층의 단부에 각각 결합되도록 형성된 전극층을 포함하되,상기 반도체 물질층은 제1영역 및 제2영역으로 구분되고, 상기 제1영역 및 상기 제2영역에 대응하는 각 반도체 물질층은 서로 다른 문턱 전압을 가지며, 게이트 전압의 크기에 따라 공통된 전도도 구간이 발생하는 경우 부성 미분 전달컨덕턴스 특성을 나타내고,상기 절연층은상기 제1영역에 대응하는 기판 상에 형성된 제1절연층 및 상기 제2영역에 대응하는 기판 상에 형성된 제2절연층으로 구성되되,상기 제1절연층 및 상기 제2절연층은 서로 다른 유전 상수를 갖도록 형성된 것인,반도체 소자
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부성 미분 전달컨덕턴스(negative differential transconductance) 특성을 갖는 반도체 소자에 있어서,기판;상기 기판 상에 형성된 절연층;상기 절연층 상에 형성된 반도체 물질층; 및상기 반도체 물질층의 단부에 각각 결합되도록 형성된 전극층을 포함하되,상기 반도체 물질층은 제1영역 및 제2영역으로 구분되고, 상기 제1영역 및 상기 제2영역에 대응하는 각 반도체 물질층은 서로 다른 문턱 전압을 가지며, 게이트 전압의 크기에 따라 공통된 전도도 구간이 발생하는 경우 부성 미분 전달컨덕턴스 특성을 나타내고,상기 절연층은상기 제1영역에 대응하는 기판 상에 제1두께를 갖도록 형성된 것이고,상기 제2영역에 대응하는 기판 상에 제2두께를 갖도록 형성된 것인,반도체 소자
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부성 미분 전달컨덕턴스(negative differential transconductance) 특성을 갖는 반도체 소자에 있어서,기판;상기 기판 상에 형성된 절연층;상기 절연층 상에 형성된 반도체 물질층; 및상기 반도체 물질층의 단부에 각각 결합되도록 형성된 전극층을 포함하되,상기 반도체 물질층은 제1영역 및 제2영역으로 구분되고, 상기 제1영역 및 상기 제2영역에 대응하는 각 반도체 물질층은 서로 다른 문턱 전압을 가지며, 게이트 전압의 크기에 따라 공통된 전도도 구간이 발생하는 경우 부성 미분 전달컨덕턴스 특성을 나타내고,상기 반도체 물질층은상기 제1영역에 대응하는 절연층 상에 형성된 제1반도체 및상기 제2영역에 대응하는 절연층 상에 상기 제1반도체와 이격하도록 형성된 제2반도체로 구성되는 것인,반도체 소자
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부성 미분 전달컨덕턴스(negative differential transconductance) 특성을 갖는 반도체 소자에 있어서,기판;상기 기판 상에 형성된 절연층;상기 절연층 상에 형성된 일함수 가변 물질층;상기 일함수 가변 물질층 상에 형성된 반도체 물질층; 및상기 반도체 물질층의 단부에 각각 결합되도록 형성된 전극층을 포함하되,상기 반도체 물질층은 제1영역 및 제2영역으로 구분되는 것이고, 상기 제1영역에 대응하는 반도체 물질층 및 상기 일함수 가변 물질층과 상기 제2영역에 대응하는 반도체 물질층 및 상기 일함수 가변 물질층은 서로 다른 전위 장벽을 가지며, 게이트 전압의 크기에 따라 상기 일함수 가변 물질층의 일함수가 조절되어 부성 미분 전달컨덕턴스 특성을 나타내는 것인,반도체 소자
지정국 정보가 없습니다
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1 WO2020111752 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
2 WO2020111752 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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