| 1 |
1
기판을 준비하는 단계;상기 기판의 제1 면(first surface) 상에 타겟 패턴(target pattern)이 형성된 제1 필름(first film)을 배치하는 단계;상기 기판의 제2 면(second surface) 상에, 상기 기판의 중앙부를 덮고, 상기 기판의 가장자리부를 노출하는 제2 필름(second film)을 배치하는 단계; 및 노출된 상기 기판의 상기 가장자리부를 통해 전류를 공급하는 방법으로, 상기 기판을 전기 화학 식각(electrochemical etching)하되 상기 제1 필름을 마스크로 사용하여, 상기 기판의 상기 제1 면에 상기 타겟 패턴에 대응하는 타겟 홀(target hole)을 형성하는 단계를 포함하는 패턴 마스크의 제조 방법
|
| 2 |
2
제1 항에 있어서,상기 제1 필름의 상기 타겟 패턴은,상기 제2 필름이 덮인 상기 기판의 상기 중앙부에 위치하는 것을 포함하는 패턴 마스크의 제조 방법
|
| 3 |
3
제1 항에 있어서,상기 기판을 전기 화학 식각하는 단계는,상기 기판의 상기 가장자리부를 통해 상기 제2 필름이 덮인 상기 기판의 상기 중앙부로 전류가 균일하게 도달되는 것을 포함하는 패턴 마스크의 제조 방법
|
| 4 |
4
제1 항에 있어서,상기 제1 필름의 상기 타겟 패턴은, 상기 기판의 상기 제1 면을 노출하는 복수의 홀(holes)인 것을 포함하는 패턴 마스크의 제조 방법
|
| 5 |
5
제1 항에 있어서,상기 제1 필름은 더미 패턴(dummy patterns)을 더 포함하고,상기 더미 패턴은, 상기 제1 필름의 가장자리에 배치되는 것을 포함하는 패턴 마스크의 제조 방법
|
| 6 |
6
제5 항에 있어서,상기 기판을 전기 화학 식각하는 단계에서,상기 기판 내에 상기 더미 패턴에 대응하는 더미 홀(dummy hole)이 형성되는 것을 포함하는 패턴 마스크의 제조 방법
|
| 7 |
7
제6 항에 있어서,상기 타겟 패턴과 상기 더미 패턴의 형상 및 크기가 동일한 것을 포함하는 패턴 마스크의 제조 방법
|
| 8 |
8
제7 항에 있어서,상기 더미 홀의 크기가 상기 타겟 홀의 크기보다 큰 것을 포함하는 패턴 마스크의 제조 방법
|
| 9 |
9
제7 항에 있어서,상기 타겟 홀의 형상 및 크기가 상기 더미 홀의 형상 및 크기보다 균일한 것을 포함하는 패턴 마스크의 제조 방법
|
| 10 |
10
제1 항에 있어서,상기 제1 필름은 상기 기판의 상기 제1 면의 전면을 덮는 것을 포함하는 패턴 마스크의 제조 방법
|
| 11 |
11
제1 항에 있어서,상기 기판의 상기 제1 면 상에 배치되는 상기 제1 필름과 상기 기판의 상기 제2 면 상에 배치되는 상기 제2 필름은 서로 동일한 물질인 것을 포함하는 패턴 마스크의 제조 방법
|
| 12 |
12
제1 항 내지 제11 항 중 어느 한 항에 따른 패턴 마스크의 제조 방법으로 패턴 마스크를 제조하는 단계;상기 패턴 마스크의 상기 타겟 홀 내에 숄더 볼(solder ball)을 제공하는 단계; 및상기 숄더 볼을 갖는 상기 패턴 마스크를 웨이퍼에 인접시켜, 상기 숄더 볼을 상기 웨이퍼로 전사하는 단계를 포함하는 패턴 마스크의 사용 방법
|
| 13 |
13
기판;상기 기판의 제1 면(first surface) 상에 배치되고, 타겟 패턴(target pattern)이 형성된 제1 필름(first film); 및상기 기판의 제2 면(second surface) 상에 배치된 제2 필름(second film)을 포함하되,상기 제1 필름의 면적은 상기 기판의 면적과 동일하고, 상기 제2 필름의 면적은 상기 기판의 면적보다 작아, 상기 기판의 상기 제2 면의 가장자리부(edge portion)가 노출되고, 노출된 상기 기판의 상기 가장자리부를 통해 전류를 공급하는 방법으로, 상기 기판을 전기 화학 식각(electrochemical etching)하되 상기 제1 필름을 마스크로 사용하여, 상기 기판의 상기 제1 면에 상기 타겟 패턴에 대응하는 타겟 홀(target hole)을 형성되는 것을 포함하는 패턴 마스크 제조용 기판
|
| 14 |
14
제13 항에 있어서,상기 제1 필름은 더미 패턴(dummy patterns)을 더 포함하고,상기 더미 패턴은, 상기 제1 필름의 가장자리에 배치되는 것을 포함하는 패턴 마스크 제조용 기판
|
| 15 |
15
제14 항에 있어서,상기 제1 필름의 상기 타겟 패턴 및 상기 더미 패턴은, 상기 기판의 상기 제1 면을 노출하는 동일한 형상 및 크기를 갖는 복수의 홀(holes)을 포함하는 패턴 마스크 제조용 기판
|
