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엔드이펙터를 구비한 웨이퍼 이송로봇;상관관계 도출용 마커 및 상기 엔드이펙터 상에 놓인 웨이퍼를 촬영하여 웨이퍼 이미지를 획득하는 검사용 비전 카메라;상기 검사용 비전 카메라와 상기 웨이퍼 이송로봇과 상기 엔드이펙터와 상관관계 도출용 마커를 촬영하여 상관관계 이미지를 획득하는 캘리브레이션용 비전 카메라;상기 웨이퍼 이미지 및 상기 상관관계 이미지에 대해 이미지 왜곡 보정을 수행하고, 이미지 왜곡 보정된 상기 웨이퍼 이미지로부터 복수개의 특징점을 검출하고 검출된 특징점과 정상 위치에서의 웨이퍼 이미지로부터 검출된 기준 특징점을 참조하여 상기 웨이퍼의 위치오차를 도출하며, 상기 상관관계 이미지로부터 상기 검사용 비전 카메라와 상기 웨이퍼 이송로봇과 상기 엔드이펙터 사이의 상대적인 위치를 기반으로 하는 상관관계를 도출하는 연산부;를 포함하는 웨이퍼 위치오차 수집장치
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청구항 1에 있어서, 상기 연산부는,상기 웨이퍼 이미지 및 상기 상관관계 이미지에 대해 이미지 왜곡 보정을 수행하는 이미지 왜곡 보정모듈;이미지 왜곡 보정된 상기 웨이퍼 이미지로부터 복수개의 특징점을 검출하고 검출된 특징점과 정상 위치에서의 웨이퍼 이미지로부터 검출된 기준 특징점을 참조하여 상기 웨이퍼의 위치오차를 도출하는 위치오차 도출모듈;상기 상관관계 이미지로부터 상기 검사용 비전 카메라와 상기 웨이퍼 이송로봇과 상기 엔드이펙터 사이의 상대적인 위치를 기반으로 하는 상관관계를 도출하는 상관관계 도출모듈;을 포함하는 웨이퍼 위치오차 수집장치
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청구항 2에 있어서, 상기 이미지 왜곡 보정모듈은,하기 수학식 (1)로 정의되는 이미지 왜곡 보정 모델을 포함하는 웨이퍼 위치오차 수집장치
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청구항 2에 있어서, 상기 위치오차 도출모듈은,SIFT(Scale Invariant Feature Transform) 모델을 이용하여 상기 특징점을 검출하는 웨이퍼 위치오차 수집장치
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청구항 2에 있어서, 상기 상관관계 도출모듈은,상기 웨이퍼 이미지와 상기 상관관계 이미지에 공통으로 포함된 상관관계 도출용 마커를 이용하여 상기 검사용 비전 카메라와 상기 캘리브레이션용 비전 카메라 간의 각도 차이와 상대적인 위치 좌표를 산출하는, 웨이퍼 위치오차 수집장치
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검사용 비전 카메라로, 상관관계 도출용 마커 및 웨이퍼 이송로봇의 엔드이펙터 상에 놓인 웨이퍼를 촬영하여 웨이퍼 이미지를 획득하는 단계;캘리브레이션용 비전 카메라로, 상기 검사용 비전 카메라와 상기 웨이퍼 이송로봇과 상기 엔드이펙터와 상관관계 도출용 마커를 촬영하여 상관관계 이미지를 획득하는 단계;연산부가, 상기 웨이퍼 이미지 및 상기 상관관계 이미지에 대해 이미지 왜곡 보정을 수행하는 단계;연산부가, 이미지 왜곡 보정된 상기 웨이퍼 이미지로부터 복수개의 특징점을 검출하고, 검출된 특징점과 정상 위치에서의 웨이퍼 이미지로부터 검출된 기준 특징점을 참조하여 상기 웨이퍼의 위치오차를 도출하는 단계; 및,연산부가, 상기 상관관계 이미지로부터 상기 검사용 비전 카메라와 상기 웨이퍼 이송로봇과 상기 엔드이펙터 사이의 상대적인 위치를 기반으로 하는 상관관계를 도출하는 단계;를 포함하는 웨이퍼 위치오차 수집방법
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청구항 6에 있어서, 상기 이미지 왜곡 보정을 수행하는 단계는,하기 수학식 (1)로 정의되는 이미지 왜곡 보정 모델을 이용하여 수행되는 웨이퍼 위치오차 수집방법
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청구항 6에 있어서, 상기 웨이퍼의 위치오차를 도출하는 단계에서,상기 특징점은 SIFT(Scale Invariant Feature Transform) 모델을 이용하여 검출하는, 웨이퍼 위치오차 수집방법
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청구항 6에 있어서, 상기 상관관계를 도출하는 단계는,상기 웨이퍼 이미지와 상기 상관관계 이미지에 공통으로 포함된 상관관계 도출용 마커를 이용하여 상기 검사용 비전 카메라와 상기 캘리브레이션용 비전 카메라 간의 각도 차이와 상대적인 위치 좌표를 산출하는, 웨이퍼 위치오차 수집방법
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